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1. 发明公开

CN112119284A 用于重新校准微机械传感器的方法和可重新校准的传感器有权
公开(公告)号：CN112119284A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201980032683.X
申请日：2019-03-07
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： M·迈尔 , T·泽布罗夫斯基 , W·盖格尔 , R·哈利柳林 , A·维斯孔蒂
IPC分类号： G01D18/00
摘要：提供一种用于重新校准传感器的方法，所述传感器具有：微机械的传感器结构，所述微机械的传感器结构具有至少一个可偏转的传感器结构元件(1)，所述至少一个可偏转的传感器结构元件用于探测及转换物理输入参量为电的传感器信号；第一电路装置(5)，所述第一电路装置用于将限定的电测试激励信号施加到所述传感器结构，这导致所述传感器结构元件(1)的测试偏转；第二电路装置(4)，所述第二电路装置用于将所述传感器结构元件(1)的所述测试偏转检测为电传感器响应信号Sel；其中，为所述传感器分配信号处理装置(7)，用于基于至少一个预先确定的初始调整值Cal(0)来校正所述传感器信号，如此选择所述初始调整值，使得在限定的传感器激励下，补偿所述传感器信号与期望传感器信号的由制造决定的偏差。根据本发明的用于重新校准传感器的所述方法包括以下步骤：a)将限定的电测试激励信号施加到所述传感器结构上；b)检测所述相应的传感器响应信号Sel(i)；c)基于传感器响应信号Sel与调整校正值ΔCal之间的预先确定的关系，求取用于所述至少一个初始调整值Cal(0)的调整校正值ΔCal(i)；d)确定用于所述传感器信号的校正的至少一个当前的调整值Cal(i)，其中，所述至少一个当前的调整值Cal(i)的所述确定基于至少一个初始调整值Cal(0)和所求取的调整校正值ΔCal(i)进行。根据本发明，所述传感器的信号处理装置设计用于：访问预先确定的所存储的传感器响应信号Sel和用于至少一个初始调整值Cal(0)的调整校正值ΔCal之间的关系；基于所述至少一个初始调整值Cal(0)和所求取的调整校正值ΔCal(i)，确定用于校正所述传感器信号的当前的调整值Cal(i)。

2. 发明授权

CN112119284B 用于重新校准微机械传感器的方法和可重新校准的传感器有权
公开(公告)号：CN112119284B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN201980032683.X
申请日：2019-03-07
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： M·迈尔 , T·泽布罗夫斯基 , W·盖格尔 , R·哈利柳林 , A·维斯孔蒂
IPC分类号： G01D18/00
摘要：提供一种用于重新校准传感器的方法，所述传感器具有：微机械的传感器结构，所述微机械的传感器结构具有至少一个可偏转的传感器结构元件(1)，所述至少一个可偏转的传感器结构元件用于探测及转换物理输入参量为电的传感器信号；第一电路装置(5)，所述第一电路装置用于将限定的电测试激励信号施加到所述传感器结构，这导致所述传感器结构元件(1)的测试偏转；第二电路装置(4)，所述第二电路装置用于将所述传感器结构元件(1)的所述测试偏转检测为电传感器响应信号Sel；其中，为所述传感器分配信号处理装置(7)，用于基于至少一个预先确定的初始调整值Cal(0)来校正所述传感器信号，如此选择所述初始调整值，使得在限定的传感器激励下，补偿所述传感器信号与期望传感器信号的由制造决定的偏差。根据本发明的用于重新校准传感器的所述方法包括以下步骤：a)将限定的电测试激励信号施加到所述传感器结构上；b)检测所述相应的传感器响应信号Sel(i)；c)基于传感器响应信号Sel与调整校正值ΔCal之间的预先确定的关系，求取用于所述至少一个初始调整值Cal(0)的调整校正值ΔCal(i)；d)确定用于所述传感器信号的校正的至少一个当前的调整值Cal(i)，其中，所述至少一个当前的调整值Cal(i)的所述确定基于至少一个初始调整值Cal(0)和所求取的调整校正值ΔCal(i)进行。根据本发明，所述传感器的信号处理装置设计用于：访问预先确定的所存储的传感器响应信号Sel和用于至少一个初始调整值Cal(0)的调整校正值ΔCal之间的关系；基于所述至少一个初始调整值Cal(0)和所求取的调整校正值ΔCal(i)，确定用于校正所述传感器信号的当前的调整值Cal(i)。

3. 发明公开

CN114076830A 传感器系统、用于运行传感器系统的方法审中-实审
公开(公告)号：CN114076830A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202110964922.4
申请日：2021-08-20
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： W·盖格尔 , I·卡达尔-内梅特 , J·克拉森
IPC分类号： G01P3/38
摘要：要求保护一种传感器系统，所述传感器系统包括芯片布置，其中，所述芯片布置具有传感器和加速度传感器，其中，所述传感器系统具有处理器电路，其特征在于，所述处理器电路如此配置，使得求取所述传感器的一个或多个温度相关的参量和/或属性，并且借助所求取的、所述传感器的一个或多个温度相关的参量和/或属性，校正所述加速度传感器的信号的由温度梯度引起的偏移。

4. 发明公开

CN115461595A 用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器审中-实审
公开(公告)号：CN115461595A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202180031780.4
申请日：2021-04-14
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： R·舍本 , R·毛尔 , M·屈内尔 , S·梅尔基施 , T·巴尔斯林科 , N·F·库尔曼 , W·盖格尔
IPC分类号： G01C19/5769 , G01C19/5712
摘要：一种用于转速传感器的具有关于垂直于衬底表面(10)定向且与这些转子质量在中心相交的第一对称平面(14)镜像对称并且可被置于围绕垂直于该衬底表面定向的旋转轴线(18a，18b)的扭转振动运动(16a，16b)中的两个转子质量(12a，12b)，和关于第一对称平面镜像对称并且可借助转子质量平行于第一对称平面地偏转的四个振动质量(22a，22b，24a和24b)的微机械构件，第一转子质量(12a)和附接在第一转子质量上的第一对振动质量(22a，22b)关于垂直于该衬底表面及第一对称平面定向的第二对称平面(26)与第二转子质量(12b)和附接在第二转子质量上的第二对振动质量(24a，24b)镜像对称。

5. 发明公开

CN113566805A 用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器审中-实审
公开(公告)号：CN113566805A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202110468068.2
申请日：2021-04-28
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： M·屈内尔 , N·F·库尔曼 , R·毛尔 , R·舍本 , S·梅尔基施 , T·巴尔斯林科 , W·盖格尔
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5755 , G01C19/5769 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C3/00
摘要：本发明涉及一种用于转速传感器的微机械构件，所述微机械构件具有带有衬底表面(10)的衬底、一件式的第一转子质量(12a)和微机械构件的至少一个第一部件(22a，22b，38a，38b)，所述第一转子质量能够被置于围绕垂直于衬底表面(10)定向的第一旋转轴线(18a)的第一扭转振动运动(16a)中，其中，第一转子质量(12a)通过至少一个第一弹簧元件(26a)附接到所述至少一个第一部件(22a，22b，38a，38b)上，其中，至少一个第一弹簧元件(26a)分别延伸通过第一转子质量(12a)上的各一个侧向凹口(28a)并且附接到第一转子质量(12a)的缩回的边缘区域上。本发明还涉及一种转速传感器和一种用于转速传感器的微机械构件的制造方法。

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