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1. 发明专利

JPWO2021049026A1 電離真空計およびカートリッジ有权
公开(公告)号：JPWO2021049026A1
公开(公告)日：2021-09-30
申请号：JP2019036191
申请日：2019-09-13
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：川崎洋補
IPC分类号： G01L21/34
摘要：電離真空計は、陽極と、陰極と、電磁波源とを備える。前記陰極は、前記陽極が通る貫通孔と、前記電磁波源を収容する収容部とを有する第1陰極板を含み、前記第1陰極板は、前記収容部と前記貫通孔との間に、前記電磁波源が発生する電磁波を通過させる通路を有する。

2. 发明专利

JPWO2021049023A1 電離真空計およびカートリッジ有权
公开(公告)号：JPWO2021049023A1
公开(公告)日：2021-09-30
申请号：JP2019036187
申请日：2019-09-13
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：川崎洋補
IPC分类号： G01L21/34
摘要：電離真空計は、棒形状を有する陽極と、前記陽極が通る貫通孔を有する陰極板を含む陰極とを備える。前記陽極の軸方向に沿った断面における前記貫通孔の形状は、2つの凸部によって挟まれた凹部を含む。

3. 发明专利

JPWO2020261339A1 X線発生管、X線発生装置およびX線撮像装置有权
公开(公告)号：JPWO2020261339A1
公开(公告)日：2021-09-13
申请号：JP2019024986
申请日：2019-06-24
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：辻野和哉
IPC分类号： H01J35/06 , H01J35/14
摘要： X線発生装置は、電子銃と、前記電子銃からの電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを有するアノードとを備える。前記電子銃は、電子放出部を有するカソードと、前記電子放出部から放出された電子を引き出す引出電極と、前記引出電極によって引き出された電子を集束させる集束電極とを含む。前記集束電極は、管形状を有する第1部分と、前記第1部分の内側に配置された第2部分とを含む。前記第1部分は、前記アノードに対面する先端部を有し、前記第2部分は、前記アノードに対向する対向面を有し、前記対向面は、前記電子放出部からの電子を通過させる電子通過孔を有する。前記先端部と前記アノードとの距離は、前記対向面と前記アノードとの距離より小さい。前記先端部の熱伝導率は、前記第2部分の熱伝導率より小さい。

4. 发明专利

JP2021103787A ロードロック装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021103787A
公开(公告)日：2021-07-15
申请号：JP2021050232
申请日：2021-03-24
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：三浦順 , 福田直哉 , 熊谷修二 , 高城信二 , 戸田哲郎 , 下川英利 , 根岸智 , 野村聡志 , 添田純也
IPC分类号： H01L21/677
摘要：【課題】ポンプからの基板の上方の空間へのパーティクルの舞い上がりを低減するために有利なロードロック装置を提供する。【解決手段】ロードロック装置100は、減圧処理装置10と接続されるトランスファー室20と接続する第1搬送口111及びローダー室30と接続する第2搬送口112を有するロードロック室110と、ロードロック室の中で基板Sを保持する基板ホルダ120と、基板ホルダを昇降させるようにロードロック室の下方に配置され、連結部材122を介して基板ホルダに連結された駆動機構130と、ロードロック室の下部から側方に延長された延長室140と、延長室の下方に配置され、延長室を介してロードロック室のガスを排出するポンプ150と、を備える。延長室は、基板ホルダの鉛直下方からずれた位置に開口142を有する底面を有し、開口にポンプが接続されている。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2021044545A ロードロック装置有权
公开(公告)号：JP2021044545A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：JP2020146982
申请日：2020-09-01
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：三浦順 , 福田直哉 , 高城信二 , 下川英利
IPC分类号： H01L21/31 , H01L21/3065 , H01L21/677
摘要：【課題】ロードロック装置において基板へのパーティクルの付着を防止するために有利な技術を提供する。【解決手段】ロードロック装置100は、ロードロック室110と、ロードロック室の中で基板Sを保持する基板保持構造120と、を備える。基板保持構造は、基板に対向する対向面OSを有し、基板と対向面との間の空間をガスを流すことができる。基板保持構造によって基板が保持された状態において、対向面の外縁よりも内側に位置する部分と基板との距離は、対向面の外縁と基板との距離より大きい。【選択図】図1

6. 发明专利

JPWO2020084664A1 X線発生装置及びX線撮影システム有权
公开(公告)号：JPWO2020084664A1
公开(公告)日：2021-02-15
申请号：JP2018039203
申请日：2018-10-22
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：辻野和哉 , 安藤洋一
IPC分类号： H01J35/30 , H01J35/14 , H01J35/00 , H05G1/00 , H05G1/52 , H01J35/08
摘要：開示のX線発生装置は、電子線を発生する電子源を含む陰極と、電子線の衝突によって発生したX線を電子線の入射方向に透過可能な透過型ターゲットを含む陽極と、電子線を透過型ターゲットに向けて集束させる集束電極と、を有するX線発生装置であって、透過型ターゲットは局所的に小さい厚さを有する第1領域を有し、透過型ターゲットへの電子線の入射位置を第1領域と、第1領域よりも大きい厚さを有する第2領域との間で切り替え可能に構成されている切り替え手段を有する。

7. 发明专利

JP6738976B2 基板処理装置および基板処理方法有权
公开(公告)号：JP6738976B2
公开(公告)日：2020-08-12
申请号：JP2019570715
申请日：2019-01-31
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：高波勇二 , 野呂田健人 , 岡本直之 , 加藤恭央 , 安松保志
IPC分类号： C23C14/34 , C23C14/54

8. 发明专利

JP2020074273A プラズマ処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020074273A
公开(公告)日：2020-05-14
申请号：JP2019177729
申请日：2019-09-27
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：田名部正治 , 関谷一成 , 井上忠 , 笹本浩 , 佐藤辰憲 , 土屋信昭 , 竹田敦
IPC分类号： C23C14/34 , H01L21/3065 , H05H1/46
摘要：【課題】長期間の使用においてプラズマ電位を安定させるために有利な技術を提供する。【解決手段】プラズマ処理装置は、第1不平衡端子201、第2不平衡端子202、第1平衡端子および第2平衡端子を有するバランと103、接地された真空容器110と、第1平衡端子に電気的に接続された第1電極と、第2平衡端子に電気的に接続された第2電極と、第1電極に印加される第1電圧と第2電極に印加される第2電圧との関係に影響を与える調整リアクタンスとを備える。【選択図】図17

9. 发明专利

JP2020024926A プラズマ処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020024926A
公开(公告)日：2020-02-13
申请号：JP2019177728
申请日：2019-09-27
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：田名部正治 , 関谷一成 , 井上忠 , 笹本浩 , 佐藤辰憲 , 土屋信昭 , 竹田敦
IPC分类号： C23C14/34 , H01L21/3065 , H05H1/46
摘要：【課題】長期間の使用においてプラズマ電位を安定させるために有利な技術を提供する。【解決手段】プラズマ処理装置1は、第1不平衡端子201、第2不平衡端子202、第1平衡端子211および第2平衡端子212を有するバラン103と、接地された真空容器110と、前記第1平衡端子に電気的に接続された第1電極と、前記第2平衡端子に電気的に接続された第2電極と、前記第1電極に印加される第1電圧と前記第2電極に印加される第2電圧との関係に影響を与える調整リアクタンスと、基板112を保持する基板保持部と、前記基板保持部を回転させる駆動機構と、を備える。【選択図】図17

10. 发明专利

JP6639757B1 X線発生装置およびX線撮影装置有权
公开(公告)号：JP6639757B1
公开(公告)日：2020-02-05
申请号：JP2019554001
申请日：2019-04-15
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：川瀬順也
IPC分类号： H01J35/08 , H01J35/16
摘要： X線発生装置は、第1方向に電子を放出する電子放出部を含む陰極、および、前記電子放出部から放射された電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを含む陽極を有するX線発生管と、導電線を介して前記X線発生管に電圧を供給する電圧供給部と、前記電圧供給部を収納する第1空間を形成する第1部分、前記第1方向と直交する第2方向における幅が前記第1空間よりも小さく前記X線発生管を収納する第2空間を形成する第2部分、および、前記第1空間と前記第2空間とが連通されるように前記第1部分および前記第2部分を相互に連結する連結部を有する収納容器と、前記第1空間と前記第2空間とが連通した内部空間に充填された絶縁性液体と、を備え、前記連結部は、前記内部空間に向けて尖った凸部を有し、前記第1方向において、前記陰極は、前記凸部と前記陽極との間に配置され、前記導電線の少なくとも一部分を取り囲むとともに、前記導電線と前記凸部との間の少なくとも直線経路を遮断するように絶縁部材が配置されている。

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