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1. 发明公开

CN104520667A 干涉型距离测量装置以及相应的方法有权
公开(公告)号：CN104520667A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380039172.3
申请日：2013-07-18
申请人：赫克斯冈技术中心
发明人：托马斯·延森
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02091 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/0205 , G01B9/02057 , G01B11/007
摘要：本发明涉及一种用于测量表面的干涉型距离测量装置，所述干涉型距离测量装置具有：能够被调谐的至少一个激光源，所述激光源具有相干长度，用于产生被波长斜坡调制的测量辐射；光路，所述光路具有用于向表面发射测量辐射的光学传导系统以及用于捕捉由表面反向散射的测量辐射的光学捕捉系统，所述光学捕捉系统包括测量臂以及参考臂；以及辐射探测器和评估单元，用于确定从所述距离测量装置的参考点到所述表面的距离。由至少一个分光器限定用于并行发射测量辐射的n≥2条通道，为所述通道分别分配由相干长度限定的测量范围的一个不同子域。

2. 发明授权

CN102686972B 测量光学表面形状的方法以及干涉测量装置有权
公开(公告)号：CN102686972B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN200980162499.3
申请日：2009-09-18
申请人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人： R.弗赖曼 , B.多尔班德 , S.舒尔特 , A.霍夫 , F.里彭豪森 , M.曼格 , D.纽格鲍尔 , H.艾斯勒 , A.比科
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24 , G02B26/06 , G01M11/02
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02027 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B2290/15 , G01M11/005 , G01M11/025 , G01M11/0271 , G02B3/02 , G02B5/10
摘要：提供一种测量测试物体（12）的光学表面（14）的形状的方法。该方法包括以下步骤：提供产生测量波（18）的干涉测量装置（16），在不同测量位置处相对于彼此连贯地布置该干涉测量装置（16）和测试物体（12），从而由该测量波（18）照明该光学表面（14）的不同区域（20），在该不同测量位置，测量该测量装置（16）关于该测试物体（12）的位置坐标，通过在每个测量位置处使用测量装置（16）干涉地测量该测量波（18）在与该光学表面（14）的各个区域（20）相互作用之后的波前而获得表面区域测量，通过基于该干涉测量装置（16）在每个测量位置处所测量的位置坐标计算地组合子表面测量而确定该光学表面（14）的实际形状。

3. 发明授权

CN101907713B 用于测量相对运动的设备和方法有权
公开(公告)号：CN101907713B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201010196615.8
申请日：2010-06-03
申请人：伽泽拉有限公司
发明人： J·考皮宁
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02032 , G01B9/02057
摘要：本发明涉及一种测量相对运动的设备和方法。该测量设备包括用于发射光束的光源(110、210)、具有适合于反射光束的第一波阵面部分的反射表面(121、221)的移动元件(120、220)以及具有适合于反射光束的第二波阵面部分的反射表面(131、231)的参考元件(130、230)。该设备还包括检测装置(140、240)和处理装置(150、160、250、260)，所述检测装置(140、240)用于检测由从移动元件和参考元件反射的光产生的空间干涉图中的变化，所述处理装置(150、160、250、260)用于从被检测的空间干涉图中的相位变化计算移动元件和参考元件之间的相对运动。

4. 发明公开

CN103842769A 通过活细胞干涉测量法的快速、大量平行单细胞药物响应测量有权
公开(公告)号：CN103842769A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201280048126.5
申请日：2012-08-02
申请人：加利福尼亚大学董事会
发明人： J.C.里德 , M.A.泰特尔
IPC分类号： G01B9/02 , G01N33/483
CPC分类号： G01N33/57492 , G01B9/02057 , G01B9/02089 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01N33/502 , G01N33/5026
摘要：癌症治疗的核心问题是肿瘤细胞群中的单体细胞如何响应旨在阻止它们生长的药物。然而，无论是癌性细胞还是生理学细胞，细胞的绝对生长、它们物理质量上的变化，难于直接用常规技术测量。本发明的实施方式提供用于对暴露于变化环境的细胞的细胞质量进行快速的、实时定量的活细胞干涉测量法(LCI)。总之，LCI提供用于评估细胞群来确定、监测和测量单个细胞对例如对治疗用药物的响应的观念上的发展。

5. 发明公开

CN102686972A 测量光学表面形状的方法以及干涉测量装置有权
公开(公告)号：CN102686972A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN200980162499.3
申请日：2009-09-18
申请人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人： R.弗赖曼 , B.多尔班德 , S.舒尔特 , A.霍夫 , F.里彭豪森 , M.曼格 , D.纽格鲍尔 , H.艾斯勒 , A.比科
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24 , G02B26/06 , G01M11/02
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02027 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B2290/15 , G01M11/005 , G01M11/025 , G01M11/0271 , G02B3/02 , G02B5/10
摘要：提供一种测量测试物体（12）的光学表面（14）的形状的方法。该方法包括以下步骤：提供产生测量波（18）的干涉测量装置（16），在不同测量位置处相对于彼此连贯地布置该干涉测量装置（16）和测试物体（12），从而由该测量波（18）照明该光学表面（14）的不同区域（20），在该不同测量位置，测量该测量装置（16）关于该测试物体（12）的位置坐标，通过在每个测量位置处使用测量装置（16）干涉地测量该测量波（18）在与该光学表面（14）的各个区域（20）相互作用之后的波前而获得表面区域测量，通过基于该干涉测量装置（16）在每个测量位置处所测量的位置坐标计算地组合子表面测量而确定该光学表面（14）的实际形状。

6. 发明公开

CN101983313A 测量物体表面形貌的设备和方法无效复审申请
公开(公告)号：CN101983313A
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN200980109883.7
申请日：2009-02-17
申请人：康宁股份有限公司
发明人： P·R·勒布朗克 , V·M·施奈德 , J·P·特赖斯
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24 , G01N21/88
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/0201 , G01B9/02057 , G01B9/0209 , G01B2290/70 , G01N21/95 , G01N2021/9513
摘要：一种用于测量物体表面形貌的装置包括光学配置，该光学配置能够：引导物体表面处的第一光束；提供与第一光束相干和相对于第一光束在空间上有相移的第二光束；以及从第二光束和来自物体表面的第一光束的反射光束中产生干涉光束。该装置还包括至少一个线扫描传感器，用于检测和测量干涉光束。

7. 发明公开

CN1784588A 使用扫描干涉测量形成复杂表面结构的轮廓以及对其表征失效
公开(公告)号：CN1784588A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200480012323.7
申请日：2004-03-08
申请人：齐戈股份有限公司
发明人：彼得·J·德格鲁特 , 罗伯特·斯托纳 , 泽维尔·C·德利加
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24 , G01B11/06
CPC分类号： G01B9/0201 , G01B9/02057 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B2290/70
摘要：一种方法，其包括：将可从用于测试对象的第一表面位置的扫描干涉测量信号导出的信息和与测试对象的多个模型相对应的信息相比较，其中，通过一系列用于测试对象的特性而将所述多个模型参数化。与多个模型相对应的信息可包括：与每个测试对象的模型相对应的、有关扫描干涉测量信号的变换(例如，傅立叶变换)的至少一个幅值分量的信息。在第二方面中，所述模型对应于固定表面高度，并且，通过不同于固定表面高度的一系列特性将它们参数化。在第三方面中，所述比较包括：考虑对干涉测量信号的系统贡献。

8. 发明公开

CN1656353A 干涉测量式测量装置无效
公开(公告)号：CN1656353A
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN03811950.1
申请日：2003-03-28
申请人：罗伯特-博希股份公司
发明人： D·马沙尔 , M·-H·迪瓦辛 , D·布雷德 , P·德拉巴雷克
IPC分类号： G01B9/00 , G01B11/00
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02002 , G01B9/0205 , G01B9/02057 , G01B9/02064 , G01B9/0209 , G01B2290/45
摘要：用于利用一个调制干涉仪(2)获得一个测量物体(8)表面的形状、粗糙度或距离的干涉测量式测量装置，由一个辐射源(1)将短相干的射线输送到所述调制干涉仪，并且该干涉仪具有一个用于将输送的射线分配成一个通过一个第一臂导引的第一分射线(2.1)和一个通过一个第二臂导引的第二分射线(2.1’)的第一射线分配器(2.3)，其中所述一个分射线相对于另一分射线通过一个调制机构(2.2，2.2’)在其光相位或光频率上偏移，并移动一个延迟距离(2.9’)，并且紧接着将所述分射线在调制干涉仪(2)的另一射线分配器(2.10)上与一个同调制干涉仪(2)在空间上分开的且与该干涉仪通过一个光导纤维系统(6)已耦联或可耦联的测量探头(3)联合，在该探头中所述联合的分射线在一个公共臂中在一个部分透射的部位(3.3)中分成一个测量射线和一个基准射线，并在其中使在表面上反射的测量射线(r1(t))和在一个基准面上反射的基准射线(r2(t))重叠，并且通过一个接收机构(4)和一个分析单元(5)将传导到它们的射线变换成电信号，并以一个相位差为基础分析所述信号。一种用于即使在狭窄的空心空间中也能够可靠测量的有利结构的特征在于，所述部分透射的部位(3.3)通过一个探头纤维(3.1)的一个相对于光学探头轴线(3.5)以一个出射角(α)倾斜的出射面(3.31)和一个衔接在物体端的纤维段(3.2)的一个同样相对于光学探头轴线(3.5)以一个入射角(β)倾斜的入射面(3.32)而构成，其中在出射面(3.31)与入射面(3.32)之间构成一个楔形缝隙。

9. 发明授权

CN104487799B 干涉距离测量装置和对应方法有权
公开(公告)号：CN104487799B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201380039375.2
申请日：2013-07-18
申请人：赫克斯冈技术中心
发明人：托马斯·延森
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02091 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02044 , G01B9/0205 , G01B9/02057 , G01B11/14
摘要：本发明涉及一种用于测量表面的干涉距离测量装置，使用：至少一个可调谐激光器，该可调谐激光器具有用于生成利用波长斜坡调制的测量辐射；光束路径，该光束路径具有光学发送系统，用于向表面发射测量辐射；以及光学采集系统，用于采集有该表面反向散射的测量辐射，其包括测量臂和基准臂；以及辐射检测器和估计单元，用于确定从距离测量装置的基准点至表面的距离。分别通过针对测量辐射的并行发射的至少一个分束器(13、29)来定义n≥2个通道，在预定的发射时间点将波长斜坡的一个不同的子区域分配至所述通道。

10. 发明授权

CN104520667B 干涉型距离测量装置以及相应的方法有权
公开(公告)号：CN104520667B
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201380039172.3
申请日：2013-07-18
申请人：赫克斯冈技术中心
发明人：托马斯·延森
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02091 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/0205 , G01B9/02057 , G01B11/007
摘要：本发明涉及一种用于测量表面的干涉型距离测量装置，所述干涉型距离测量装置具有：能够被调谐的至少一个激光源，所述激光源具有相干长度，用于产生被波长斜坡调制的测量辐射；光路，所述光路具有用于向表面发射测量辐射的光学传导系统以及用于捕捉由表面反向散射的测量辐射的光学捕捉系统，所述光学捕捉系统包括测量臂以及参考臂；以及辐射探测器和评估单元，用于确定从所述距离测量装置的参考点到所述表面的距离。由至少一个分光器限定用于并行发射测量辐射的n≥2条通道，为所述通道分别分配由相干长度限定的测量范围的一个不同子域。

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