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11. 发明公开

CN103733304A 其中一部分暴露在环境下并且带有竖直集成电子器件的气密封MEMS设备有权
公开(公告)号：CN103733304A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280037056.3
申请日：2012-06-29
申请人：因文森斯公司
发明人：约瑟夫·西格 , 伊戈尔·切尔科夫 , 哈桑·阿克约尔 , 格克森·G·亚拉里奥格鲁 , 史蒂文·S·纳西里 , 伊利亚·古林
IPC分类号： H01L21/00 , G01F1/20
CPC分类号： B81B7/02 , B81B2201/025 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00246 , B81C2203/0771 , G01L1/144 , G01L1/148 , G01L5/0028 , G01L9/0072 , G01L15/00 , G01L19/0092 , G01L19/0636 , G01L19/148 , G01L27/007
摘要：在此披露了一种用于为MEMS设备提供集成电子器件的系统和方法。该MEMS设备包括一个集成电路衬底和一个耦联到该集成电路衬底上的MEMS子组件。该集成电路衬底包括耦联到至少一个固定电极上的至少一个电路。该MEMS子组件包括通过平版印刷工艺形成的至少一个压铆螺母柱、一个带有顶面和底面的柔性板、以及一个耦联到该柔性板上并且电耦联到该至少一个压铆螺母柱上的MEMS电极。作用在该柔性板上的一个力引起该MEMS电极与该至少一个固定电极之间的一个间隙的变化。

12. 发明公开

CN102954846A 利用可调谐激光二极管进行温度和压力测量的系统和方法无效
公开(公告)号：CN102954846A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210303345.5
申请日：2012-08-24
申请人：通用电气公司
发明人： V.V.巴达米 , C.米特拉
IPC分类号： G01K11/00 , G01L1/02
CPC分类号： G01L11/02 , G01L19/0092 , G01L23/16
摘要：本发明的名称为“利用可调谐激光二极管进行温度和压力测量的系统和方法”。提供一种使用可调谐二极管激光器（120）测量气体中的动态压力的系统（100）。此方面的系统（100）包含激光传送系统（102），其包含可调谐二极管激光器（120）并且配置为通过气体传送由可调谐二极管激光器（120）生成的激光，以及激光接收系统（104），配置为在激光已经穿过气体后接收激光以从所接收的激光生成吸收峰。激光接收系统（104）配置为基于吸收峰中的一个的扩展来估计压力的改变。

13. 发明公开

CN102812224A 用于排气内的湿度、温度和压力的集成传感器无效
公开(公告)号：CN102812224A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201080063562.0
申请日：2010-12-10
申请人：埃尔特克有限公司
发明人： D.坎塔雷利 , E.基耶萨 , P.科隆博
IPC分类号： F02D41/14 , G01D11/24 , G01K1/08 , G01L19/00 , G01N33/00
CPC分类号： F02D41/1448 , F02D41/1441 , F02D41/1446 , F02D2041/1468 , F02D2200/0418 , G01K1/08 , G01K13/02 , G01K2205/04 , G01L19/0092
摘要：一种用于内燃发动机排气后处理系统的检测设备，具有容纳电路布置（21，31）的罩壳（2，3），所述电路布置包括用于测量气体湿度的湿度传感器装置（32）。所述电路布置还包括分别用于测量气体温度值和气体压力值的温度传感器装置（33）和压力传感器装置（22）。气体温度值可用于补偿通过湿度传感器装置（32）获得的湿度值，压力值可用于减轻后处理系统的过滤器的堵塞程度。优选地，压力传感器装置（22）被容纳在罩壳（2-3）的第一室（8）内，而湿度传感器装置（32）和温度传感器装置（33）被容纳在罩壳（2，3）的第二室（10b）内。

14. 发明公开

CN102109844A 用于建筑机械的控制系统以及操作该控制系统的方法无效复审申请
公开(公告)号：CN102109844A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010611549.6
申请日：2010-12-21
申请人：利勃海尔-韦尔克爱茵根有限公司
发明人： E·莫拉特 , E·津 , J·特罗伊尔
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B9/03 , G01L19/0092
摘要：本发明涉及一种用于建筑机械的控制系统以及操作该控制系统的方法，所述控制系统包括至少一个传感器以及至少一个控制器，其中在传感器和控制器之间有串行连接，以及其中，至少一个传感器和/或控制器为双信道或多信道类型。

15. 发明公开

CN101539470A 静电电容膜片真空计和真空处理设备有权转让
公开(公告)号：CN101539470A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910126814.9
申请日：2009-03-18
申请人：佳能安内华科技股份有限公司
发明人：宫下治三
IPC分类号： G01L21/00 , H01L21/00 , H01L21/66
CPC分类号： G01L9/0073 , G01L19/0092
摘要：本发明涉及静电电容膜片真空计和真空处理设备，在静电电容膜片真空计中，膜片(3)和与膜片(3)相对的检测电极(7)被设置于真空中。所述静电电容膜片真空计通过测量膜片(3)和检测电极(7)之间的静电电容的变化程度来测量压力。静电电容膜片真空计包括大气压力变化因素检测单元(14)和(15)，其检测作为使真空压力改变的外部因素的大气压力变化因素。真空的压力是通过减去由大气压力变化因素检测单元(14)和(15)检测的信息而测量的。

16. 发明公开

CN101430232A 静电电容隔膜型压力传感器无效转让
公开(公告)号：CN101430232A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810173935.4
申请日：2008-10-31
申请人：佳能安内华科技股份有限公司
发明人：井出阳介
IPC分类号： G01L9/12 , G01L19/04
CPC分类号： G01L9/0072 , G01L19/0092 , G01L19/04
摘要：一种静电电容隔膜型压力传感器，其包括彼此相对设置的固定电极和隔膜，其中隔膜在外力作用下产生变形，并且从固定电极与隔膜之间的静电电容中获得压力，其中所述静电电容随隔膜的变形而发生变化，该传感器包括：包围传感器的主体的外壳；设在外壳内表面上的加热器；测量外壳内部的温度的温度传感器；以及温度调节电路，其将由温度传感器获得的温度信号与预设值进行比较并且基于比较结果输出用于驱动加热器的驱动信号。

17. 发明授权

CN1332190C 压力传感器组件失效
公开(公告)号：CN1332190C
公开(公告)日：2007-08-15
申请号：CN01803386.5
申请日：2001-10-31
申请人：罗伯特·博施有限公司
发明人：温弗里德·库恩特 , 马丁·马斯特 , 马苏德·哈比比
IPC分类号： G01L19/06
CPC分类号： G01L19/141 , G01L19/0092 , G01L19/069 , H01L2224/48091 , H01L2924/00014
摘要：根据现有技术的压力传感器组件需要用高成本通过一个盖压力密封地封装。根据本发明的压力传感器组件(1)具有一个设在传感器壳体(8)中的压力传感器(6)，它能被简单地组装及预先地定标。

18. 发明公开

CN1997880A 高温压力变送器组件无效复审申请
公开(公告)号：CN1997880A
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN200580017485.4
申请日：2005-06-15
申请人：罗斯蒙德公司
发明人：戴维·安德鲁·布罗德 , 凯丽·M·奥瑟 , 乍德·迈克·麦奎尔 , 弗雷德·查尔斯·席德勒
IPC分类号： G01L19/04 , G01L19/00 , G01L19/06
CPC分类号： G01L19/0681 , G01L19/0092 , G01L19/0645
摘要：用于测量过程流体(104)的压力的压力变送器组件(106)包括隔离膜组件(120)。压力传感器(130)与隔离膜组件(120)间隔开以提供热隔离。导管(122)从隔离膜组件(120)延伸到压力传感器(130)，并被构造以输送隔离填充流体。

19. 发明公开

CN1653321A 结合有表面声波器件的压力监测器失效
公开(公告)号：CN1653321A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN03810957.3
申请日：2003-03-17
申请人：传感技术有限公司
发明人： V·A·卡利宁 , R·D·洛尔 , M·李 , A·J·利
IPC分类号： G01L9/00 , G01L1/16 , G01L19/00
CPC分类号： G01L19/0092 , G01L1/165 , G01L9/0025
摘要：一种压力监测器，其包括具有刚性框架的基座，以及固定在基座上以与基座一起限定了基本上流体密封的腔室的盖子。盖子的至少一部分是柔性的并形成了隔膜，该隔膜可响应于监测器周围的流体压力的变化而偏转，在隔膜上设有凸起，其可将隔膜的运动传递到位于腔室内的可变形衬底上。在可变形衬底安装了第一SAW器件，至少第二和第三SAW器件安装在腔室内，第二SAW器件装在基准衬底部分上，并且其传播方向相对于所述第一和第三SAW器件中的至少一个的传播方向倾斜成一定的角度。这样，由监测器周围区域中的压力变化而引发的隔膜运动导致了可由安装于其上的SAW器件来测量的可变形衬底的变形，不会使所述基准衬底部分产生变形。

20. 发明公开

CN1571888A 泵控制系统失效
公开(公告)号：CN1571888A
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN02819689.9
申请日：2002-10-01
申请人：戴维产品股份有限公司
发明人：沃特·亨利·贝里曼 , 休·巴尔·麦克唐纳
IPC分类号： F04D15/02 , F04B49/06 , G01L19/14 , G01K13/02
CPC分类号： G01L19/0092 , F04D15/0209 , G01K13/02
摘要：本发明公开了一种用于控制流体介质泵如水泵的泵控制器，所述的泵控制器包括一金属基板(11)，适用于其中具有暴露于流体介质的第一面；以及用于所述基板的第二面上的绝缘介质。在紧邻所述基板的绝缘介质上印制一个包括至少一个压力响应元件(R9，R10)的压力传感装置(12)，以至当所述的第一面暴露于所述流体介质时，所述的压力元件对所述流体介质的压力作出响应。在紧邻所述基板的绝缘介质上印制一个流量传感装置(13)，该装置包括至少一个热源(15)和至少一个温度响应元件(16)，以至当所述的第一面暴露于所述流量时，所述的温度响应元件对所述流体介质的流量作出响应，所述的流体介质以与流量相关的方式为所述热源提供一个散热体。所述的泵控制器还包括开关装置(17)，用于启动或关闭所述的泵；以及处理装置(14)，用于从所述的压力传感装置和所述的流量传感装置接收数据。所述的数据通过在所述绝缘介质上印制的导电印制线进行通信所述的处理装置适合于处理所述的数据并且用于产生驱动所述开关装置的输出。本发明还公开了一种用于传感器基板的外壳，该基板具有一潮湿面和一干爽面，并且适合于改善所述潮湿面与流体介质的接触以及实质性地防止所述干爽面与所述流体介质的接触。

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