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热词
    • 2. 发明专利
    • プロセスガス除害装置および除害方法
    • 工艺气体消除装置和解毒方法
    • JP2016526648A
    • 2016-09-05
    • JP2016518580
    • 2014-05-29
    • エドワーズ リミテッドエドワーズ リミテッド
    • アンドリュー ジェームス シーリーアンドリュー ジェームス シーリー
    • F23G7/06B01D53/68B01D53/76B01D53/78F23L7/00
    • F23G7/065F23L7/00F23L2900/07002
    • 【課題】排ガス流を処理する改善された技術を提供することにある。【解決手段】本発明のプロセスガス除害装置はバーナを有し、該バーナが燃焼チャンバを備え、該燃焼チャンバは、製造プロセスツールからの排ガス流を受入れて燃焼チャンバ内で準大気圧で処理すべく作動でき、燃焼チャンバは更に、燃料、酸化剤および希釈剤を受入れるべく作動でき、燃料、酸化剤および希釈剤は燃焼チャンバ内の燃焼を制御して排ガス流を処理し、処理された排出流を生成し、希釈剤は処理された排出流中で凝縮できる。不活性で凝縮可能な形態の希釈剤を供給することにより、燃焼チャンバ内の体積ゲインが低減され、このため排出流の体積が縮小されかつ第2ポンプに作用する体積負荷が軽減される。したがって、第2ポンプにより大気圧まで上昇させる必要がある燃焼チャンバからのガスの体積が低減されるため、かなりの動力を低減できる。【選択図】図1
    • A是一种用于处理废气流提供的改进技术。 本发明的工艺气体消除装置包括燃烧器,通过从制造工艺工具接收在燃烧室内废气流包括燃烧器的燃烧室,燃烧室,用亚大气压治疗的 这样可以操作以,燃烧室进一步燃料,可以操作来接收氧化剂和稀释剂,燃料废气,氧化剂和稀释剂以控制燃烧室中的燃烧和处理废气流时,将被处理 生成流程中,稀释剂可以排出流,其被处理以被冷凝。 通过提供所述稀释剂可冷凝惰性形式,在燃烧室体积减小增益时,作用在该排气流的体积的体积负荷降低和第二泵被减小。 因此,气体从燃烧室需要的体积通过第二泵有降低增加至大气压,从而减少了相当大的功率。 点域1
    • 3. 发明专利
    • 放射バーナ
    • 辐射燃烧器
    • JP2016522379A
    • 2016-07-28
    • JP2016509537
    • 2014-03-14
    • エドワーズ リミテッドエドワーズ リミテッド
    • アンドリュー ジェイムズ シーリーアンドリュー ジェイムズ シーリー
    • F23G7/06F23D14/16
    • F23D14/12F23C99/006F23D14/16F23D14/70F23D2212/10F23G7/06F23G7/065F23G2209/142
    • 【課題】排気ガス流を処理する改善された技術を提供することにある。【解決手段】製造プロセスツールから排気ガス流を処理する本発明の放射バーナは、多孔スリーブを備えた燃焼チャンバを有し、燃焼物質が多孔スリーブを通って多孔スリーブの燃焼面に近接して燃焼し、多孔スリーブを包囲し、燃焼物質を多孔スリーブに供給するプレナムを有し、該プレナムは、多孔スリーブの長さに沿って変化する化学量論で燃焼物質を供給する。燃焼物質の化学量論比を変化させるこのアプローチは、多孔スリーブの長さに沿ってこれらの燃焼物質により発生される熱を対応して変化させる。燃焼物質の化学量論を変化させて多孔スリーブの長さに沿って燃焼チャンバ内に発生した熱の変化を補償することにより、燃焼チャンバ内の多孔スリーブの長さに沿って、より均一な温度を達成できる。【選択図】図1
    • A是用于治疗的废气流提供的改进技术。 本发明的用于从制造工艺工具处理废气流的辐射燃烧器包括通过多孔套筒燃烧的燃烧表面上的多孔套筒与带孔套筒燃烧室,燃烧材料在靠近 并且,多孔套筒周围,具有用于在多孔套筒供给燃烧材料的集气室,所述气室供应的燃烧产物在化学计量比沿多孔套筒的长度而变化。 改变燃烧材料的化学计量比,对应于改变由沿多孔套筒的长度,这些燃烧产物所产生的热量的这种方法。 通过在燃烧室内的补偿通过由燃烧材料的多孔套筒改变在沿着化学计量长度的燃烧室中产生的热的变化,沿着多孔套筒的长度,更均匀的温度 它可以实现的。 点域1
    • 4. 发明专利
    • 真空ポンプ
    • 真空泵
    • JP2016518548A
    • 2016-06-23
    • JP2016509544
    • 2014-04-22
    • エドワーズ リミテッドエドワーズ リミテッド
    • アンドリュー ウェイアンドリュー ウェイエミリアーノ ルチェッタエミリアーノ ルチェッタ
    • F04D19/04F16C19/06F16C33/66F16N7/20F16N9/02F16N13/20
    • F04D29/063F04D19/042F04D29/058F04D29/059F16C19/06F16C33/6648F16C2360/45
    • 【課題】軸受(26)および該軸受を潤滑する潤滑剤供給システム(60)を備えた、ガス発生作用を低下させることができる真空ポンプを提供することにある。【解決手段】潤滑剤供給システムは、潤滑剤を受入れるリザーバマトリックス(62)を備えた潤滑剤リザーバと、リザーバマトリックスと接触していて、潤滑剤をリザーバマトリックスから軸受に搬送する潤滑剤搬送装置(48)とを有し、前記リザーバは、リザーバマトリックスを潤滑剤搬送装置に対して所定位置に位置決めするリザーバ包囲体(30)を備え、前記リザーバは、複数の接触領域(64)を有し、該接触領域においてリザーバマトリックスがリザーバ包囲体と接触していて、リザーバマトリックスを潤滑剤搬送装置に対して位置決めし、前記リザーバは更に、それぞれの接触領域の間の複数の空間領域(66)を有し、該空間領域ではリザーバマトリックスがリザーバ包囲体から間隔を隔てていて、リザーバマトリックス内の潤滑剤中のガス発生により引き起こされるガスおよび潤滑剤の泡を受入れることができる。【選択図】図4
    • A,与轴承(26)和用于润滑所述轴承(60)的润滑油供给系统,是提供一种能够降低气体发生的效果的真空泵。 润滑剂供应系统包括用于与所述储器矩阵接收润滑剂,在接触时,润滑剂从贮存器矩阵轴承输送润滑剂输送装置具有贮存器矩阵(62)的润滑剂贮存器( 48),并具有所述贮存器包括贮器封罩用于在预定位置上的储库基质定位针对润滑剂输送装置(30),所述贮存器具有多个接触区域(64), 储器矩阵在与所述贮器封罩接触的接触区域,针对润滑剂输送装置的储库基质定位,其中所述贮存器还具有多个各自的接触区域之间的空间区域(66) 并且,在该空间区域是储库基质不从贮器封罩,气体产生在润滑剂中的储库基质隔开 R 1可以接受的气泡和润滑剂造成的。 点域4
    • 5. 发明专利
    • 放射バーナ
    • 辐射燃烧器
    • JP2015526687A
    • 2015-09-10
    • JP2015523607
    • 2013-07-17
    • エドワーズ リミテッドエドワーズ リミテッド
    • アンドリュー ジェームズ シーリーアンドリュー ジェームズ シーリー
    • F23D14/14F23D14/50
    • F23D14/14F23D14/16F23D2900/14123F23G7/065
    • 【課題】製造プロセスツールからの流出ガス流を処理する改善された放射バーナおよび流出ガス流処理方法を提供することにある。【解決手段】本発明の放射バーナは製造プロセスツールからの流出ガス流を処理するものであり、多孔スリーブを備えた燃焼チャンバを有し、燃焼物質が、燃焼のために燃焼チャンバを通って多孔スリーブの燃焼面に近接して流れ、流出ガス流を燃焼チャンバ内に噴射するための少なくとも1つの流出ガスノズルと、前記燃焼面に近接した孔穿きライナとを更に有している。孔穿きライナを設けることにより、燃焼チャンバ内に入る燃焼物質を制御して流出ガス流を処理でき、かつ残留燃焼堆積物を受ける表面が形成される。したがって、ライナは、流出ガス流の処理効率を改善できるとともに、メインテナンス計画にしたがって、または放射バーナの性能が低下したときに、交換または浄化できる犠牲表面として機能できる。【選択図】図1
    • A是提供一种改进的辐射燃烧器和废气流处理方法,用于从制造工艺工具处理所述流出物气体流中。 本发明的燃烧器的辐射是为处理来自所述制程工具的废气流中,具有与带孔套筒,燃烧材料燃烧室,通过燃烧室用于燃烧的孔隙率 在接近流至燃烧表面的套管进一步包括用于注入在所述燃烧室中的废气流的至少一个出口喷嘴,和一个穿孔的衬垫接近所述燃烧表面。 通过提供一种穿孔的衬垫,以控制进入燃烧室以处理废气流和其接收形成沉积物的残留燃烧表面上的燃烧产物。 因此,内衬,它能够提高废气流的处理效率,根据维护计划,或当辐射燃烧器的性能降低,它用作可更换或清洗牺牲表面。 点域1