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1. 发明授权

CN109863334B 密封构造及密封方法以及具有该密封构造的联轴器失效
公开(公告)号：CN109863334B
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201780065703.4
申请日：2017-10-26
申请人：株式会社富士金
发明人：平松浩司 , 山路道雄 , 大道邦彦 , 药师神忠幸 , 柳田保昌 , 船越高志
IPC分类号： F16J15/06 , F16L19/03
摘要：提供一种即使用于低温流体也能够长时间确保密封性的密封构造及密封方法以及具有该密封构造的联轴器。具有夹设在第1部件及第2部件(2、3)之间的环状垫圈(6)。第1部件(2)的垫圈对置面包括：内径侧的第1面(41)；环状的第1突起(42)，其设置在第1面(41)的外径侧；第2面(43)，其设置在第1突起(42)的外径侧；环状的第2突起(44)，其设置在第2面(43)的外径侧，相对于第2面(43)的突出量大于第1突起(42)；以及第3面(45)，其设置在第2突起(44)的外径侧。第1突起(42)及第2突起(44)咬入垫圈(6)，第2面(43)按压垫圈。

2. 发明授权

CN109477600B 管接头有权
公开(公告)号：CN109477600B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201780045130.9
申请日：2017-07-25
申请人：株式会社富士金
发明人：石桥圭介 , 中浜隆泰 , 落合利纪 , 山路道雄 , 药师神忠幸 , 船越高志 , 大道邦彦 , 宫川英行
IPC分类号： F16L19/03
摘要：提供一种管接头，用于在超高压条件下使用，且接头的直径不会相对地变大。该管接头具备：第1及第2接头部件，其具有相互连通的流体通路；和密封垫片，其夹设在第1及第2接头部件的对接端面之间，在第1及第2接头部件的对接端面上形成有环状的密封突起，该管接头的特征在于，在将第1及第2接头部件的内径设为D1、将密封垫片的内径设为D2、将密封突起的直径设为D3、将密封垫片的外径设为D4时，以式(1)规定的系数F为0.4以下，式(1)：F＝(D32‑D12)/(D42‑D22)。

3. 发明授权

CN107003236B 光学式气体浓度测定方法以及基于该方法的气体浓度监视方法失效
公开(公告)号：CN107003236B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201580063098.8
申请日：2015-11-20
申请人：株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
发明人：永瀬正明 , 西野功二 , 池田信一 , 山路道雄 , 须川成利 , 黑田理人
IPC分类号： G01N21/27 , C23C16/52 , G01N21/33 , H01L21/205
摘要：提供一种能够通过简单的方法以不破坏的方式准确且迅速地测定规定的化学成分的直至极微量区域的浓度的浓度测定方法以及能够准确、迅速且实时地测定被测定对象中的化学成分的直至纳米级的极微量浓度范围的浓度、并具备在各种形态和方式中能够被具体化的万能性的浓度测定方法。利用分时法向被测定对象分别照射针对被测定对象而言的光吸收率不同的第一波长的光和第二波长的光，由共通的光接收传感器接收通过各波长的光的该照射而从被测定对象以光学的方式通过的各波长的光，形成同该接收相应地从所述光接收传感器输出的同第一波长的光相关的信号与同第二波长的光相关的信号的差动信号，根据该差动信号导出被测定对象中的化学成分的浓度。

4. 发明公开

CN110301165A 流体加热器、流体控制装置以及流体加热器的制造方法有权
公开(公告)号：CN110301165A
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201880012221.7
申请日：2018-03-09
申请人：东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
发明人：冈部庸之 , 稻田敏之 , 千叶泰司 , 佐藤龙彦 , 山路道雄 , 药师神忠幸
IPC分类号： H05B3/40 , F16L53/35 , F24H1/16 , F24H3/04
摘要：本发明提供一种可提高流体的加热效率的流体加热器、流体控制装置以及流体加热器的制造方法。流体加热器(20)具备：形成有流路(22c)的流路部件(22)、以及用于对流路部件(22)进行加热的加热器(25)，流路(22c)呈螺旋状，且沿着长度方向的剖面的形状呈多边形状。流路部件(22)的造型方向(M)与多边形的一个对角线平行。流路部件(22)呈大致圆柱形，其长度方向与流路部件(22)的造型方向为相同方向。

5. 发明授权

CN105556283B 在线型浓度计和浓度检测方法失效
公开(公告)号：CN105556283B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201480022888.7
申请日：2014-07-18
申请人：国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
发明人：出口祥啓 , 永濑正明 , 池田信一 , 山路道雄
IPC分类号： G01N21/33
摘要：本发明提供一种在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计，能够实现该浓度计的结构的简单化、小型化、产品成本的降低，并且能够在高精度、高灵敏度下进行再现性高的浓度测定。本发明由以下部件构成：发射具有相位差的至少两种波长的光的光源部；具备将来自光源部的光入射至检测器主体的流体通路内的光入射部和对流体通路内通过的光进行受光的至少两个光检测部的检测部；对来自检测部的至少两个波长的检测信号分别进行频率解析，并且计算与上述各检测信号的至少三个频率域的吸光度对应的强度，根据该各检测信号的至少三个频率域的吸光度强度计算流体通路内的流体浓度的运算处理部；记录和/或显示运算处理部的流体浓度的计算值的记录显示部。

6. 发明公开

CN108884941A 切换阀失效
公开(公告)号：CN108884941A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201880001346.X
申请日：2018-01-30
申请人：株式会社富士金
发明人：石桥圭介 , 药师神忠幸 , 藤本良平 , 骏藤纪文 , 山路道雄 , 吉金康弘
IPC分类号： F16K1/34 , F16K11/044
摘要：提供一种用于切换流体的流路的分析仪模块用的切换阀，其是制造成本被削减、长寿命的切换阀。其特征在于，阀芯形成有：下侧阀抵接部，其在阀封闭时与设置于阀体的下侧阀座密合；和上侧阀抵接部，其在阀开放时与设置于对面板的上侧阀座密合。对面板具有：第1凹处，其朝下开口；和第2凹处，其朝向第1凹处开口，且水平截面积比第1凹处的水平截面积小，在第2凹处压入有上侧阀座。

7. 发明授权

CN105556185B 隔膜阀有权
公开(公告)号：CN105556185B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201480044357.8
申请日：2014-07-31
申请人：株式会社富士金
发明人：北野太一 , 木曾秀则 , 篠原努 , 山路道雄
IPC分类号： F16K7/16 , F16K7/12 , F16K7/17
CPC分类号： F16K7/17 , F16K7/14 , F16K27/0236
摘要：本发明提供一种可增加流量，而且能够抑制偏差的隔膜阀。在隔膜阀(1)中，使流入流体流入通路(2a)的流体经由设置在片材支架(5)上的贯通孔(22a)与流体流出通路(2b)连通。阀体(2)的凹处(2c)底面(13)中，支承片材(4)的片材承受面(13a)与支承片材支架(5)的片材支架承受面(13b)形成在同一平面。在阀体(2)的凹处(2c)底面上形成有与设置在片材支架(5)上的贯通孔(22a)相对的环状沟槽(14)。

8. 发明授权

CN105190142B 流量控制装置用的流量控制阀失效
公开(公告)号：CN105190142B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201480004461.4
申请日：2014-03-17
申请人：株式会社富士金
发明人：广濑隆 , 山路道雄 , 吉田俊英 , 执行耕平
IPC分类号： F16K31/02 , F16K27/02
摘要：本发明通过实现在流量控制装置等中使用的压电元件驱动式金属隔膜控制阀的构造的简单化和小型化、组装及维护检修的容易化，不会造成半导体制造装置用集成化气体供给装置等的大型化，就可以应对供给气体种类、供给电路数量的增加的要求。本发明由下述部件构成：包括具有阀座(6)的上方敞口的阀室用孔部(1a)和与之连通的流体入口通路(7a)以及流体出口通路(7b)的阀主体(1)；在阀座(6)的上方相对状配设并且外周缘固定于阀室用孔部(1a)的底面的倒碟形的金属隔膜阀体(2)；螺纹旋插到阀室用孔部(1a)中并按压固定金属隔膜阀体(2)的外周缘的压紧螺钉(5)；通过压紧螺钉(5)内部并插入到阀室用孔部(1a)内，在前端部的底壁下方具备隔膜压件(3)，并且在侧壁上相对且贯通状地设置有从侧壁的上端到达中间部的长方形的切口(22a)的下部支承筒体(22)；螺接到下部支承筒体(22)的上端部而形成支承筒体(23)的圆筒状的上部支承筒体(21)；载置在下部支承筒体(22)的底壁上的具有保持部(8a)的碟簧承受台(8)；载置在碟簧承受台(8)上的碟簧(18)；插通下部支承筒体(22)的切口(22a)而水平配设，中央具有保持碟簧保持部(8a)的前端部的碟簧承受台引导孔(19)，并且在两端部设置有螺栓插入孔(20)的支承台架(16)；载置在支承台架(16)的碟簧承受台引导孔(19)的上方的下部承受台(9)；插入下部承受台(9)的上方的支承筒体(23)内的压电元件(10)；具备引导筒(24a)和从其下端部向两侧突出的凸缘部(24c)，使支承筒体(23)以能够向上下方向移动的方式插通到引导筒(24a)内，并且使凸缘部(24c)与支承台架(16)的两端部相对，利用固定用螺栓(17)与所述支承台架(16)一并被固定于阀主体(1)的引导体(24)；和螺接在上部支承筒体(21)的上端部的定位螺母(12)，通过压电元件(10)的伸长将支承筒体(23)推向上方，利用金属隔膜阀体(2)的弹力使其从阀座(6)分离。

9. 发明授权

CN104685278B 流体控制器用执行机构有权
公开(公告)号：CN104685278B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201380033803.0
申请日：2013-06-26
申请人：株式会社富士金
发明人：药师神忠幸 , 山路道雄 , 谷川毅 , 石桥圭介 , 佐佐木慎一郎
IPC分类号： F16K31/122 , F15B15/14
CPC分类号： F16K31/1221 , F15B15/02 , F15B15/1476 , F16K21/04 , F16K27/0236 , F16K31/1225 , Y10T137/7754
摘要：提供一种流体控制器用执行机构，不需要用于将内侧弹簧推压件固定在外壳上的多个螺栓，因而结构简单且组装不耗费工时，并且组装后能够从外部调节弹压部件的弹压力。内侧弹簧推压件(15)具有轴部(22)和配置在轴部(22)的下端部的圆筒部(23)，通过圆筒部(23)的下端推压弹压部件(12)的贯通孔(12a)的上侧周缘部。轴部(22)将外侧弹簧推压件(16)贯通后向上方延伸。在外壳(11)的顶壁(11d)上螺合有调节螺钉(19)，该调节螺钉(19)的下端与内侧弹簧推压件(15)的轴部(22)的上表面抵接从而将内侧弹簧推压件(15)定位。

10. 发明授权

CN103827560B 气体供给装置失效
公开(公告)号：CN103827560B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201280047669.5
申请日：2012-09-26
申请人：株式会社富士金
发明人：广濑隆 , 山路道雄
IPC分类号： F16K27/00 , F15B11/00
CPC分类号： F16K27/003 , Y10T137/4259 , Y10T137/86485 , Y10T137/86493 , Y10T137/87885
摘要：本发明的气体供给装置谋求气体供给管路和气体装置的进一步小型化，并且更容易进行各仪器类的维修管理。本发明在由气体入口侧块、气体出口侧块和多个流体控制仪器形成有供给管路是供给装置中，在前述气体供给装置上形成有至少两个气体供给管路，各气体供给管路的前述流体控制仪器包含至少一个流量控制器，一方的气体供给管路的流量控制器的入口侧块与另一方的气体供给管路的流量控制器的入口侧块以对向状相对于前述入口侧块连接，一方的流量控制器的出口侧块与另一方的流量控制器的出口侧块以对向状相对于前述气体出口侧块连接。

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