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1. 发明公开

CN111492309A 感光性树脂层叠体有权
公开(公告)号：CN111492309A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201880081747.0
申请日：2018-12-19
申请人：旭化成株式会社
发明人：宫崎纯
IPC分类号： G03F7/09 , G03F7/004 , G03F7/027 , H05K3/06
摘要：提供一种避免发生抗蚀剂突起，赋予良好的抗蚀图案形状且能够以良好的生产率获得的感光性树脂层叠体。在一方式中，提供一种感光性树脂层叠体，其为具备支承薄膜和形成于该支承薄膜上的感光性树脂组合物层的感光性树脂层叠体，其中，该支承薄膜包含微粒，包含通过落射型激光显微镜以13.5mm2的面积观测该支承薄膜时的光学异常区域的总面积比率为300ppm以下的区域。

2. 发明授权

CN111492309B 感光性树脂层叠体有权
公开(公告)号：CN111492309B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN201880081747.0
申请日：2018-12-19
申请人：旭化成株式会社
发明人：宫崎纯
IPC分类号： G03F7/09 , G03F7/004 , G03F7/027 , H05K3/06
摘要：提供一种避免发生抗蚀剂突起，赋予良好的抗蚀图案形状且能够以良好的生产率获得的感光性树脂层叠体。在一方式中，提供一种感光性树脂层叠体，其为具备支承薄膜和形成于该支承薄膜上的感光性树脂组合物层的感光性树脂层叠体，其中，该支承薄膜包含微粒，包含通过落射型激光显微镜以13.5mm2的面积观测该支承薄膜时的光学异常区域的总面积比率为300ppm以下(56)对比文件CN 101595171 A,2009.12.02CN 101010636 A,2007.08.01谢彪“.光固化3D打印用光敏树脂的改性”.《中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技Ⅰ辑》.2016,(第6期),第1-72页 .赵盼娟.“光纤—聚合物高灵敏温度传感结构的制备及特性研究”《.中国优秀硕士学位论文全文数据库信息科技》.2017,(第2期),第1-72页.彭雪影.“飞秒激光在聚合物中微纳加工的材料研究”《.中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技Ⅰ辑》.2012,(第12期),第1- 63页 .Park, HH et al.“Photo-induced hybridnanopatterning of titanium dioxide viadirect imprint lithography”《.JOURNAL OFMATERIALS CHEMISTRY》.2010,第20卷(第10期),第1921-1926页.Shen, WD et al.“Light trimming of anarrow bandpass filter based on aphotosensitive chalcogenide spacer”.《OPTICS EXPRESS》.2008,第16卷(第1期),第373-383页.颜炜“.PET薄膜在光阻干膜中的应用及性能研究”《.中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技Ⅰ辑》.2013,(第5期),第7-38页.

3. 发明授权

CN109690404B 感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体有权
公开(公告)号：CN109690404B
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN201780055093.X
申请日：2017-12-05
申请人：旭化成株式会社
发明人：松田隆之 , 西泽豪 , 宫崎纯
IPC分类号： G03F7/09 , G03F7/004 , G03F7/033 , G03F7/20 , H05K3/00
摘要：提供即使曝光时的焦点偏移时也表现出高分辨性和良好的线宽重现性的感光性树脂层叠体。感光性树脂层叠体具备：支承薄膜、和形成于该支承薄膜上并包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，其中，在支承薄膜的任意10处切出一边5mm的正方形小片时，各小片中所含的1.5μm以上且小于4.5μm的微粒的数量以所述10处平均计为0～200个。

4. 发明公开

CN109690404A 感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体有权
公开(公告)号：CN109690404A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201780055093.X
申请日：2017-12-05
申请人：旭化成株式会社
发明人：松田隆之 , 西泽豪 , 宫崎纯
IPC分类号： G03F7/09 , G03F7/004 , G03F7/033 , G03F7/20 , H05K3/00
摘要：提供即使曝光时的焦点偏移时也表现出高分辨性和良好的线宽重现性的感光性树脂层叠体。感光性树脂层叠体具备：支承薄膜、和形成于该支承薄膜上并包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，其中，在支承薄膜的任意10处切出一边5mm的正方形小片时，各小片中所含的1.5μm以上且小于4.5μm的微粒的数量以所述10处平均计为0～200个。

5. 实用新型

CN205344035U 湿式层压机有权
公开(公告)号：CN205344035U
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201620051050.7
申请日：2016-01-19
申请人：旭化成株式会社
发明人：宫崎纯
IPC分类号： B32B37/06 , B32B37/10
摘要：本实用新型提供一种湿式层压机，通过采用该湿式层压机，使海绵辊的润湿量在轴向上恒定，从而能够防止电路板的铜表面的润湿量不均匀，以及层压不均匀、抗蚀性能不均匀，能够提高最终产品的成品率。该湿式层压机包括：输送装置，其用于输送电路板；海绵辊，其用于对输送装置输送来的电路板的铜表面进行湿处理；供给构件，其用于向海绵辊供给润湿剂；及热压接辊，其用于将另外输送来的干膜层压在经过湿处理后的电路板的铜表面上，供给构件设定为：能够让被供给到供给构件内部的润湿剂经由设于供给构件的壁面的开口部而流到供给构件外部，从而能够向海绵辊供给润湿剂，并且，开口部设定为：能够让海绵辊被润湿剂润湿的程度在海绵辊的轴向上大致均匀。

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