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    • 10. 发明申请
    • GYROMETRE VIBRANT EQUILIBRE PAR UN DISPOSITIF ELECTROSTATIQUE
    • 由静电装置均衡的振动陀螺仪
    • WO2007068649A1
    • 2007-06-21
    • PCT/EP2006/069437
    • 2006-12-07
    • THALESCHAUMET, Bernard
    • CHAUMET, Bernard
    • G01C19/56
    • G01C19/5762G01C19/5747Y10T74/12Y10T74/125Y10T74/1254Y10T74/1282
    • L'invention concerne un gyromètre à structure vibrante réalisé par micro-usinage dans une plaque mince, qui comporte un ensemble inertiel mobile (1 ) comprenant au moins une masse mobile (50) apte à vibrer dans le plan de la plaque selon un axe x d'excitation et selon un axe y de détection sensiblement perpendiculaire à l'axe x, un peigne de détection (90) et un peigne d'excitation (70) interdigités. Il comprend en outre au moins un peigne interdigité (10a) supplémentaire dit peigne de compensation du biais en quadrature, associé à la masse (50) et qui présente deux entrefers dissymétriques e et λe, λ étant un nombre réel positif, pour soumettre celle-ci, par l'application d'une tension V continue réglable sur ce peigne, à une raideur électrostatique de couplage entre l'axe x et l'axe y ajustable permettant de compenser le biais en quadrature du gyromètre.
    • 本发明涉及通过从薄晶片进行微加工而制造的振动结构陀螺仪,该振动结构陀螺仪包括可移动惯性组件(1),该移动惯性组件(1)包括至少一个能够根据激励在晶片平面中振动的移动质量块(50) 轴x,并且根据基本上垂直于轴线x的检测轴y,与激励梳(70)交叉指示的检测梳(90)。 它还包括与质量(50)相关联的至少一个称为正交偏置补偿梳的附加叉指梳(10a),并且其表现出两个不对称间隙e和θe, 作为正实数,以便通过将可调直流电压V施加到该梳以将质量控制在轴x与轴线y之间的静电耦合刚度,其可以被改变以允许补偿正交偏置 的陀螺仪。