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1. 发明专利

JP2016146399A 波長可変型面発光レーザ审中-公开
标题翻译：波长表面发射激光
公开(公告)号：JP2016146399A
公开(公告)日：2016-08-12
申请号：JP2015022313
申请日：2015-02-06
申请人：サンテック株式会社
发明人：諫本圭史 , 山下清隆 , 西山伸彦
IPC分类号： H01S5/14 , H01S5/183
摘要：【課題】下部DBR層における内部応力の発生を抑制しつつ、発振するレーザ光を広い波長帯域にわたって変化させることができる波長可変型面発光レーザを提供すること。【解決手段】波長可変型面発光レーザは、固定基板2と、固定基板2の上面に順次成膜された下部DBR層3、下部コンタクト層4、活性層5、上部コンタクト層6と、固定基板2の上側に対向配置されると共に固定基板2に対して上下方向に変位することができるよう配置された上部DBR層と、を有する。下部DBR層3は、酸化物からなる複数の低屈折率層と、低屈折率層よりも屈折率の高い複数の高屈折率層とを交互に積層してなる。下部DBR層3には、上下方向の全体に形成されると共に上方に開口した開口穴33が、下部DBR層3の広がり方向の全域にわたって分散配置されている。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供能够在宽波长带上改变振荡激光的波长可调表面发射激光器，同时抑制下DBR层内的内应力产生。解决方案：波长可调表面发射激光器具有固定基板2，下DBR层3，下接触层4，有源层5，上接触层6依次沉积在固定基板2的上表面上，上DBR层与上侧的固定基板2，并且在固定基板2的垂直方向上可移位。下部DBR层3通过层叠多个由氧化物构成的低折射率层和多个折射率高的折射率层而形成指数高于低折射率层的折射率。在下DBR层3中，布置在垂直方向上并向上开口的开孔33，同时分散在下DBR区域3的整个区域上。选择的图示：图4

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