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    • 6. 发明授权
    • 含有TiAlN纳米层膜的耐磨PVD工具涂层
    • CN111032915B
    • 2022-05-03
    • CN201880055741.6
    • 2018-08-31
    • 瓦尔特公开股份有限公司
    • 法伊特·席尔沃尔夫冈·恩格哈特
    • C23C28/04C23C14/02C23C14/06C23C14/32C23C30/00
    • 本发明涉及一种涂层切削工具及其制造方法,所述涂层切削工具由基材和硬质材料涂层构成,所述基材选自硬质合金、金属陶瓷、陶瓷、立方氮化硼(cBN)、多晶金刚石(PCD)或高速钢(HSS),其中所述硬质材料涂层包含交替堆叠的(Ti,Al)N子层的(Ti,Al)N层堆叠体(L),所述层堆叠体(L)具有如下特征:‑在所述(Ti,Al)N层堆叠体(L)内Ti:Al的总原子比在0.33:0.67至0.67:0.33的范围内;‑所述(Ti,Al)N层堆叠体(L)的总厚度在1μm至20μm的范围内;‑在所述交替堆叠的(Ti,Al)N子层的(Ti,Al)N层堆叠体(L)内每个单独的(Ti,Al)N子层具有在0.5nm至50nm范围内的厚度;‑在所述交替堆叠的(Ti,Al)N子层的(Ti,Al)N层堆叠体(L)内的每个单独的(Ti,Al)N子层在原子比Ti:Al方面与直接相邻的(Ti,Al)N子层不同;‑在垂直于所述基材表面的所述(Ti,Al)N层堆叠体(L)的厚度上,从排列为朝向所述基材的方向的所述(Ti,Al)N层堆叠体(L)的界面到排列为朝向所述涂层外表面的方向的所述(Ti,Al)N层堆叠体(L)的界面,Al的含量增加并且Ti的含量降低;‑在垂直于所述基材表面的所述(Ti,Al)N层堆叠体(L)的厚度上,从排列为朝向所述基材的方向的所述(Ti,Al)N层堆叠体(L)的界面到排列为朝向所述涂层外表面的方向的所述(Ti,Al)N层堆叠体(L)的界面,残余应力σ下降至少150MPa至最多900MPa的量,由此应用基于(200)反射的sin2Ψ方法通过X射线衍射来测量所述残余应力σ;‑在所述(Ti,Al)N层堆叠体(L)内从排列为朝向所述基材的方向的所述(Ti,Al)N层堆叠体(L)的界面起至少100nm至最多1μm厚度的部分内的所述残余应力σ在0MPa至+450MPa的范围内。