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1. 发明授权

CN1293988C 显微定位装置和工具位置/方向修正方法失效
公开(公告)号：CN1293988C
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200410046250.5
申请日：2004-06-04
申请人：发那科株式会社
发明人：泽田洁 , 蛯原建三 , 酒井田康宏
IPC分类号： B23Q15/14
CPC分类号： H02N2/0095 , Y10S977/837 , Y10S977/872
摘要：本发明涉及一种具有机械刚性并能够实现纳米级定位精度的显微定位装置和修正工具位置和方向的方法。驱动单元包括两个布置成沿膨胀/收缩方向成一直线的压电元件P1和P2。压电元件P1面向膨胀/收缩方向的两个端部分别固定到基座件和可动件上。另一压电元件P2仅仅在一端固定到基座件上。间隙L形成在压电元件P2和可动件之间。在这里压电元件P1和P2的膨胀位移量分别是a1和a2。控制施加给压电元件P1和P2的电压，以满足等式a1+a2＝a≥L。这样，就可能将可动件以纳米级定位在最大行程a范围内的一位置上。驱动单元可布置在正交方向上，从而提供具有两个自由度、以及进一步提供包括旋转轴在内的六个自由度的定位装置。

2. 发明授权

CN1140767C 探测显微镜的探测扫描装置失效转让
公开(公告)号：CN1140767C
公开(公告)日：2004-03-03
申请号：CN97122292.4
申请日：1997-11-12
申请人：精工电子有限公司
发明人：井上明
IPC分类号： G01B7/34 , G01N27/00 , F16F9/30
CPC分类号： G01Q10/04 , G01Q70/04 , Y10S977/872
摘要：簧片41连接到接受由第一个平衡线圈电动机产生的Z轴方向的力的测量杆8的样品侧的端部，探测头45固定在簧片41的末端。测量杆8由内管13借助于簧片11支撑着。测量杆8的移动量被簧片41放大并传到探测头45上，从而使探测头45的位移量得到放大。因此，包括第一个平衡线圈电动机可动部分、测量杆8、簧片11、簧片41、及探测头45在内的系统的共振频率f0得到提高。

3. 发明公开

CN1182216A 探测显微镜的探测扫描装置失效转让
公开(公告)号：CN1182216A
公开(公告)日：1998-05-20
申请号：CN97122292.4
申请日：1997-11-12
申请人：精工电子有限公司
发明人：井上明
IPC分类号： G01R22/02
CPC分类号： G01Q10/04 , G01Q70/04 , Y10S977/872
摘要：簧片41连接到接受由第一个平衡线圈电动机产生的Z轴方向的力的测量杆8的样品侧的端部,探测头45固定在簧片41的末端。测量杆8由内管13借助于簧片11支撑着。测量杆8的移动量被簧片41放大并传到探测头45上,从而使探测头45的位移量得到放大。因此,包括第一个平衡线圈电动机可动部位、测量杆8、簧片11、簧片41、及探测头45在内的系统的共振频率f0得到提高。

4. 发明授权

CN100485311C 用于扫描探针显微镜检查的微调机构失效
公开(公告)号：CN100485311C
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200510009021.0
申请日：2005-02-16
申请人：精工电子纳米科技有限公司
发明人：伊与木诚人 , 日高昭彦 , 渡边和俊
IPC分类号： G01B7/34 , G01B21/30 , G01L1/22 , G01N37/00
CPC分类号： G01Q10/04 , Y10S977/872
摘要：一种用于扫描探针显微镜检查的具有高刚度和高测量精度的微调机构，通过布置安装在小的空间内的应变计位移传感器，能够获得温度补偿。由压电器件形成的微调机构设有至少两个电极，其中一个电极用作无电压施加的补偿电极，而另一个电极用作有效电极，当施加电压时该有效电极在压电器件上产生应变；一个或两个电阻设置在有效电极和补偿电极的每一个上，并通过电阻形成桥式电路。

5. 发明公开

CN1654920A 用于扫描探针显微镜检查的微调机构失效
公开(公告)号：CN1654920A
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN200510009021.0
申请日：2005-02-16
申请人：精工电子纳米科技有限公司
发明人：伊与木诚人 , 日高昭彦 , 渡边和俊
IPC分类号： G01B7/34 , G01B21/30 , G01L1/22 , G01N37/00
CPC分类号： G01Q10/04 , Y10S977/872
摘要：一种用于扫描探针显微镜检查的具有高刚度和高测量精度的微调机构，通过布置安装在小的空间内的应变计位移传感器，能够获得温度补偿。由压电器件形成的微调机构设有至少两个电极，其中一个电极用作无电压施加的补偿电极，而另一个电极用作有效电极，当施加电压时该有效电极在压电器件上产生应变；一个或两个电阻设置在有效电极和补偿电极的每一个上，并通过电阻形成桥式电路。

6. 发明公开

CN1572418A 显微定位装置和工具位置/方向修正方法失效
公开(公告)号：CN1572418A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410046250.5
申请日：2004-06-04
申请人：发那科株式会社
发明人：泽田洁 , 蛯原建三 , 酒井田康宏
IPC分类号： B23Q15/14
CPC分类号： H02N2/0095 , Y10S977/837 , Y10S977/872
摘要：本发明涉及一种具有机械刚性并能够实现纳米级定位精度的显微定位装置和修正工具位置和方向的方法。驱动单元包括两个布置成沿膨胀/收缩方向成一直线的压电元件P1和P2。压电元件P1面向膨胀/收缩方向的两个端部分别固定到基座件和可动件上。另一压电元件P2仅仅在一端固定到基座件上。间隙L形成在压电元件P2和可动件之间。在这里压电元件P1和P2的膨胀位移量分别是a1和a2。控制施加给压电元件P1和P2的电压，以满足等式a1+a2＝a≥L。这样，就可能将可动件以纳米级定位在最大行程a范围内的一位置上。驱动单元可布置在正交方向上，从而提供具有两个自由度、以及进一步提供包括旋转轴在内的六个自由度的定位装置。

7. 发明授权

KR100761059B1 오버행 샘플 측정이 가능한 주사 탐침 현미경 有权
标题翻译：扫描探针显微镜可以测量具有过大结构的样品
公开(公告)号：KR100761059B1
公开(公告)日：2007-09-21
申请号：KR1020060096399
申请日：2006-09-29
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 박상일 , 김용석 , 김지태 , 정상한 , 신현승 , 이정록 , 황의철
IPC分类号： G01Q10/00
CPC分类号： G01Q10/04 , Y10S977/85 , Y10S977/851 , Y10S977/872 , Y10S977/873 , Y10S977/874
摘要： A scanning probe microscope capable of measuring overhang type samples is provided to exactly collect data about the surface of the sample by accurately scanning the lateral side of an overhang structure through a tip of a probe and to directly utilize components of the tip of the existing microscope. A scanning probe microscope capable of measuring overhang type samples(200) is composed of a first probe(100); a first scanner(310) for changing the position of the first probe on a straight line; and a second scanner(320) for changing the position of the sample on a plane. The straight line where the position of the first probe is changed by the first scanner is non-perpendicular to the plane where the position of the sample is changed by the second scanner.
摘要翻译：提供能够测量悬垂型样品的扫描探针显微镜，通过精确扫描悬臂结构的侧面通过探针的尖端精确地收集关于样品表面的数据，并直接利用现有显微镜尖端的部件。能够测量突出型样品（200）的扫描探针显微镜由第一探针（100）组成; 用于改变第一探针在直线上的位置的第一扫描仪（310）; 以及用于改变样品在平面上的位置的第二扫描仪（320）。通过第一扫描仪改变第一探针的位置的直线与第二扫描器改变样品位置的平面不垂直。

8. 发明授权

KR101122371B1 주사형 프로브 현미경 및 주사형 프로브 현미경용 미세 변동기구 有权
标题翻译：扫描探针显微镜和精细调整机制扫描探针显微镜
公开(公告)号：KR101122371B1
公开(公告)日：2012-03-26
申请号：KR1020050011640
申请日：2005-02-11
申请人： 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스
发明人： 이요키마사토 , 히다카아키히코 , 와타나베가즈토시
IPC分类号： G01B7/34 , H01J37/26
CPC分类号： G01Q10/04 , Y10S977/872
摘要： 본 발명은 좁은 공간에서도 설치가 가능한 스트레인 게이지식 변위 센서를 온도 보상이 가능하도록 배치하는 것에 의해, 강성이 높고, 측정 정밀도가 높은 주사형 프로브 현미경용의 미세 변동기구를 제공한다. 압전소자에 의해 구성되는 미세 변동기구에, 적어도 2분할이상의 전극을 설치한다. 그 중 1개의 전극부는 전압을 인가하지 않도록 더미전극으로서 구성한다. 다른 전극은 전압을 인가하는 것에 의해 변형률을 발생하는 액티브 전극으로서 구성한다. 액티브전극과 더미전극에 각각 1개, 또는 2개의 저항체를 설치하고, 저항체에 의해 브릿지회로를 구성하였다.

9. 发明申请

WO02073125B1 APPARATUS AND METHOD FOR ISOLATING AND MEASURING MOVEMENT IN A METROLOGY APPARATUS 审中-公开
标题翻译：用于在计量器具中隔离和测量运动的装置和方法
公开(公告)号：WO02073125B1
公开(公告)日：2002-12-05
申请号：PCT/US0207041
申请日：2002-03-08
申请人： VEECO INSTR INC
发明人： MASSIE JAMES R
IPC分类号： G01B11/00 , G01B5/28 , G01B21/00 , G01B21/30 , G01D5/26 , G01Q10/02 , G01Q10/04 , G01Q30/06 , G01Q30/20 , G01Q60/00 , G01Q70/02 , G01Q90/00 , G01B9/04 , G01N13/16
CPC分类号： G01Q70/02 , G01B5/28 , G01D5/26 , G01Q10/04 , Y10S977/87 , Y10S977/872
摘要： A metrology apparatus (104) includes an actuator with a first actuator stage (220) to controllably move in first and second orthogonal directions, and a second actuator stage (222) adjacent to the first actuator stage (220) to controllably move in a third direction orthogonal to the first and second orthogonal directions. A coupling (230) is coupled to the second actuator stage (222) and to a multi-bar linkage assembly (232) fixed to a second end of a reference structure (111). The second actuator stage (222) and the coupling (230) move the linkage (232) in the third orthogonal direction in a manner that substantially isolates the linkage from any second actuator stage motion in the first and second directions. An objective (512) is fixed to the second end of the reference structure (111) and located between a light source (514) and a position sensor (516). The position sensor measures first actuator stage motion in the first and second directions.
摘要翻译：测量装置（104）包括具有第一致动器级（220）以在第一和第二正交方向上可控地移动的致动器以及与第一致动器级（220）相邻的第二致动器级（222），以可控地在第三致动器级垂直于第一和第二正交方向的方向。联接件（230）联接到第二致动器级（222）并联接到固定到参考结构（111）的第二端的多连杆机构组件（232）。第二致动器级（222）和联接件（230）以使第一和第二方向上的联接件与任何第二致动器级运动基本隔离的方式沿第三正交方向移动联动件（232）。物镜（512）固定到参考结构（111）的第二端并位于光源（514）和位置传感器（516）之间。位置传感器测量第一和第二方向上的第一致动器台运动。

10. 发明申请

WO02073126B1 APPARATUS AND METHOD FOR ISOLATING AND MEASURING MOVEMENT IN METROLOGY APPARATUS 审中-公开
标题翻译：用于在计量器具中隔离和测量运动的装置和方法
公开(公告)号：WO02073126B1
公开(公告)日：2002-11-14
申请号：PCT/US0207042
申请日：2002-03-08
申请人： VEECO INSTR INC
发明人： MASSIE JAMES R , PROKSCH ROGER B
IPC分类号： G01B11/00 , G01B5/28 , G01B21/00 , G01B21/30 , G01D5/26 , G01Q10/02 , G01Q10/04 , G01Q30/06 , G01Q30/20 , G01Q60/00 , G01Q70/02 , G01Q90/00 , G01B9/04 , G01N13/16
CPC分类号： G01Q70/02 , G01B5/28 , G01D5/26 , G01Q10/04 , Y10S977/87 , Y10S977/872
摘要： A metrology apparatus (100), such as a scanning probe microscope (SPM), has an actuator (104) that controls motion in three orthogonal directions. The X-Y section (220) of the actuator, preferably a piezoelectric actuator, controls motion in the X and Y directions and the Z section (222) of the actuator controls motion in the Z direction. A flexure (232) is attached to the actuator and is mounted on a reference structure (111) to prevent unwanted X and Y motion by the Z section of the actuator. Preferably, two mirrors (240, 242) are mounted on the flexure(232). In operation of the SPM, a light beam is directed towards these mirrors. When the flexure (232) moves in the Z direction, one of the mirrors is deflected and causes the reflected light to move across a detector, generating a signal representative of a change in the Z position of the flexure and the probe.
摘要翻译：诸如扫描探针显微镜（SPM）之类的度量装置（100）具有控制三个正交方向上的运动的致动器（104）。致动器（优选为压电致动器）的X-Y截面（220）控制X方向和Y方向的运动，致动器的Z部分（222）控制Z方向的运动。挠性件（232）连接到致动器并安装在参考结构（111）上以防止致动器的Z部分产生不希望的X和Y运动。优选地，两个反射镜（240,242）安装在挠曲件（232）上。在SPM的操作中，光束指向这些镜子。当挠曲件（232）沿Z方向移动时，其中一个反射镜偏转并引起反射光穿过检测器，产生表示挠曲件和探针的Z位置变化的信号。

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