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1. 发明公开

CN117723784A 一种冷冻电镜制样装置及其制样方法审中-实审
公开(公告)号：CN117723784A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311654790.0
申请日：2023-12-05
申请人：浙江大学杭州国际科创中心
发明人：潘建章 , 王建伟 , 方群 , 王礼俊
IPC分类号： G01Q30/20
摘要：本发明公开了一种冷冻电镜制样装置及其制样方法，所涉及的领域为冷冻电镜领域。本发明的制样装置能够实现实时检测和控制载网表面样品厚度的冷冻电镜样品制备实验，本发明的制样方法基于离心的方式实现冷冻电镜载网表面液体样品的减薄；通过对离心过程中的载网表面样品进行反射光谱检测，实时计算出样品的液层厚度，从而准确控制最后制备得到的样品厚度，实现高的冷冻电镜制样成功率和重现性；以及由于本发明采用的样品厚度检测原理不受样品理化性质变化的影响，因此本装置的样品制备方法具有通用性，适用于不同种类的样品溶液，有利于推广应用。

2. 发明授权

CN111948426B 弯曲度获取方法、弯曲度测试设备、弯曲度调节装置有权
公开(公告)号：CN111948426B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202010921518.4
申请日：2020-09-04
申请人：中国科学院深圳先进技术研究院
发明人：李江宇 , 唐铭锴 , 刘正浩 , 欧云
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q30/20 , G01B21/20
摘要：本发明提供了一种弯曲度获取方法、弯曲度测试设备、弯曲度调节装置，弯曲度调节装置包括底板、载台、升降机构、第一压板及第二压板，载台、升降机构均与底板固定连接，第一压板、第二压板均与升降机构固定连接，载台位于第一压板与第二压板之间，柔性薄膜夹设于载台与第一压板、第二压板之间，升降机构带动第一压板、第二压板朝底板运动并下压柔性薄膜的两端，以调节柔性薄膜的弯曲度。本发明提供的弯曲度调节装置通过升降机构带动第一压板、第二压板朝底板运动并下压柔性薄膜的两端，通过调节柔性薄膜的两端的下压程度来调节柔性薄膜的弯曲度，再通过探测器来获得柔性薄膜在不同弯曲半径下的微观结构和性能，从而实现原位测试和弯曲

3. 发明公开

CN117607497A 一种同轴透射电子背散射衍射花样的两步匹配标定方法审中-实审
公开(公告)号：CN117607497A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311642245.X
申请日：2023-12-04
申请人：中国科学院上海硅酸盐研究所
发明人：王墉哲 , 曾毅 , 张积梅 , 彭帆 , 刘紫微 , 林初城 , 宋雪梅
IPC分类号： G01Q30/02 , G01Q30/20 , G01N23/20058 , G01N23/203
摘要：本发明提供一种同轴透射模式电子背散射衍射花样的两步匹配标定方法。包括如下步骤：将待检样品水平置于扫描电镜中，设置电子背散射衍射探测器的最佳工作距离、倾转角度；在待检样品底部采集电子背散射衍射花样信号；模拟待检样品的所有可能取向的理论衍射花样数据库；通过模糊和降噪等处理；通过亚像素相关算法，逐一比对采集的电子背散射衍射花样与每一幅理论模拟衍射花样的相关系数，获得相关系数最高的一级匹配结果n11；逐一比对与n11对应的二级空间旋转数据库中的每一幅衍射花样，最终标定结果n11‑2。本发明提供的标定方法显著降低重复匹配的计算次数，提高计算效率，取向标定精度高。

4. 发明授权

CN114428180B 一种二维纳米材料的STEM样品的制备方法有权
公开(公告)号：CN114428180B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202210049857.7
申请日：2022-01-17
申请人：中国科学院物理研究所 , 北京理工大学 , 中国科学院大学
发明人：朱知力 , 王业亮 , 时金安 , 刘中流 , 武旭 , 周武 , 高鸿钧
IPC分类号： G01Q30/20
摘要：结构被破坏的问题。本发明公开了一种二维纳米材料的STEM样品的制备方法，在真空环境中对制备好的二维纳米材料原位进行第一层保护层的蒸镀；在真空环境中对已经蒸镀第一层保护层的二维纳米材料原位进行第二层保护层的蒸镀；从真空环境中取出蒸镀二层保护层的二维纳米材料，通过电子束与离子束诱导沉积的方式沉积铂金薄膜，然后采用聚焦离子束进行取样，得到样品薄片，采用聚焦离子束对所述样品薄片进行减薄，至样品薄片在扫描电子显微镜(SEM)中衬度变白，得到二维纳米材料的STEM样品。本发明通过真空中原位蒸镀富勒烯(C60)薄膜和金属薄膜或非金属薄膜的(56)对比文件赵兴钰等.C60-有机聚合物薄膜的结构.《真空科学与技术》.1994,第14卷(第2期),第119-122页.马浚等.银加载爆轰实验中生成的固体粒子表征《.爆炸与冲击》.2013,第33卷(第06期),第639-646页.吴克等.富勒烯薄膜上二维金属渗流系统的电击穿现象《.物理学报》.1996,第45卷(第11期),第1905-1912页.Zhu, Zhi-Li 等.Charge density wavestates in phase-engineered monolayerVTe2《.Chinese Physics B》.2022,第31卷(第7期),第077101- 1-6页.Imran,M 等.Highly efficient andstable inverted perovskite solar cellswith two-dimensional ZnSe deposited usinga thermal evaporator for electroncollection《.Journal of MaterialsChemistry A》.2018,第6卷(第45期),第22713-22720页.伍春燕等.Sn-C60薄膜的紫外吸收光谱和X-射线衍射谱分析《.光谱学与光谱分析》.2002,第22卷(第3期),第495-497页.Moritz Riede 等.Optimization oforganic tandem solar cells based on smallmolecules《.2010 35th IEEE PhotovoltaicSpecialists Conference》.2010,第000513-000517页.傅继业.应用于纳米孔光学检测的石墨烯薄膜转移方法的研究《.中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技Ⅰ辑》.2020,(第5期),第B014-5页.朱知力.新型二维钒碲化合物材料的制备与物性研究《.中国博士学位论文全文数据库基础科学辑》.2023,(第2期),第A005-332页.

5. 发明授权

CN108982919B 用于平面视薄片制备的沿面气体辅助蚀刻有权
公开(公告)号：CN108982919B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN201810554731.9
申请日：2018-06-01
申请人： FEI , 公司
发明人： N.T.弗兰科 , K.曼尼 , C.鲁 , J.克里斯蒂安 , J.布莱克伍德
IPC分类号： G01Q30/20 , G01Q30/02
摘要：本发明涉及用于平面视薄片制备的沿面气体辅助蚀刻。一种用于从多层微电子器件制备位点特定的平面视薄片的方法。与蚀刻辅助气体一起朝向器件的最上层引导的聚焦离子束去除至少该最上层并从而暴露目标区域之上的或包括目标区域的下层，位点特定的平面视薄片要从所述目标区域制备，其中聚焦离子束在去除最上层以暴露下层时处于沿面取向。在优选实施例中，蚀刻辅助气体包括硝基乙酸甲酯。在替代实施例中，蚀刻辅助气体是乙酸甲酯、乙酸乙酯、硝基乙酸乙酯、乙酸丙酯、硝基乙酸丙酯、硝乙酸乙酯、甲氧基乙酸甲酯和甲氧基乙酰氯。

6. 发明公开

CN117147259A 一种单层小尺寸Ti3C2Tx样品及其制备方法审中-实审
公开(公告)号：CN117147259A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311144893.2
申请日：2023-09-06
申请人：重庆医科大学
发明人：毛翔 , 蒲耀扬 , 胡翕
IPC分类号： G01N1/28 , G01Q30/20
摘要：本发明公开一种单层小尺寸Ti3C2Tx样品及其制备方法，首先制备多层Ti3C2Tx样品；然后取适量多层Ti3C2Tx粉末样品分散于无气水中；在预设静水压下的条件下，进行聚焦超声处理；最后处理完成后，获得单层纳米级Ti3C2Tx样品分散液。本方法简化了制备流程，与传统方法相比，本方法的制备流程更为简化，操作更加方便，可大幅提高制备效率。得到的样品是高纯度产物：通过简单离心处理后，能够获得高纯度的单层小尺寸Ti3C2Tx样品。该制备方法节约能源，由于采用高静水压下的高强度聚焦超声处理，能够在较短时间内实现极高的转化率，所以节约了能源和时间成本。所得样品分散液适用于多种领域，如纳米材料、能源储存等，具有广阔的应用前景。

7. 发明公开

CN116973599A 面向序列切片电镜图像的超薄切片厚度估计方法及装置审中-实审
公开(公告)号：CN116973599A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310870148.X
申请日：2023-07-14
申请人：中国科学院自动化研究所
发明人：吕亚楠 , 贾浩泽 , 陈浩然 , 韩华 , 陈曦
IPC分类号： G01Q30/02 , G01Q30/20
摘要：本发明提供一种面向序列切片电镜图像的超薄切片厚度估计方法及装置，涉及计算机视觉技术领域，该方法包括：获取序列切片的电镜图像；针对任意两个相邻切片的电镜图像，对任意两个相邻切片的电镜图像进行全局对齐；将全局对齐后的任意两个相邻切片的电镜图像输入第一神经网络模型，得到任意两个相邻切片的电镜图像之间的形变场；提取形变场的形变数据特征；将形变数据特征输入第二神经网络模型，得到任意两个相邻切片所对应的厚度估计结果；其中，第一神经网络模型是基于样本相邻切片的电镜图像，以及用于对图像施加形变场的空间变换网络训练得到的；第二神经网络模型是基于带有厚度标签的样本形变数据特征训练得到的。

8. 发明公开

CN116296757A 一种用于扫描电镜长时间力热耦合的绝缘夹具装置审中-实审
公开(公告)号：CN116296757A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310370700.9
申请日：2023-04-10
申请人：浙江大学
发明人：王晋 , 王永峰 , 李隆玉 , 张跃飞 , 张泽
IPC分类号： G01N3/02 , G01N3/04 , G01N3/06 , G01N3/18 , G01Q30/02 , G01Q30/10 , G01Q30/20
摘要：本发明公开了一种用于扫描电镜长时间力热耦合的绝缘夹具装置，涉及材料拉伸性能研究技术领域，包括两个对称设置的夹具结构，凹槽夹具开设有凹槽，内嵌式高温夹具、左绝缘块、右绝缘块和电极盖板均位于凹槽中，内嵌式高温夹具位于左绝缘块和右绝缘块之间，电极盖板与内嵌式高温夹具连接，电极盖板用于与样品接触，电极盖板用于外接电源并引入电流并加热样品，上高温盖板与凹槽夹具连接，上高温盖板位于内嵌式高温夹具、左绝缘块、右绝缘块和电极盖板的上方，且上高温盖板分别与内嵌式高温夹具、左绝缘块、右绝缘块和电极盖板之间具有间隙。本发明能够对样品进行直接加热，减少热传导途径，避免样品上的电流通过夹具流向周边。

9. 发明公开

CN116243020A 原子力显微镜原位测试薄膜样品的制样装置、系统、方法审中-实审
公开(公告)号：CN116243020A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202211580757.3
申请日：2022-12-09
申请人：南方科技大学
发明人：黄博远 , 刘凯鑫 , 张凤元 , 李江宇
IPC分类号： G01Q30/20 , G01Q60/24
摘要：本发明公开了一种原子力显微镜原位测试薄膜样品的制样装置、系统、方法，制样装置包括：绝缘树脂体，第一电极，第二电极，第一导线以及第二导线。第一电极和第二电极夹持薄膜；第一宽端、第二宽端以及薄膜靠近第一宽端的一侧，均平齐于绝缘树脂体的表面；在垂直于薄膜的方向上，第一宽端和第二宽端对应设置，且第一窄端和第二窄端错开设置。当第一电极和第二电极分别连接在薄膜两侧时，第一宽端和第二宽端相对应设置，第一窄端和第二窄端是相互错开的，从而确保引出电极时不会相互干扰。通过薄膜与本申请的制样装置形成薄膜样品，以供原子力显微镜进行测试，确保了获取更多薄膜样品微观结构信息。

10. 发明授权

CN113804521B 一种用于超薄样品制备的样品台有权
公开(公告)号：CN113804521B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202010547761.4
申请日：2020-06-16
申请人：中国科学院上海硅酸盐研究所
发明人：张积梅 , 郑维 , 宋雪梅 , 林初城 , 刘紫微 , 王墉哲 , 姜彩芬 , 曾毅
IPC分类号： G01N1/28 , G01Q30/20
摘要：一种用于超薄样品制备的样品台，包括：具有一对滑槽的底座；竖直设置于底座的下表面，用于与马达连接的连接件；各自具有倾斜面，且以各自的倾斜面彼此相向的形式滑动自如地载置于一对滑槽内的一对滑块；以隔开间隔地位于一对滑槽的宽度方向两侧的形式设置于底座的一对托座；以及转动自如地支持于安装在一对托座上的一对倾转件之间，用于载置样品薄片的载网固定件；一对滑槽以相对于连接件的中心轴轴对称的形式设置；载网固定件在转动方向上具有能同时与倾斜面分别抵接的一对第一侧面。

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