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1. 发明授权

CN102812533B 组合激光器和带电粒子束系统有权
公开(公告)号：CN102812533B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201180016692.3
申请日：2011-04-07
申请人： FEI公司
发明人： M.斯特劳 , M.W.乌特劳特 , N.W.帕克
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/06 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
摘要：一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。

2. 发明公开

CN105390358A 组合激光器和带电粒子束系统有权
公开(公告)号：CN105390358A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510738998.X
申请日：2011-04-07
申请人： FEI公司
发明人： M.斯特劳 , M.W.乌特劳特 , N.W.帕克
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/305
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
摘要：一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。

3. 发明授权

CN105390358B 组合激光器和带电粒子束系统有权
公开(公告)号：CN105390358B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201510738998.X
申请日：2011-04-07
申请人： FEI , 公司
发明人： M.斯特劳 , M.W.乌特劳特 , N.W.帕克
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/305
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
摘要：一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。

4. 发明公开

CN107636791A 电子显微镜用样品室装置及具备其的电子显微镜有权
公开(公告)号：CN107636791A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201680030066.2
申请日：2016-08-11
申请人：韩国标准科学研究院
发明人：赵福来 , 安商丁 , 薛仁皓
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/16 , G02B21/0004 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/36 , G02B21/361 , H01J37/165 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2006 , H01J2237/204 , H01J2237/2448 , H01J2237/2808 , H01J2237/2855
摘要：本发明涉及一种粒子及光学装置用真空样品室，所述粒子及光学装置用真空样品室在一面设置有粒子束入射的孔径(aperture)，粒子束沿着电子、离子、中性粒子等粒子光轴聚焦，在其相对面设置有光透过的可拆卸式样品支持器，通过粒子束和光可以对样品进行观测或分析，并且实现一种样品室及具备所述样品室的光学-电子融合显微镜，其在样品出入电子显微镜或聚焦离子束观察装置的样品室时，也保持样品室内部真空，从而缩短观察时间，没有将光源或光学镜筒插入于样品室内部，而是可以从外部获得光学影像。

5. 发明公开

CN102812533A 组合激光器和带电粒子束系统有权
公开(公告)号：CN102812533A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201180016692.3
申请日：2011-04-07
申请人： FEI公司
发明人： M.斯特劳 , M.W.乌特劳特 , N.W.帕克
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/06 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
摘要：一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。

6. 发明公开

EP2508903A2 Inspection device using secondary charged particle detection 有权
标题翻译： Prüfgerät，basierend auf der Detektion geladenerSekundärteilchen
公开(公告)号：EP2508903A2
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：EP12001774.4
申请日：2012-03-15
申请人： EBARA CORPORATION
发明人： Hatakeyama, Masahiro , Yoshikawa, Shoji , Murakami, Takeshi , Watanabe, Kenji , Naito, Yoshihiko , Toma, Yasushi , Karimata, Tsutomu , Hayashi, Takehide , Tsukamoto, Kiwamu , Kohama, Tatsuya , Kobayashi, Noboru
IPC分类号： G01R31/305 , G01R31/308 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J37/304
CPC分类号： H01J37/09 , G01N23/22 , G01N23/223 , G01N23/2251 , G01N2223/611 , H01J37/10 , H01J37/20 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J37/29 , H01J2237/0048 , H01J2237/022 , H01J2237/032 , H01J2237/038 , H01J2237/045 , H01J2237/0458 , H01J2237/0473 , H01J2237/0492 , H01J2237/061 , H01J2237/06333 , H01J2237/166 , H01J2237/186 , H01J2237/2002 , H01J2237/2007 , H01J2237/2008 , H01J2237/2448 , H01J2237/2482 , H01J2237/2485 , H01J2237/2817 , H01J2237/2855 , H01J2237/2857
摘要： An inspection device for inspecting a surface of an inspection object using a beam includes a beam generator (10000) which is capable of generating one of either charge particles or an electromagnetic wave as a beam (10000A), a primary optical system (72) which is capable of guiding and irradiating the beam to the inspection object supported within a working chamber, a secondary optical system (74) which is capable of including a first movable numerical aperture (10008) and a first detector (761;76) which detects secondary charge particles generated from the inspection object (W), the secondary charge particles passing through the first movable numerical aperture, an image processing system (763) which is capable of forming an image based on the secondary charge particles detected by the first detector; and a second detector (76-2) arranged between the first movable numerical aperture (10008) and the first detector (76) and which detects a location and shape at a cross over location of the secondary charge particles generated from the inspection object (W).
摘要翻译：用于使用光束检查检查对象的表面的检查装置包括能够产生作为光束（10000A）的电荷粒子或电磁波之一的光束发生器（10000），主光学系统（72），其能够将梁引导和照射到支撑在工作室内的检查对象物，能够包括第一可移动数值孔径（10008）和第二检测器（761; 76）的辅助光学系统（74），其检测次级从检查对象（W）产生的充电微粒，通过第一可移动数值孔径的二次电荷粒子，能够基于由第一检测器检测的二次电荷粒子形成图像的图像处理系统（763）以及布置在所述第一可移动数值孔径（10008）和所述第一检测器（76）之间的第二检测器（76-2），并且检测在从所述检查对象（W）产生的所述次级电荷颗粒的交叉位置处的位置和形状）。

7. 发明申请

WO2005104307A2 LASER ATOM PROBES 审中-公开
标题翻译：激光原子探针
公开(公告)号：WO2005104307A2
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/US2004/027062
申请日：2004-08-19
申请人： IMAGO SCIENTIFIC INSTRUMENTS CORPORATION , BUNTON, Joseph, H. , KELLY, Thomas, F. , GRIBB, Tye, T.
发明人： BUNTON, Joseph, H. , KELLY, Thomas, F. , GRIBB, Tye, T.
IPC分类号： H01S1/00
CPC分类号： H01J37/285 , B82Y35/00 , H01J49/0004 , H01J49/067 , H01J49/164 , H01J2237/2855
摘要： A laser atom probe situates a counter electrode between a specimen mount and a detector, and provides a laser having its beam aligned to illuminate the specimen through the aperture of the counter electrode. The detector, specimen mount, and/or the counter electrode may be charged to some boost voltage to charge the specimen to near the level required for it to emit ions toward the detector, and the laser may then be pulsed to bring the specimen to ionization. The timing of the laser pulses may be used to determine ion departure times, and the times of arrival and charges of the ions may be determined at the detector, with these parameters allowing determination of the mass-to-charge ratios of the ions (and thus the identities of,their constituent atoms). Because the laser is located distantly from the specimen, difficulties can arise in keeping the laser beam aligned to precise locations of the specimen, and automated alignment methods are described wherein the laser is automatically (or semiautomatically) directed to areas of interest.
摘要翻译：激光原子探针将对电极置于样品座和检测器之间，并提供其光束对准的激光器，以通过对电极的孔照射样品。检测器，样品安装座和/或对电极可以被充电到一些升压电压，以将样品充电到靠近检测器发射离子所需的水平，然后激光可以被脉冲以使样品进行离子化。可以使用激光脉冲的定时来确定离子离开时间，并且可以在检测器处确定离子的到达时间和电荷，这些参数允许确定离子的质荷比（和因此它们的组成原子的身份）。因为激光远离样品，因此可能难以将激光束保持与样品的精确位置对准，并且描述了自动对准方法，其中激光自动（或半自动）地指向感兴趣区域。

8. 发明申请

US20180350556A1 DETECTOR SUPPLEMENT DEVICE FOR SPECTROSCOPY SETUP 审中-公开
公开(公告)号：US20180350556A1
公开(公告)日：2018-12-06
申请号：US15779235
申请日：2016-11-25
申请人： EMPA Eidgenössische Materialprüfungs- und Forschunsanstalt
发明人： Davide BLEINER , Yunieski ARBELO-PENA
IPC分类号： H01J37/285 , G01N23/227 , H01J37/244 , G01R15/18
CPC分类号： H01J37/285 , G01N23/227 , G01R15/181 , H01J37/244 , H01J2237/2855
摘要： A detector supplement device for integration in a spectroscopy setup with the spectroscopy setup including a vacuum chamber, a light source, a sample irradiating a reflected photon beam and a charged particle beam in the same direction of propagation into a radiation detector which is able to detect ultrafast electric currents originating from charged particles. The detector supplement device includes a Rogowski coil placeable inside the vacuum chamber between the sample and radiation detector. The charged particle beam is guided through the hollow core of the Rogowski coil allowing synchronized measurements of electrical currents due to the charged particle beam correlated to the reflected photon beam, while irradiation of the reflected photon beam and the charged particle beam takes place in the same direction of propagation.

9. 发明授权

US08674317B2 Sample surface inspection apparatus and method 有权
标题翻译：样品表面检查装置及方法
公开(公告)号：US08674317B2
公开(公告)日：2014-03-18
申请号：US13289486
申请日：2011-11-04
申请人： Masahiro Hatakeyama , Kenji Watanabe , Takeshi Murakami , Tohru Satake , Nobuharu Noji
发明人： Masahiro Hatakeyama , Kenji Watanabe , Takeshi Murakami , Tohru Satake , Nobuharu Noji
IPC分类号： G21K7/00
CPC分类号： G03F7/162 , G01N23/225 , H01J37/285 , H01J2237/204 , H01J2237/2812 , H01J2237/2814 , H01J2237/2855 , H01J2237/2857
摘要： The present invention provides a surface inspection method and apparatus for inspecting a surface of a sample, in which a resistive film is coated on the surface, and a beam is irradiated to the surface having the resistive film coated thereon, to thereby conduct inspection of the surface of the sample. In the surface inspection method of the present invention, a resistive film having an arbitrarily determined thickness t1 is first coated on a surface of a sample. Thereafter, a part of the resistive film having the arbitrarily determined thickness t1 is dissolved in a solvent, to thereby reduce the thickness of the resistive film to a desired level. This enables precise control of a value of resistance of the resistive film and suppresses distortion of an image to be detected.
摘要翻译：本发明提供了一种表面检查方法和装置，用于检查表面上涂覆有电阻膜的样品的表面，并且将光束照射到其上涂覆有电阻膜的表面，从而进行样品表面。在本发明的表面检查方法中，首先将具有任意确定的厚度t1的电阻膜涂覆在样品的表面上。此后，将具有任意确定的厚度t1的电阻膜的一部分溶解在溶剂中，从而将电阻膜的厚度减小到期望的水平。这能够精确地控制电阻膜的电阻值并抑制要检测的图像的失真。

10. 发明授权

US08076654B2 Sample surface inspection apparatus and method 有权
标题翻译：样品表面检查装置及方法
公开(公告)号：US08076654B2
公开(公告)日：2011-12-13
申请号：US12153397
申请日：2008-05-19
申请人： Masahiro Hatakeyama , Kenji Watanabe , Takeshi Murakami , Tohru Satake , Nobuharu Noji
发明人： Masahiro Hatakeyama , Kenji Watanabe , Takeshi Murakami , Tohru Satake , Nobuharu Noji
IPC分类号： G21K7/00
CPC分类号： G03F7/162 , G01N23/225 , H01J37/285 , H01J2237/204 , H01J2237/2812 , H01J2237/2814 , H01J2237/2855 , H01J2237/2857
摘要： The present invention provides a surface inspection method and apparatus for inspecting a surface of a sample, in which a resistive film is coated on the surface, and a beam is irradiated to the surface having the resistive film coated thereon, to thereby conduct inspection of the surface of the sample. In the surface inspection method of the present invention, a resistive film having an arbitrarily determined thickness t1 is first coated on a surface of a sample. Thereafter, a part of the resistive film having the arbitrarily determined thickness t1 is dissolved in a solvent, to thereby reduce the thickness of the resistive film to a desired level. This enables precise control of a value of resistance of the resistive film and suppresses distortion of an image to be detected.
摘要翻译：本发明提供了一种表面检查方法和装置，用于检查表面上涂覆有电阻膜的样品的表面，并且将光束照射到其上涂覆有电阻膜的表面，从而进行样品表面。在本发明的表面检查方法中，首先将具有任意确定的厚度t1的电阻膜涂覆在样品的表面上。此后，将具有任意确定的厚度t1的电阻膜的一部分溶解在溶剂中，从而将电阻膜的厚度减小到期望的水平。这能够精确地控制电阻膜的电阻值并抑制要检测的图像的失真。

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