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1. 发明公开

CN102401632A 使用双光子吸收的激光辅助设备改造有权
公开(公告)号：CN102401632A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110319332.2
申请日：2011-09-08
申请人： DCG系统有限公司
发明人： P·韦达加尔巴 , D·里德
IPC分类号： G01B11/00 , H01S3/11
CPC分类号： G01R31/311 , G01N21/636 , G01R31/303
摘要：本发明提供一种双光子激光辅助设备改造技术。通过应用非线性双光子吸收机制诱生LADA效应来研究缺陷定位。在DUT由测试向量激励的同时，具有光子能量低于硅带隙的波长的飞秒激光脉冲被引导至感兴趣区域。该激光脉冲同步于DUT激励，以使得使用双光子吸收效应可以改变切换计时。

2. 发明授权

CN106471412B 自校准的悬浮固体浸没透镜端部有权
公开(公告)号：CN106471412B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201580021271.8
申请日：2015-03-11
申请人： DCG系统有限公司
发明人： J·弗兰克 , P·萨比内尼
IPC分类号： G02B7/02 , G01R31/311 , G01N21/01
摘要：公开了一种用于固体浸没透镜(SIL)的光学装置。该装置使得SIL能够自由倾斜。该装置包括具有从SIL的接合表面和后表面延伸的光轴的SIL；SIL壳体，其具有配置为将SIL接收在其中，同时允许SIL在腔体内自由倾斜的腔体，其中该腔体包括定位成使得光轴从其穿过，从而允许SIL收集的光线传播至物镜的孔；以及，附接至SIL壳体并配置为防止SIL从腔体脱出的SIL保持器。

3. 发明授权

CN102401632B 使用双光子吸收的激光辅助设备改造有权
公开(公告)号：CN102401632B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201110319332.2
申请日：2011-09-08
申请人： DCG系统有限公司
发明人： P·韦达加尔巴 , D·里德
IPC分类号： G01B11/00 , H01S3/11
CPC分类号： G01R31/311 , G01N21/636 , G01R31/303
摘要：本发明提供一种双光子激光辅助设备改造技术。通过应用非线性双光子吸收机制诱生LADA效应来研究缺陷定位。在DUT由测试向量激励的同时，具有光子能量低于硅带隙的波长的飞秒激光脉冲被引导至感兴趣区域。该激光脉冲同步于DUT激励，以使得使用双光子吸收效应可以改变切换计时。

4. 发明公开

CN104145184A 用于通过热流热成像法检查样品的方法无效
公开(公告)号：CN104145184A
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201280060975.2
申请日：2012-12-10
申请人： DCG系统有限公司
发明人： H·朗 , J·米耶尔克
IPC分类号： G01N25/72
CPC分类号： G01J5/32 , G01J2005/0077 , G01J2005/0081 , G01N25/72
摘要：本发明提供了一种用于通过热流热成像法无损的、非接触的并且形成图像来检查样品的方法，其中所述检查包括评价样品表面下的任何热流速度转变的存在和/或深度距离值，其中所述样品被至少一个激发源的热脉冲激发，并且源于那里的热流被至少一个红外传感器以热图像的图像序列捕获，并且其中，通过信号和图像处理来评价从所述图像序列获得的热图像，并且以时间和空间分辨率描述热流。所述方法包括：通过来自所述激发源的热脉冲相互独立地至少两次激发样品，其中第二次激发以及任何随后的激发相对于前一次激发被延迟一个时延，由此被捕获的序列的起点发生在一个图像序列内的两个图像之间的时间内的另一个限定的时间点；通过红外传感器以独立的图像序列检测由所述样品的至少两次激发过程产生的相应的整个热流过程，所述图像序列含有所述激发以及来自样品的热应答信号，将所有被捕获的图像序列组合为一个总的图像序列，其中所有的图像以相对于脉冲状激发的时间点在时间上是正确的顺序排列，并且以本质上已知的方式从所述总的图像序列中提取来自所述样品表面的热流速度转变的深度距离的指示。在那里，所述热流速度转变可以是层状材料的一个较宽层，或者是基底中或低于工件表面的缺陷。

5. 发明公开

CN106471412A 自校准的悬浮固体浸没透镜端部有权
公开(公告)号：CN106471412A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201580021271.8
申请日：2015-03-11
申请人： DCG系统有限公司
发明人： J·弗兰克 , P·萨比内尼
IPC分类号： G02B7/02 , G01R31/311 , G01N21/01
摘要：公开了一种用于固体浸没透镜(SIL)的光学装置。该装置使得SIL能够自由倾斜。该装置包括具有从SIL的接合表面和后表面延伸的光轴的SIL；SIL壳体，其具有配置为将SIL接收在其中，同时允许SIL在腔体内自由倾斜的腔体，其中该腔体包括定位成使得光轴从其穿过，从而允许SIL收集的光线传播至物镜的孔；以及，附接至SIL壳体并配置为防止SIL从腔体脱出的SIL保持器。

6. 发明授权

CN103026216B 三维热点定位有权
公开(公告)号：CN103026216B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201180036274.0
申请日：2011-06-08
申请人： DCG系统有限公司 , 弗劳恩霍弗应用技术研究院
发明人： F·阿尔特曼 , C·施密特 , R·施兰根 , H·泰朗德
IPC分类号： G01N25/72
CPC分类号： G01J5/0066 , G01J2005/0077 , G01J2005/0085 , G01N1/00 , G01N21/35 , G01N21/88 , G01N25/00 , G01N2021/8461 , G01R31/311
摘要：一种利用锁相热像（LIT）对电子器件架构中掩埋热点进行3D定位的非破坏性方法。3D分析基于热波通过不同材料层的传播原理和所得的相移/热时间延迟。对于更复杂的多层叠置管芯架构，必须在不同激励频率下采集多个LIT结果以进行热点的精确深度定位。此外，可以使用在热点位置顶部最小化视场中测量的多个时间分辨的热波形加快数据采集。可以分析所得波形的形状以进一步提高检测精确度和置信水平。

7. 发明公开

CN103026216A 三维热点定位有权
公开(公告)号：CN103026216A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201180036274.0
申请日：2011-06-08
申请人： DCG系统有限公司 , 弗劳恩霍弗应用技术研究院
发明人： F·阿尔特曼 , C·施密特 , R·施兰根 , H·泰朗德
IPC分类号： G01N25/72
CPC分类号： G01J5/0066 , G01J2005/0077 , G01J2005/0085 , G01N1/00 , G01N21/35 , G01N21/88 , G01N25/00 , G01N2021/8461 , G01R31/311
摘要：一种利用锁相热像（LIT）对电子器件架构中掩埋热点进行3D定位的非破坏性方法。3D分析基于热波通过不同材料层的传播原理和所得的相移/热时间延迟。对于更复杂的多层叠置管芯架构，必须在不同激励频率下采集多个LIT结果以进行热点的精确深度定位。此外，可以使用在热点位置顶部最小化视场中测量的多个时间分辨的热波形加快数据采集。可以分析所得波形的形状以进一步提高检测精确度和置信水平。

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