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1. 发明授权

CN102414463B 磁性轴承、旋转台以及反射电子束光刻设备有权
公开(公告)号：CN102414463B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201080017769.4
申请日：2010-04-14
申请人：皇家飞利浦电子股份有限公司
发明人： F.萨欣诺马勒 , K.F.布斯特兰 , O.J.赛格 , J.B.波斯特
IPC分类号： F16C32/04 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/20 , F16C32/0461 , F16C32/0468 , F16C32/0489 , H01J2237/20257
摘要：本发明涉及一种具有旋转轴（106）的磁性轴承（108），其中，所述磁性轴承包括：圆柱形转子（116），其包括铁磁性材料（118，338，440），其中圆柱形转子具有对称轴（114），圆柱形转子具有内半径（124），圆柱形转子具有顶面（128）；静态轮毂（120），其中静态轮毂具有从该静态轮毂突出并且被定位成与所述顶面相邻的悬挑（122）；抬升磁性致动器设备（130），其用于控制所述顶面与悬挑之间的距离（126）；径向磁性致动器设备（132），其用于控制内半径与旋转轴之间的距离（136）。

2. 发明公开

CN102414463A 磁性轴承、旋转台以及反射电子束光刻设备有权
公开(公告)号：CN102414463A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201080017769.4
申请日：2010-04-14
申请人：皇家飞利浦电子股份有限公司
发明人： F.萨欣诺马勒 , K.F.布斯特兰 , O.J.赛格 , J.B.波斯特
IPC分类号： F16C32/04 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/20 , F16C32/0461 , F16C32/0468 , F16C32/0489 , H01J2237/20257
摘要：本发明涉及一种具有旋转轴（106）的磁性轴承（108），其中，所述磁性轴承包括：圆柱形转子（116），其包括铁磁性材料（118，338，440），其中圆柱形转子具有对称轴（114），圆柱形转子具有内半径（124），圆柱形转子具有顶面（128）；静态轮毂（120），其中静态轮毂具有从该静态轮毂突出并且被定位成与所述顶面相邻的悬挑（122）；抬升磁性致动器设备（130），其用于控制所述顶面与悬挑之间的距离（126）；径向磁性致动器设备（132），其用于控制内半径与旋转轴之间的距离（136）。

3. 发明申请

US20150348744A1 MOVING APPARATUS AND CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING SYSTEM 审中-公开
标题翻译：移动装置和充电颗粒光束绘图系统
公开(公告)号：US20150348744A1
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：US14725557
申请日：2015-05-29
申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人： Shinji Uchida , Nobushige Korenaga
IPC分类号： H01J37/20 , G03F7/20 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/3174 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20257 , H01J2237/20278
摘要： A moving apparatus includes a moving member movable in a first direction, a drive unit that drives the moving member, and a magnetic field shielding unit made of a magnetic material to shield at least part of a magnetic field emanating from the drive unit. The drive unit includes a stator and a movable element connected to the moving member. The magnetic field shielding unit includes a first plate connected to the moving member and disposed between the moving member and the movable element, two side plates connected to the first plate and having end portions extending in the first direction, and a second plate connected to the stator and extending in the first direction to surround the movable element and at least part of the stator at plural positions in accordance with movement of the moving member in the first direction together with the first plate and side plates.
摘要翻译：移动装置包括可沿第一方向移动的移动构件，驱动移动构件的驱动单元和由磁性材料制成的磁屏蔽单元，以屏蔽从驱动单元发出的至少一部分磁场。驱动单元包括定子和连接到移动构件的可动元件。磁场屏蔽单元包括连接到移动构件并且设置在移动构件和可动元件之间的第一板，与第一板连接并具有沿第一方向延伸的端部的两个侧板，以及连接到第一板的第二板定子并且沿着第一方向延伸以围绕可移动元件和根据移动构件在第一方向上与第一板和侧板的移动而在多个位置处的定子的至少一部分。

4. 发明申请

US20100218720A1 Moving module of a wafer ion-implanting machine 有权
标题翻译：晶圆离子注入机的移动模块
公开(公告)号：US20100218720A1
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：US12457929
申请日：2009-06-25
申请人： Ting-Wei Lin
发明人： Ting-Wei Lin
IPC分类号： B05C5/00
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/023 , H01J37/20 , H01J2237/0216 , H01J2237/20221 , H01J2237/20257
摘要： A moving module of a wafer ion-implanting machine includes a wafer carrier, a moving shaft, a base, a pair of first magnets, a fixture body, and a plurality of second magnets. One end of the wafer carrier is pivotally connected to a wafer tray; and the other end is fixed onto one end of the moving shaft. The base is fixed to the other end of the moving shaft. The moving shaft drives the wafer carrier and the base to move lengthwise. The pair of first magnets is fixed to the base. The fixture body is located between the pair of first magnets. The second magnets are fixed onto the fixture body and one of them forms compelling magnetic force between one of the first magnets. Thereby, the friction generated by contacting any of the first magnets with the fixture body can be prevented, thus increasing the production yield.
摘要翻译：晶片离子注入机的移动模块包括晶片载体，移动轴，基座，一对第一磁体，固定体和多个第二磁体。晶片载体的一端枢转地连接到晶片托盘; 另一端固定在移动轴的一端。底座固定在移动轴的另一端。移动轴驱动晶片载体和基座纵向移动。一对第一磁体固定在基座上。夹具本体位于一对第一磁体之间。第二磁体被固定在夹具本体上，其中之一在第一磁体之间形成强制磁力。因此，可以防止通过使任何第一磁体与夹具本体接触而产生的摩擦，从而提高产量。

5. 发明授权

US07956333B2 Moving module of a wafer ion-implanting machine 有权
标题翻译：晶圆离子注入机的移动模块
公开(公告)号：US07956333B2
公开(公告)日：2011-06-07
申请号：US12457929
申请日：2009-06-25
申请人： Ting-Wei Lin
发明人： Ting-Wei Lin
IPC分类号： G21K5/10
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/023 , H01J37/20 , H01J2237/0216 , H01J2237/20221 , H01J2237/20257
摘要： A moving module of a wafer ion-implanting machine includes a wafer carrier, a moving shaft, a base, a pair of first magnets, a fixture body, and a plurality of second magnets. One end of the wafer carrier is pivotally connected to a wafer tray; and the other end is fixed onto one end of the moving shaft. The base is fixed to the other end of the moving shaft. The moving shaft drives the wafer carrier and the base to move lengthwise. The pair of first magnets is fixed to the base. The fixture body is located between the pair of first magnets. The second magnets are fixed onto the fixture body and one of them forms compelling magnetic force between one of the first magnets. Thereby, the friction generated by contacting any of the first magnets with the fixture body can be prevented, thus increasing the production yield.
摘要翻译：晶片离子注入机的移动模块包括晶片载体，移动轴，基座，一对第一磁体，夹具本体和多个第二磁体。晶片载体的一端枢转地连接到晶片托盘; 另一端固定在移动轴的一端。底座固定在移动轴的另一端。移动轴驱动晶片载体和基座纵向移动。一对第一磁体固定在基座上。夹具本体位于一对第一磁体之间。第二磁体被固定在夹具本体上，其中之一在第一磁体之间形成强制磁力。因此，可以防止通过使任何第一磁体与夹具本体接触而产生的摩擦，从而提高产量。

6. 发明申请

US20120038233A1 MAGNETIC BEARING, A ROTARY STAGE, AND A REFLECTIVE ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY APPARATUS 有权
标题翻译：磁力轴承，旋转台和反射电子束光刻机
公开(公告)号：US20120038233A1
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：US13265676
申请日：2010-04-14
申请人： Sahin Funda , Krijn Frederik Bustraan , Olav Seijger , Justus Bjorn Post
发明人： Sahin Funda , Krijn Frederik Bustraan , Olav Seijger , Justus Bjorn Post
IPC分类号： H02K7/09
CPC分类号： H01J37/20 , F16C32/0461 , F16C32/0468 , F16C32/0489 , H01J2237/20257
摘要： A magnetic bearing (108) with an axis of rotation (106), wherein the magnetic bearing comprises: a cylindrical rotor (116) comprising a ferromagnetic material (118, 338, 440) wherein the cylindrical rotor has an axis of symmetry (114), wherein the cylindrical rotor has an inner radius (124), wherein the cylindrical rotor has a top side (128), a static hub (120), wherein the static hub has an overhang (122) which protrudes from the static hub and is located adjacent to the top side, a lift magnetic actuator apparatus (130) for controlling the distance (126) between the top side and the overhang, a radial magnetic actuator apparatus (132) for controlling the distance (136) between the inner radius and the axis of rotation.
摘要翻译：一种具有旋转轴线（106）的磁性轴承（108），其中所述磁性轴承包括：包括铁磁材料（118,338,440）的圆柱形转子（116），其中所述圆柱形转子具有对称轴线（114），其中所述圆柱形转子具有内半径（124），其中所述圆柱形转子具有顶侧（128），静态毂（120），其中所述静态毂具有从所述静态毂突出的突出部（122）位于与顶侧相邻的用于控制顶侧和突出端之间的距离（126）的升降磁致动器装置（130），用于控制内径和内径之间的距离（136）的径向磁致动器装置（132）旋转轴。

7. 发明授权

US5139383A Device for positioning objects within a sealed chamber 失效
标题翻译：用于将物体定位在密封室内的装置
公开(公告)号：US5139383A
公开(公告)日：1992-08-18
申请号：US734473
申请日：1991-07-23
申请人： Alexander Polyak , Thu Huynh
发明人： Alexander Polyak , Thu Huynh
IPC分类号： H01J37/20 , H01L21/68
CPC分类号： H01J37/20 , H01L21/68 , H01J2237/20257 , Y10S403/01 , Y10T464/30 , Y10T74/18992
摘要： A device for positioning objects within a sealed vacuum chamber (112) comprises a stationay housing (114), which is sealingly attached to the vacuum chamber (112). Located within the housing (114) is a tubular body (158) capable of rotating and translating within the stationary housing (114) through the interaction of an outer magnet (116), which slides and rotates on the surface of the stationary housing, and an inner magnet (118), which is attached to the tubular body (158). A shaft (198) is located inside the tubular body, but cannot be shifted axially with respect to this body. The front end of shaft (198) extends into the vacuum chamber (112) and may carry a specimen or any other object to be treated or tested in the vacuum chamber. The shaft (198) is driven from an external drive mechanism (124). Rotation of the shaft can be converted into opening and closing movements of the jaws (218 and 220). Thus, the object can be clamped by the jaws, rotated, and linearly moved inside a sealed chamber under the control of external drive means.
摘要翻译：一种用于将物体定位在密封真空室（112）内的装置包括一个与真空室（112）密封连接的台架壳体（114）。位于壳体（114）内部的管状体（158）能够通过在固定壳体的表面上滑动并旋转的外部磁体（116）的相互作用而在固定壳体（114）内旋转和平移，并且内部磁体（118），其连接到管状体（158）上。轴（198）位于管状体内部，但不能相对于本体轴向移动。轴（198）的前端延伸到真空室（112）中，并且可以携带在真空室中待处理或测试的样品或任何其它物体。轴（198）从外部驱动机构（124）驱动。轴的旋转可以转换成夹爪（218和220）的打开和关闭运动。因此，物体可以在外部驱动装置的控制下被夹爪夹持，在密封室内旋转和线性移动。

8. 发明授权

US08836190B2 Magnetic bearing, a rotary stage, and a reflective electron beam lithography apparatus 有权
标题翻译：磁轴承，旋转台和反射电子束光刻设备
公开(公告)号：US08836190B2
公开(公告)日：2014-09-16
申请号：US13265676
申请日：2010-04-14
申请人： Sahin Funda , Krijn Frederik Bustraan , Olav Seijger , Justus Bjorn Post
发明人： Sahin Funda , Krijn Frederik Bustraan , Olav Seijger , Justus Bjorn Post
IPC分类号： H02K7/09 , F16C32/04 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , F16C32/0461 , F16C32/0468 , F16C32/0489 , H01J2237/20257
摘要： A magnetic bearing (108) with an axis of rotation (106), wherein the magnetic bearing comprises: a cylindrical rotor (116) comprising a ferromagnetic material (118, 338, 440) wherein the cylindrical rotor has an axis of symmetry (114), wherein the cylindrical rotor has an inner radius (124), wherein the cylindrical rotor has a top side (128), a static hub (120), wherein the static hub has an overhang (122) which protrudes from the static hub and is located adjacent to the top side, a lift magnetic actuator apparatus (130) for controlling the distance (126) between the top side and the overhang, a radial magnetic actuator apparatus (132) for controlling the distance (136) between the inner radius and the axis of rotation.
摘要翻译：一种具有旋转轴线（106）的磁性轴承（108），其中所述磁性轴承包括：包括铁磁材料（118,338,440）的圆柱形转子（116），其中所述圆柱形转子具有对称轴线（114），其中所述圆柱形转子具有内半径（124），其中所述圆柱形转子具有顶侧（128），静态毂（120），其中所述静态毂具有从所述静态毂突出的突出部（122）位于与顶侧相邻的用于控制顶侧和突出端之间的距离（126）的升降磁致动器装置（130），用于控制内径和内径之间的距离（136）的径向磁致动器装置（132）旋转轴。

9. 发明授权

US5338940A Apparatus for ion implantation including contactless cooling and beam current measurement means 失效
标题翻译：用于离子注入的装置，包括非接触式冷却和束电流测量装置
公开(公告)号：US5338940A
公开(公告)日：1994-08-16
申请号：US917208
申请日：1992-07-21
申请人： Kunihiko Takeyama
发明人： Kunihiko Takeyama
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/30 , G21K5/08
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J2237/2001 , H01J2237/20257 , H01J2237/31703
摘要： Wafer disk holds wafers in position by centrifugal force and its rotating shaft is supported by a bearing capable of magnetic levitation that has a thrust bearing and radial bearings. An annular groove providing a heat radiating zone is formed under the wafer receiving faces of the wafer disk. A cooling plate cooled to a temperature not exceeding the temperature of liquid nitrogen is inserted into the groove in a contactless manner so that the wafer disk is cooled by heat radiation. In the absence of any area of physical contact in the mechanisms for axially supporting and cooling the wafer disk, ions can be implanted in low dose into wafers on the fast rotating disk while improving the quality of wafers after implantation. Further, no triboelectricity will develop, thereby contributing to an improvement in the precision of ion beam current measurement.
摘要翻译：晶圆盘通过离心力将晶片保持在适当位置，其旋转轴由具有推力轴承和径向轴承的磁悬浮轴承支撑。在晶片盘的晶片接收面的下方形成设置散热区的环状槽。将冷却至不超过液氮温度的冷却板以非接触的方式插入槽中，从而通过热辐射冷却晶片盘。在用于轴向支撑和冷却晶片盘的机构中没有任何物理接触区域的情况下，可以将离子以低剂量注入快速旋转盘上的晶片中，同时改善植入后晶片的质量。此外，不会产生摩擦电，从而有助于提高离子束电流测量的精度。

10. 发明授权

EP2422100B1 A MAGNETIC BEARING, A ROTARY STAGE, AND A REFLECTIVE ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY APPARATUS 有权
标题翻译：磁轴承转盘和电子映版画DEVICE
公开(公告)号：EP2422100B1
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：EP10716898.1
申请日：2010-04-14
申请人： Koninklijke Philips N.V.
发明人： SAHIN NOMALER, Funda , BUSTRAAN, Krijn, F. , SEIJGER, Olav, J. , POST, Justus, B.
IPC分类号： H01J37/20 , F16C32/04
CPC分类号： H01J37/20 , F16C32/0461 , F16C32/0468 , F16C32/0489 , H01J2237/20257

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