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1. 发明授权

CN1965226B 光波导装置失效
公开(公告)号：CN1965226B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200580018973.7
申请日：2005-06-10
申请人：国立大学法人岐阜大学
发明人：田中嘉津夫 , 田中雅宏
IPC分类号： G01N13/14 , G12B21/06
CPC分类号： G01Q60/22 , G02B6/262 , Y10S977/862
摘要：在由作为等离激元活性介质的银(Ag)构成的装置本体12上贯穿形成有光波导路径14，将光射入该光波导路径14后，在该光波导路径14(包含微小开口16)的划定面55上产生表面等离激元。因此，在光波导路径14内传输的光的强度，随着该光向微小开口16传输而变强。另外，第一凸片13a的前端由于比第二凸片13b的前端52突出，所以在凸部13的前端部，所述光基于该前端部的电场强度的分布，在第一凸片13a附近聚光。因此，从微小开口16渗出的光在偏振方向上的扩散被抑制。从而通过光波导路径14传输的光不会引起扩散的增大，且维持良好的S/N比，可以采用低成本来增强光强度。

2. 发明公开

CN1050266A 近场反射型显微技术处理方法及显微镜无效
公开(公告)号：CN1050266A
公开(公告)日：1991-03-27
申请号：CN90107312.1
申请日：1990-08-28
申请人：斯皮拉尔研究发展公司
发明人：得·佛奈尔·佛利得利克 , 高道奈特·让-皮勒 , 塞勒·奈特哈利
IPC分类号： G02B21/00 , G02B26/10 , G02B6/10
CPC分类号： G01Q60/22 , G03F7/70383 , Y10S977/862
摘要：本发明为光探针的近场扫描反射型显微技术的处理方法，特别是采用注以高相干电磁波如激光的波导，其特征为波导的端头设在离被测表面近处，使得波导的主传播模式和被测表面的反射的并由波导传回的波的电场传播模式之间的耦合系数随端头接近被测表面而呈现一种大致的指数增长。由于其纯光学装置和毫微米分辨率的特点，本发明的应用场合比一般扫描显微技术的更广泛。特别是用于集成电路的微晶测绘的各式仪器中。

3. 发明公开

CN1965226A 光波导装置失效
公开(公告)号：CN1965226A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN200580018973.7
申请日：2005-06-10
申请人：国立大学法人岐阜大学
发明人：田中嘉津夫 , 田中雅宏
IPC分类号： G01N13/14 , G12B21/06
CPC分类号： G01Q60/22 , G02B6/262 , Y10S977/862
摘要：在由作为等离激元活性介质的银(Ag)构成的装置本体12上贯穿形成有光波导路径14，将光射入该光波导路径14后，在该光波导路径14(包含微小开口16)的划定面55上产生表面等离激元。因此，在光波导路径14内传输的光的强度，随着该光向微小开口16传输而变强。另外，第一凸片13a的前端由于比第二凸片13b的前端52突出，所以在凸部13的前端部，所述光基于该前端部的电场强度的分布，在第一凸片13a附近聚光。因此，从微小开口16渗出的光在偏振方向上的扩散被抑制。从而通过光波导路径14传输的光不会引起扩散的增大，且维持良好的S/N比，可以采用低成本来增强光强度。

4. 发明申请

WO0023840A8 NEAR FIELD OPTICAL SCANNING SYSTEM EMPLOYING MICROFABRICATED SOLID IMMERSION LENS 审中-公开
标题翻译：采用微晶固体浸没镜头的近场光学扫描系统
公开(公告)号：WO0023840A8
公开(公告)日：2000-09-21
申请号：PCT/US9923917
申请日：1999-10-14
申请人： UNIV LELAND STANFORD JUNIOR
发明人： CROZIER KENNETH B , FLETCHER DANIEL A , KINO GORDON S , QUATE CALVIN F , SOH HYONGSOK T
IPC分类号： G01Q10/00 , G01Q60/18 , G01Q60/22 , G03F7/20 , G11B7/135 , G11B11/105 , G02B7/02 , G02B21/06
CPC分类号： G11B7/1374 , G01Q60/22 , G03F7/70325 , G03F7/70825 , G11B7/1387 , G11B11/10534 , Y10S977/862
摘要： A solid immersion lens (19) integrated on a flexible support (11) such as a cantilever or membrane is described, together with a method of forming the integrated structure. A cantilever (11) comprises an integral tip (17) having a solid immersion lens (19) and a tip (18), such as a pyramidical or connical tip, which can have a metal coating (21) to form a small aperture (16). In use, a collimated light beam (23) can be focused onto the solid immersion lens (19) with an objective lens (24).
摘要翻译：与形成一体化结构的方法一起描述集成在诸如悬臂或膜之类的柔性支撑件（11）上的固体浸没透镜（19）。悬臂（11）包括具有固体浸没透镜（19）和尖端（18）的整体尖端（17），诸如棱锥形或直角尖端，其可以具有金属涂层（21）以形成小孔径 16）。在使用中，准直光束（23）可以用物镜（24）聚焦在固体浸没透镜（19）上。

5. 发明申请

WO1995010060A1 NEAR-FIELD OPTICAL MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译：近场光学显微镜
公开(公告)号：WO1995010060A1
公开(公告)日：1995-04-13
申请号：PCT/EP1993002713
申请日：1993-10-04
申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION , HECHT, Bert , HEINZELMANN, Harald , NOVOTNY, Lukas , POHL, Wolfgang, D.
发明人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
IPC分类号： G02B21/00
CPC分类号： G01Q60/22 , Y10S977/862
摘要： The invention relates to a near-field optical microscope, in particular to a scanning near-field optical microscope (SNOM), comprising means for determining the intensity of light emerging from the near-field at a direction differing from the direction perpendicular to the surface of the sample to be examined, preferably emerging at an angle theta larger than the critical angle. Superposing light with different azimuth angles O by using suitable positioned mirrors and beamsplitters enables imaging with higher contrast. The invention allows an accurate control of the distance between the probing tip of the SNOM and the sample by using the measured intensity in a feedback loop.
摘要翻译：本发明涉及一种近场光学显微镜，特别涉及扫描近场光学显微镜（SNOM），其包括用于确定在与垂直于表面的方向不同的方向上从近场出射的光的强度的装置的样品，优选以大于临界角的角度出现。通过使用适当的定位镜和分光镜来叠加具有不同方位角O的光，可实现更高对比度的成像。本发明允许通过使用反馈回路中的测量强度来精确地控制SNOM的探测尖端与样本之间的距离。

6. 发明公开

KR1020070017389A 광도파 장치 失效
标题翻译：光波导
公开(公告)号：KR1020070017389A
公开(公告)日：2007-02-09
申请号：KR1020067024674
申请日：2005-06-10
申请人： 고꾸리츠 다이가꾸호오징 기후다이가꾸
发明人： 다나까가즈오 , 다나까마사히로
IPC分类号： G01Q60/22 , G02B6/00
CPC分类号： G02B6/262 , B82Y20/00 , B82Y35/00 , G01Q60/22 , G11B7/002 , Y10S977/862
摘要： 프라즈몬 활성 매질인 은(Ag)에 의해 구성된 장치 본체(12)에 관통 형성된 광도파로(14)에 광이 입사되면, 해당 광도파로(14)(미소개구(16)를 포함)의 확정면(55)에서 표면 프라즈몬이 발생한다. 그로 인해, 광도파로(14) 내를 전파하는 광의 강도는, 해당 광이 미소개구(16)로 향하여 전파됨에 따라 강해진다. 또한, 제1 돌출편(13a)의 선단(51)은, 제2 돌출편(13b)의 선단(52)과 비교하여 도 돌출되어 있으므로, 철부(13)의 선단부에 있어서, 상기 광은 해당 선단부에 있어서 전계의 강도 분포에 기하여 제1 돌출편(13a) 근방으로 집속된다. 그로 인하여, 미소개구(16)로부터 스며나오는 광이 편광방향으로 퍼지는 것이 억제된다. 따라서, 광도파로(14)를 텅하여 전파되는 광의 광강도를, 그 광의 퍼짐현상의 증대를 초래하지 않고서, 양호한 S/N비를 유지하면서, 저 비용으로 증강하는 것이 가능하다.

7. 发明申请

WO2006047337A2 NEAR-FIELD APERTURE HAVING A FRACTAL ITERATE SHAPE 审中-公开
标题翻译：具有分形ITERATE形状的近场孔
公开(公告)号：WO2006047337A2
公开(公告)日：2006-05-04
申请号：PCT/US2005/038042
申请日：2005-10-21
申请人： THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY , MATTEO, Joseph, A. , LAMBERTUS, Hesselink , YUEN, Yin
发明人： MATTEO, Joseph, A. , LAMBERTUS, Hesselink , YUEN, Yin
IPC分类号： C12Q1/68
CPC分类号： H01Q1/36 , Y10S977/862
摘要： Near-field electromagnetic devices having an opaque metallic screen with a fractal iterate aperture are provided. More specifically, the aperture is obtained by application of a self-similar replacement rule to an initial shape two or more times. Alternatively, the aperture can be obtained by application of a self-similar replacement rule one or more times to an initial C-shape. Such apertures tend to have multiple transmission resonances due to their multiple length scales. Fractal iterate apertures can provide enhanced transmission and improved spatial resolution simultaneously. Enormous improvement in transmission efficiency is possible. In one example, a checkerboard fractal iterate aperture provides 10 11 more intensity gain than a square aperture having the same spatial resolution. Efficient transmission for fractal iterate apertures having spatial resolution of λ/20 is also shown. The effect of screen thickness and composition can be included in detailed designs, but do not alter the basic advantages of improved transmission and spatial resolution provided by the invention.
摘要翻译：提供具有分形迭代孔径的不透明金属屏幕的近场电磁装置。更具体地，通过将自相似的替换规则应用于初始形状两次或更多次来获得孔径。或者，可以通过将自相似替换规则一次或多次应用于初始C形来获得孔径。这样的孔由于其多个长度尺度而倾向于具有多个传输谐振。分形迭代孔径可以同时提供增强的传输和改进的空间分辨率。传输效率的巨大提高是可能的。在一个示例中，棋盘分形迭代孔径具有比具有相同空间分辨率的方形孔径更多的强度增益10 11。还示出了具有空间分辨率为π/ 20的分形迭代孔径的高效传输。屏幕厚度和组成的效果可以包括在详细的设计中，但不改变本发明提供的改进的传输和空间分辨率的基本优点。

8. 发明申请

WO2005121748A1 光導波装置审中-公开
标题翻译：光波导
公开(公告)号：WO2005121748A1
公开(公告)日：2005-12-22
申请号：PCT/JP2005/010641
申请日：2005-06-10
申请人：国立大学法人岐阜大学 , 田中嘉津夫 , 田中雅宏
发明人：田中嘉津夫 , 田中雅宏
IPC分类号： G01N13/14
CPC分类号： G01Q60/22 , G02B6/262 , Y10S977/862
摘要：プラズモン活性媒質である銀（Ａｇ）により構成された装置本体１２に貫通形成された光導波路１４に光が入射されると、当該光導波路１４（微小開口１６を含む）の画定面５５で表面プラズモンが発生する。そのため、光導波路１４内を伝搬する光の強度は、当該光が微小開口１６に向けて伝搬するにつれて強くなる。また、第１凸片１３ａの先端５１は、第２凸片１３ｂの先端５２と比較してより突出することから、凸部１３の先端部において、前記光は当該先端部における電界の強度分布に基づき第１凸片１３ａ近傍に集光される。そのため、微小開口１６から滲み出された光が偏光方向に広がることは抑制される。よって、光導波路１４を通じて伝搬される光の光強度を、その光の広がりの増大を招くことなく、良好なＳ／Ｎ比を維持しつつ、低コストで増強することができる。
摘要翻译：当光进入通过用作等离子体激元介质的由银（Ag）制成的器件本体（12）形成的光波导（14）时，在光波导（14）的限定表面（55）上产生表面等离子体）（包括微开口（16））。因此，通过光波导（14）传播的光的强度随着光向微孔（16）行进而增加。第一突出片（13a）的端部（51）比第二突出片（13b）的端部（52）突出。因此，根据突出部分（13）的端部周围的电场的强度分布，光聚焦在第一突出片（13a）周围。因此，防止从微孔（16）渗出的光在光的偏振方向上扩散。结果，可以以低成本增加通过光波导（14）传播的光的强度，而不会在保持良好的S / N比的同时增加光的扩展。

9. 发明申请

WO1997014067A1 HIGH RESOLUTION FIBER OPTIC PROBE FOR NEAR FIELD OPTICAL MICROSCOPY 审中-公开
标题翻译：用于近场光学显微镜的高分辨率光纤探针
公开(公告)号：WO1997014067A1
公开(公告)日：1997-04-17
申请号：PCT/US1996016080
申请日：1996-10-11
申请人： ACCUPHOTONICS, INC.
发明人： ACCUPHOTONICS, INC. , ISLAM, Mohammed, N.
IPC分类号： G02B06/26
CPC分类号： G02B6/241 , G01Q60/22 , Y10S385/901 , Y10S977/862
摘要： The near field optical microscopy probe (10) has a conically tapered tip (28) formed from the inner core (24) of a fiber optic cable (12). The tapered tip (28) protrudes longitudinally from the outer cladding (26) and has a metallized optically opaque coating (32) over all the tip except for the light-emitting aperture (30) at the tip apex. The optical probe is manufactured by wet chemical etching. The protruding conical tip (28) tapers at an acute angle on the order of about 15 (deg.) to 60 (deg.), such that the tip length is on the order of a few wavelengths. By this construction, illumination traverses only a very small nonpropagating mode or evanescent mode region with resulting high optical efficiency. The probe and specimen may be supercooled, causing the metallized coating to be highly conductive and therefore optically opaque. The result is a high efficiency, high resolution probe (10) suitable for such demanding applications as DNA sequencing.
摘要翻译：近场光学显微镜探针（10）具有由光纤电缆（12）的内芯（24）形成的锥形锥形尖端（28）。锥形尖端（28）从外包层（26）纵向突出，并且除了尖端顶点处的发光孔（30）之外，在所有尖端上都具有金属化光学不透明涂层（32）。光学探针通过湿化学蚀刻制造。突出的锥形尖端（28）以约15（度）至60度（deg）的数量级的锐角逐渐变细，使得尖端长度在几个波长的量级上。通过这种结构，照明仅穿过非常小的非传播模式或渐逝模式区域，从而产生高的光学效率。探针和样品可能是过冷的，导致金属化涂层是高度导电的，因此光学不透明。结果是高效率，高分辨率的探针（10），适用于诸如DNA测序这样苛刻的应用。

10. 发明申请

WO1997010514A1 NEAR-FIELD RESISTIVITY MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译：近场电阻显微镜
公开(公告)号：WO1997010514A1
公开(公告)日：1997-03-20
申请号：PCT/IL1996000106
申请日：1996-09-10
申请人： YISSUM RESEARCH DEVELOPMENT COMPANY OF THE HEBREW UNIVERSITY OF JERUSALEM , DAVIDOV, Dan , GOLOSOVSKY, Michael
发明人： YISSUM RESEARCH DEVELOPMENT COMPANY OF THE HEBREW UNIVERSITY OF JERUSALEM
IPC分类号： G01R27/26
CPC分类号： G01R27/02 , G01R1/06772 , Y10S977/862 , Y10S977/875 , Y10S977/89 , Y10S977/901
摘要： A microwave microscope comprising a microwave waveguide having a probe end positioned closely above the surface to probed such that the surface is in the near field of the microwave radiation. The end of the probe facing the surface is covered with a metallic foil or a conducting film deposited over a dielectric layer and having a rectangular slit formed therein. The long dimension of the slit is nearly resonant with the microwave, that is, just slightly longer than one-half of the microwave wavelength. The short dimension is substantially shorter than long dimension and is chosen such that the slitted end is transparent to the microwave. Thereby, substantial microwave power is emitted through the slit with fine resolution that is determined by the short dimension of the slit. The probe is scanned across the surface in the direction of the short slit dimension, and its resolution is approximately equal to the short slit dimension. Preferably, the end is convexly curved along the direction of the long slit dimension so that only a portion of the slit is in the near field, thereby reducing the effective lateral dimension.
摘要翻译：一种微波显微镜，包括微波波导，其具有位于表面附近的探针端，以被探测，使得表面处于微波辐射的近场中。面向表面的探针的端部被沉积在电介质层上并且在其中形成有矩形狭缝的金属箔或导电膜覆盖。狭缝的长尺寸几乎与微波共振，即略微长于微波波长的一半。短尺寸基本上比长尺寸短，并且被选择成使得狭缝端对微波是透明的。因此，通过狭缝的短尺寸确定的细分辨率通过狭缝发射大量的微波功率。探针沿着短狭缝尺寸的方向扫描表面，其分辨率近似等于短狭缝尺寸。优选地，端部沿着长狭缝尺寸的方向凸起地弯曲，使得仅狭缝的一部分处于近场，从而降低了有效的横向尺寸。

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