会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 89. 发明专利
    • ポリマーナノマスクを使用した表面ナノ複製
    • 使用聚合物纳米掩模的表面纳米复制
    • JP2016507158A
    • 2016-03-07
    • JP2015555205
    • 2014-01-21
    • コーニング インコーポレイテッドコーニング インコーポレイテッド
    • アレハンドロ ケサダ,マークアレハンドロ ケサダ,マークワン,ジエングオヂャン,イン
    • H01L21/027C08J9/00
    • B05D5/00B82Y10/00B82Y40/00G03F7/0002Y10S977/888
    • ナノピラー基体表面を製造する方法は、基体表面に両親媒性ブロックコポリマーおよび親水性ホモポリマーを含有するポリマー溶液を塗布する工程を有してなる。このポリマー溶液中の両親媒性ブロックコポリマーおよび親水性ホモポリマーは基体表面で自己組織化して、自己組織化ポリマー層を形成し、この層は、基体表面に隣接した疎水性領域および自己組織化ポリマー層中に延在する親水性領域を有する。この親水性領域の少なくとも一部分を除去して、自己組織化ポリマー層の露出表面に複数の細孔を形成することができる。複数の細孔を通してエッチングして貫通孔を形成するためのマスクとして、保護層をその露出表面に堆積させることができる。ナノピラー形成材料を、その貫通孔を通じて基体表面上に堆積させることができる。次いで、自己組織化ポリマー層の残りの部分を除去して、ナノピラー基体表面を露出することができる。
    • 用于制造纳米柱衬底表面的方法将具有将含有两亲性嵌段共聚物和基材表面上的亲水性均聚物的聚合物溶液的工序。 两亲嵌段共聚物,并在基板表面通过自组装的聚合物溶液的亲水性均聚物,以形成自组装聚合物层,该层是邻近衬底表面疏水性区域与所述自组装聚合物 它具有延伸到该层的亲水性区域。 亲水性区域的至少一部分被去除,因此能够形成多个自组装聚合物层的暴露表面上的孔。 作为掩模,以形成通孔,通过具有多个孔的蚀刻,该保护层可以在暴露表面上沉积。 形成材料的纳米柱可以在衬底表面上通过通孔淀积。 然后,通过移除自组装聚合物层的剩余部分,有可能以暴露纳米柱的衬底表面。