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1. 发明公开

CN104238284A 一种基于光栅泰伯效应的检焦方法失效
公开(公告)号：CN104238284A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410500277.0
申请日：2014-09-25
申请人：中国科学院光电技术研究所
发明人：朱咸昌 , 胡松 , 赵立新
IPC分类号： G03F7/20 , G03F9/00
CPC分类号： G03F9/7026 , G01B9/02097 , G02B7/28
摘要：本发明涉及一种基于光栅泰伯效应的检焦方法，其作用是实时检测光刻机系统的硅片位置，完成硅片的高精度调平和调焦。检测系统利用硅片离焦引起的光栅泰伯效应的“自成像”位相变化，完成光刻机硅片的高精度检焦：硅片位于焦面位置时，光栅成像波前为平面波前；硅片离焦时，其成像波前为球面波前。该检测系统结构简单，具有较高的抗干扰能力和较好的工艺适应性。

2. 发明公开

CN1102288A 纳米度量计审中-实审
公开(公告)号：CN1102288A
公开(公告)日：1995-05-03
申请号：CN94190054.1
申请日：1994-01-10
申请人：大不列颠及北爱尔兰联合王国国防大臣
发明人： M·F·路易斯
IPC分类号： G01D5/48 , G01B9/02 , G01J9/04
CPC分类号： G01D5/48 , G01B9/02023 , G01B9/02097 , G01B2290/30 , G01J9/04
摘要：用于以纳米精度测量物体的位移的设备，它包括：用于初级电信号的rf源(50)；传感器(24)，用于产生中间信号；相移装置(56)，它与中间信号作用，以使物体的位移使相移装置(56)将中间信号的路径长度改变一个与该位移直接有关的量；相位传递装置(60)，使中间信号的相位被传递到次级信号；以及，相位检测器(62)，用于测量次级信号的相位在物体位移时相对于初级信号的改变。

3. 发明授权

CN105143813B 用于干扰式测量距离的装置有权
公开(公告)号：CN105143813B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201480021342.X
申请日：2014-03-11
申请人：约翰内斯·海德汉博士有限公司
发明人： R.耶尔格 , W.胡贝尔
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02 , G01B11/14 , G01D5/38 , G01D5/26
CPC分类号： G01B11/14 , G01B9/02018 , G01B9/02035 , G01B9/02058 , G01B9/02061 , G01B9/02097 , G01B11/026 , G01B2290/30
摘要：本发明涉及一种用于在两个物体之间干扰式测量距离的装置，两个物体相互间沿着至少一移动方向活动地设置。设有至少一光源以及至少一分裂元件，它将由光源发射的射束在分裂位置上分裂成至少两个分射束，它们以不同的角度继续传播。此外所述装置包括至少一偏转元件，它引起入射到其上的分射束偏转到汇合位置方向，在汇合位置分裂的分射束出现干扰的叠加，并且所述分射束在分裂位置与汇合位置之间的光程这样构成，使分射束在分裂位置与汇合位置之间经过的光学路程长度在两个物体之间的距离变化的情况下是一致的。此外设有至少一检测装置用于由干扰的分射束的叠加副中检测与距离有关的信号。

4. 发明公开

CN106716088A 干涉仪有权
公开(公告)号：CN106716088A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580043188.0
申请日：2015-08-19
申请人：马丁·贝尔茨
发明人：马丁·贝尔茨
IPC分类号： G01J3/45 , G01J9/02 , G01B9/02 , G01B11/24
CPC分类号： G01B9/02072 , G01B9/02097 , G01B11/2441 , G01J3/45 , G01J3/453 , G01J9/02
摘要：本发明涉及一种干涉仪，包括：第一干涉仪臂及第二干涉仪臂，其中，所述第一干涉仪臂及第二干涉仪臂被配置成：从待成像的原始图像的中心像点出发的第一中心光束穿过所述第一干涉仪臂，从所述待成像的原始图像的所述中心像点出发的第二中心光束穿过所述第二干涉仪臂，其中，所述第一中心光束与所述第二中心光束在穿过所述第一或第二干涉仪臂之后叠加并在所述第一中心光束与所述第二中心光束的叠加点处生成k垂直＝0‑干涉；从所述待成像的原始图像的像点出发的第一光束穿过所述第一干涉仪臂，以及从所述待成像的原始图像的所述像点出发的第二光束穿过所述第二干涉仪臂，其中，所述第一光束与所述第二光束在穿过所述第一或第二干涉仪臂之后重叠于所述第一中心光束与所述第二中心光束的所述叠加点处，以及其中，在所述叠加点处，所述第一光束垂直于所述第一中心光束的波矢分量与所述第二光束垂直于所述第二中心光束的波矢分量相反。本发明还涉及一种用于由使用根据本发明所述的干涉仪测量的图像重建原始图像的方法。本发明又涉及一种用于校准根据本发明所述的干涉仪的方法。

5. 发明公开

CN106595471A 一种离轴非球面的调整方法有权
公开(公告)号：CN106595471A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611192873.2
申请日：2016-12-21
申请人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人：刘钰 , 苗亮 , 张文龙 , 金春水
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02097
摘要：本发明公开了一种离轴非球面的调整方法。所述离轴非球面的调整方法包括步骤：S1，安装离轴非球面，并在离轴非球面上选择一圆形区域；S2，调整离轴非球面的位置，使圆形区域内的数据能够被检测；S3，平移离轴非球面的位置，并对平移后的位置进行检测，并记录检测结果的zernike系数；S4，建立调整量和zernike系数之间的矩阵方程；S5，解矩阵方程，得到江离轴非球面平移到理想位置所需的调整量；S6，通过所述计算得出的调整量调整离轴非球面。本发明提供的离轴非球面的调整方法具有快速，简单的优点。

6. 发明授权

CN104238284B 一种基于光栅泰伯效应的检焦方法失效
公开(公告)号：CN104238284B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410500277.0
申请日：2014-09-25
申请人：中国科学院光电技术研究所
发明人：朱咸昌 , 胡松 , 赵立新
IPC分类号： G03F7/20 , G03F9/00
CPC分类号： G03F9/7026 , G01B9/02097 , G02B7/28
摘要：本发明涉及一种基于光栅泰伯效应的检焦方法，其作用是实时检测光刻机系统的硅片位置，完成硅片的高精度调平和调焦。检测系统利用硅片离焦引起的光栅泰伯效应的“自成像”位相变化，完成光刻机硅片的高精度检焦：硅片位于焦面位置时，光栅成像波前为平面波前；硅片离焦时，其成像波前为球面波前。该检测系统结构简单，具有较高的抗干扰能力和较好的工艺适应性。

7. 发明公开

CN105143813A 用于干扰式测量距离的装置有权
公开(公告)号：CN105143813A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480021342.X
申请日：2014-03-11
申请人：约翰内斯·海德汉博士有限公司
发明人： R.耶尔格 , W.胡贝尔
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02 , G01B11/14 , G01D5/38 , G01D5/26
CPC分类号： G01B11/14 , G01B9/02018 , G01B9/02035 , G01B9/02058 , G01B9/02061 , G01B9/02097 , G01B11/026 , G01B2290/30
摘要：本发明涉及一种用于在两个物体之间干扰式测量距离的装置，两个物体相互间沿着至少一移动方向活动地设置。设有至少一光源以及至少一分裂元件，它将由光源发射的射束在分裂位置上分裂成至少两个分射束，它们以不同的角度继续传播。此外所述装置包括至少一偏转元件，它引起入射到其上的分射束偏转到汇合位置方向，在汇合位置分裂的分射束出现干扰的叠加，并且所述分射束在分裂位置与汇合位置之间的光程这样构成，使分射束在分裂位置与汇合位置之间经过的光学路程长度在两个物体之间的距离变化的情况下是一致的。此外设有至少一检测装置用于由干扰的分射束的叠加副中检测与距离有关的信号。

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