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1. 发明公开

CN107078252A 用于制造原电池的方法和装置以及原电池无效
公开(公告)号：CN107078252A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580044626.5
申请日：2015-08-14
申请人：曼兹股份公司
发明人： B.恩茨 , S.莱格纳
IPC分类号： H01M2/16 , H01M10/04
CPC分类号： H01M10/0404 , H01M2/168 , H01M10/0472
摘要：一种用于制造原电池(1,10,20)的方法中，该原电池(1,10,20)具有电极片材(3,4)，其中至少一个片材搁放在另一片材上并且在将一个片材搁放在另一片材上之前将添加剂(5)施加到待搁放的片材和/或已经搁放的片材上，添加剂(5)施加在片材的电化学上活跃的区域之外。

2. 发明授权

CN103392227B 移动的、可运输的静电衬底保持设备有权
公开(公告)号：CN103392227B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201180059882.3
申请日：2011-12-14
申请人：曼兹股份公司
发明人： F.施瓦茨
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/677 , H01L21/687 , H02N13/00
CPC分类号： H01L21/6833 , H01L21/67754 , H01L21/68764 , H01L21/68785
摘要：用于薄的片状工件以及在高温下使用的移动的、可运输的静电衬底保持设备（1），该静电衬底保持设备具有衬底保持器（2，20，30，40）以及用于衬底保持器（2，20，30，40）的载体（3），所述衬底保持器包括至少一个包括电极对（31.1,31.2,32.1,32.2,33.1,33.2,34.1,34.2；41.1,41.2,42.1,42.2,43.1,43.2,44.1,44.2）的保持装置（31‑34，41‑44），其特征在于，衬底保持器（2，20，30，40）经由至少一个侧边缘（2a，2b，2c，2d）至少最大程度热去耦地与所述载体（3）机械连接。

3. 发明公开

CN104011258A 用于将多个基质运输到基质处理装置的区域中的运输装置失效
公开(公告)号：CN104011258A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201280047762.6
申请日：2012-09-28
申请人：曼兹股份公司
发明人： P.雷滕巴赫尔 , T.默茨 , S.卡斯特尔
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： C23C14/50 , C23C14/566
摘要：本发明涉及一种用于同时运输待在真空处理装置(11)中处理的至少两个基质(28)的运输装置，其带有关于共同的轴线(1)可旋转地支承的且彼此轴向错位地布置的至少两个支承装置(12,14)，在其处分别布置有构造用于容纳至少一个基质(28)的至少一个保持框架(20,22,24,26)，其中，保持框架(20,22,24,26)通过支承装置(12,14)围绕轴线(1)的旋转运动可带到处理单元(50)的彼此相对而置的作用区域中，并且其中，支承装置(12,14)彼此间具有这样的轴向间距，使得处理单元(50)可布置在它们之间。

4. 发明公开

CN103392227A 移动的、可运输的静电衬底保持设备有权
公开(公告)号：CN103392227A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201180059882.3
申请日：2011-12-14
申请人：曼兹股份公司
发明人： F.施瓦茨
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/677 , H01L21/687 , H02N13/00
CPC分类号： H01L21/6833 , H01L21/67754 , H01L21/68764 , H01L21/68785
摘要：用于薄的片状工件以及在高温下使用的移动的、可运输的静电衬底保持设备（1），该静电衬底保持设备具有衬底保持器（2，20，30，40）以及用于衬底保持器（2，20，30，40）的载体（3），所述衬底保持器包括至少一个包括电极对（31.1,31.2,32.1,32.2,33.1,33.2,34.1,34.2；41.1,41.2,42.1,42.2,43.1,43.2,44.1,44.2）的保持装置（31-34，41-44），其特征在于，衬底保持器（2，20，30，40）经由至少一个侧边缘（2a，2b，2c，2d）至少最大程度热去耦地与所述载体（3）机械连接。

5. 发明公开

CN102763220A 用于至少局部地除去层堆叠的层的方法有权转让
公开(公告)号：CN102763220A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201080054591.0
申请日：2010-11-29
申请人：曼兹股份公司
发明人： V.R.莫尔多万 , C.T.诺伊格鲍尔
IPC分类号： H01L27/142 , H01L31/18
摘要：在用于至少局部地除去层堆叠（1）的至少一个半导体层（4）的方法中，如此加热光密金属化层（3），使得位于其上方的半导体层脱离。

6. 发明公开

CN108098139A 按压系统、激光结合系统以及方法有权
公开(公告)号：CN108098139A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711192164.9
申请日：2017-11-24
申请人：曼兹股份公司
发明人： M.弗罗因特 , R.内尔 , B.施米德
IPC分类号： B23K26/20 , B23K26/70
CPC分类号： B23K26/0861 , B23K26/02 , B23K26/037 , B23K26/20 , B23K26/206 , B23K26/22 , B23K37/0229 , B23K37/0408 , B23K2101/36 , B23K26/70
摘要：本发明涉及按压系统、激光结合系统以及方法，具体涉及一种用于激光结合系统的按压系统，按压系统用于在结合部位的区域中将待结合部件（储存单元、基板）按压在一起，按压系统包括：接收器，其用于容纳待结合部件；按压元件，其用于在结合部位的区域中将待结合部件局部地按压在一起；定位系统，其用于使按压元件和接收器相对定位，以及用于在结合过程期间将待结合部件按压在一起，定位系统包括：平行定位装置，其用于使接收器和按压元件以平行于平面（E）的方式相对定位；以及倾斜定位装置，其用于使按压元件和接收器以相对于平面（E）倾斜的方式，特别是以相对于平面（E）横向的方式相对定位，以及用于在结合过程期间将待结合部件按压在一起。

7. 发明授权

CN110290899B 定位单元有权
公开(公告)号：CN110290899B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN201780081978.7
申请日：2017-12-21
申请人：曼兹股份公司
发明人： M.弗罗因特
IPC分类号： B25J9/00
摘要：本发明涉及一种定位单元（1、101、201、301），其包括两个控制滑架（2、3、202、203、502）和工作滑架（4、204、304、404），可以在彼此平行延伸的轨道上移动所述两个控制滑架（2、3、202、203、502）和所述工作滑架（4、204、304、404），工作臂（5、305、405）铰接在所述工作滑架（4、204、304、404）上的工作基点（8、308）上并且控制臂（6、7）铰接在所述控制滑架（2、3、202、203、502）的每一个上的控制基点（9、10）上，所述控制臂（6、7）在所述臂的控制点（11）处铰接在所述工作臂（5、305、405）上，所述控制点（11）与所述工作臂（5、305、405）的端部以预定的λ距离（d）间隔开，所述端部形成工作点端部（12）并且背离所述工作基点（8、308），并且所述两个控制基点（9、10）和所述工作基点（8、308）限定三角形，本发明的特征在于所述两个控制滑架（2、3、202、203、502）和所述工作滑架（4、204、304、404）中的至少两个滑架可移动地布置在共用的引导装置（13、213、513）上。

8. 发明授权

CN108089413B 加工设备失效
公开(公告)号：CN108089413B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201711164011.3
申请日：2017-11-21
申请人：曼兹股份公司
发明人：托马斯·瓦尔 , 卡斯滕·康泰克 , 约克·保姆巴赫
IPC分类号： G03F9/00 , G03F7/20
摘要：为了改进一种用于具有两个相互对置设置的板侧面的板状体、特别是待曝光的板状的基板主体的加工设备，从而例如使得可以精确识别板状体的定向并且特别是能尽可能相互精确地将两个板侧面所配备的结构定向，为此提出，加工设备包括具有两个子压印机构的压印系统，所述两个子压印机构设置在几何压印基准面两侧，所述子压印机构中的每一个都分别包括至少一个朝向几何压印基准面的压印冲头，并且加工设备具有用于板状体的引导部，该引导部使所述板状体基本上在压印基准面中定向。

9. 发明授权

CN108098139B 按压系统、激光结合系统以及方法有权
公开(公告)号：CN108098139B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201711192164.9
申请日：2017-11-24
申请人：曼兹股份公司
发明人： M.弗罗因特 , R.内尔 , B.施米德
IPC分类号： B23K26/21 , B23K26/20 , B23K26/70
摘要：本发明涉及按压系统、激光结合系统以及方法，具体涉及一种用于激光结合系统的按压系统，按压系统用于在结合部位的区域中将待结合部件（储存单元、基板）按压在一起，按压系统包括：接收器，其用于容纳待结合部件；按压元件，其用于在结合部位的区域中将待结合部件局部地按压在一起；定位系统，其用于使按压元件和接收器相对定位，以及用于在结合过程期间将待结合部件按压在一起，定位系统包括：平行定位装置，其用于使接收器和按压元件以平行于平面（E）的方式相对定位；以及倾斜定位装置，其用于使按压元件和接收器以相对于平面（E）倾斜的方式，特别是以相对于平面（E）横向的方式相对定位，以及用于在结合过程期间将待结合部件按压在一起。

10. 发明公开

CN110290899A 定位单元有权
公开(公告)号：CN110290899A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201780081978.7
申请日：2017-12-21
申请人：曼兹股份公司
发明人： M.弗罗因特
IPC分类号： B25J9/00
摘要：本发明涉及一种定位单元（1、101、201、301），其包括两个控制滑架（2、3、202、203、502）和工作滑架（4、204、304、404），-可以在彼此平行延伸的轨道上移动所述两个控制滑架（2、3、202、203、502）和所述工作滑架（4、204、304、404），-工作臂（5、305、405）铰接在所述工作滑架（4、204、304、404）上的工作基点（8、308）上并且控制臂（6、7）铰接在所述控制滑架（2、3、202、203、502）的每一个上的控制基点（9、10）上，-所述控制臂（6、7）在所述臂的控制点（11）处铰接在所述工作臂（5、305、405）上，所述控制点（11）与所述工作臂（5、305、405）的端部以预定的λ距离（d）间隔开，所述端部形成工作点端部（12）并且背离所述工作基点（8、308），并且-所述两个控制基点（9、10）和所述工作基点（8、308）限定三角形，本发明的特征在于所述两个控制滑架（2、3、202、203、502）和所述工作滑架（4、204、304、404）中的至少两个滑架可移动地布置在共用的引导装置（13、213、513）上。

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