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1. 发明专利

JP2020040864A ガラス板の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020040864A
公开(公告)日：2020-03-19
申请号：JP2018171505
申请日：2018-09-13
申请人：日本電気硝子株式会社
发明人：奥隼人 , 中塚弘樹
IPC分类号： C03C23/00 , B08B7/04 , B08B1/04 , B08B3/04 , C03C15/00
摘要：【課題】処理ガスが給気される処理空間を通過させつつエッチング処理を施したガラス板について、その主面へのガラス粉の付着を可及的に防止すること。【解決手段】ガラス板2の搬送経路3上に配置された処理空間5をガラス板2に通過させつつ、処理空間5に給気した処理ガス6によりガラス板2にエッチング処理を施す処理工程P1と、処理工程P1を経たガラス板2を洗浄する洗浄工程P2とを備えたガラス板の製造方法において、洗浄工程P2では、処理工程P1の実行時にガラス板2の搬送方向の先頭部に位置していた端面2xを擦って洗浄するようにした。【選択図】図3

2. 发明专利

JP2020040757A ガラス板の製造装置、及びガラス板の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020040757A
公开(公告)日：2020-03-19
申请号：JP2018167886
申请日：2018-09-07
申请人：日本電気硝子株式会社
发明人：鑑継薫 , 中塚弘樹
IPC分类号： B65G49/06 , B65G45/22 , B65G45/04
摘要：【課題】ガラス板を搬送する際に生じた発塵物がガラス板の表面に付着するのを防止して、表面品位に優れたガラス板を提供する。【解決手段】本発明に係るガラス板の製造装置は、ガラス板Gを搬送する搬送装置14を備えたものであって、搬送装置14は、搬送用のシャフト32と、シャフト32を支持する軸受33と、軸受33が収容される収容室34と、収容室34に潤滑液35を供給する供給路36と、収容室34から潤滑液35を排出する排出路37とを備える。上記構成の搬送装置14は、排出路37を通じて収容室34から潤滑液35と共に収容室34内の気体38を排出可能に構成されている。【選択図】図2

3. 发明专利

JPWO2018092556A1 ガラス基板の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2018092556A1
公开(公告)日：2019-10-17
申请号：JP2017039032
申请日：2017-10-30
申请人：日本電気硝子株式会社
发明人：中塚弘樹 , 山本好晴 , 大野和宏
IPC分类号： H01L21/302 , C03C15/00
摘要：対向させて配置した本体部5aと天板部5bとの相互間に形成される処理空間13を通過するようにガラス基板2を平置き姿勢で搬送方向に搬送しつつ、本体部5aに備わった給気口14から処理空間13に給気した処理ガス4でガラス基板2の下面2aにエッチング処理を施すに際し、ガラス基板2のうちの処理空間13に進入した部位と天板部5bとの間に形成される隙間13aに、搬送方向に沿った第一パージガス6の流れが形成されるように、搬送方向の下流側に向けて第一パージガス6を噴射するガラス基板2の製造方法であって、ガラス基板2の最後部2eが処理空間13に進入する前に、第一パージガス6の噴射を停止するようにした。

4. 发明专利

JP2017052679A ガラス板の製造方法及びその製造装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017052679A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：JP2015179730
申请日：2015-09-11
申请人：日本電気硝子株式会社
发明人：高橋祐之 , 大野和宏 , 中塚弘樹 , 奥隼人
IPC分类号： C03C15/00
CPC分类号： C03C15/00
摘要：【課題】処理空間周辺でのガラス板の搬送態様を適切化することで、処理空間でガラス板の下面にエッチング処理を施す際に、ガラス板の下面全域と処理ガスとの反応を均一化して、ガラス板の下面の粗化に支障が生じないようにする。【解決手段】上部構成体10の下面10aと、給気口22及び排気口26を有する下部構成体11の上面11aとを対向させて配置し、対向する両面10a、11aの相互間に形成される処理空間13で、給気口22から吹き出されて排気口26に吸い込まれる処理ガス5によって、水平方向に搬送されるガラス板3の下面3aにエッチング処理を施すと共に、給気口22と排気口26とを、ガラス板搬送方向Aに離隔して位置させ、下部構成体11に組み付けた特定搬送手段9が、ガラス板3を下方から支持して該ガラス板3の搬送に供されるようにし、特定搬送手段9を、給気口22と排気口26との相互間領域を除外して配置する。【選択図】図2

5. 发明专利

JP2017031048A 板状ガラスの表面処理装置及び表面処理方法有权
标题翻译：表面处理装置和所述板状玻璃的表面处理方法
公开(公告)号：JP2017031048A
公开(公告)日：2017-02-09
申请号：JP2016167620
申请日：2016-08-30
申请人：日本電気硝子株式会社
发明人：橋本隆志 , 中塚弘樹 , 高橋祐之 , 大野和宏 , 伊澤誠一
IPC分类号： C03C15/00
摘要：【課題】板状ガラスの表裏一方の面への処理ガスによる表面処理を、表裏他方の面への処理ガスによる表面処理を実質的に防止しつつ連続的に実施する板状ガラスの表面処理装置の提供。【解決手段】板状ガラスPが通過可能な隙間12と、隙間12を形成する双方の隙間形成面13,14と、何れも一方の隙間形成面13の側に配設され、板状ガラスPの表裏一方の面Pbに表面処理を施すための処理ガスGaを隙間12に供給可能な処理ガス供給部17と、隙間12に供給された処理ガスGaを排気可能な処理ガス排気部18と、他方の隙間形成面14に供給口23aが開口し、不活性ガスGcを隙間12に向けて供給する不活性ガス供給部23とを具備する板状ガラスPの表面処理装置10。【選択図】図5
摘要翻译：在前面的板面处理由所述工艺气体和返回到玻璃的一个表面上时，片材的玻璃用于连续的表面处理装置进行的同时基本上防止表面处理用处理气体引入所述正面和背面的另一侧提供。和片材的玻璃P能够通过间隙12，并且两个所述间隙形成表面13，14，以形成间隙12，二者设置在形成面13的间隙，平板玻璃P一张的侧处理气体供给单元17，其可以被供给到间隙12用于施加表面处理以将前部和后部一个表面铅的工艺气体Ga和供给到间隙12的工艺气体镓能够排出处理气体排气装置18，供给口23a至另一间隙形成表面14被打开，其特征在于所述惰性气体供给部23用于朝向空间12供给的惰性气体的GC板状玻璃P的表面处理装置10。点域5

6. 发明专利

JP6641663B2 ガラス板の製造方法及びその製造装置有权
公开(公告)号：JP6641663B2
公开(公告)日：2020-02-05
申请号：JP2015179729
申请日：2015-09-11
申请人：日本電気硝子株式会社
发明人：高橋祐之 , 大野和宏 , 中塚弘樹 , 奥隼人
IPC分类号： C03C15/00

7. 发明专利

JPWO2017043644A1 ガラス基板の製造方法、及びガラス基板の製造装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017043644A1
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：JP2016076665
申请日：2016-09-09
申请人：日本電気硝子株式会社
发明人：高橋祐之 , 大野和宏 , 中塚弘樹 , 奥隼人
IPC分类号： C03C15/00
CPC分类号： B65G49/06 , C03C15/00 , H01L21/302
摘要：搬入口2aaからチャンバー2内へと搬入したガラス基板3を水平方向に搬送しつつ、チャンバー2内でのガラス基板3の搬送経路上に設けた処理領域4で処理ガス5によりエッチング処理を施した後、処理後のガラス基板3を搬出口2abからチャンバー2外へと搬出するガラス基板の製造方法について、ガラス基板3の搬送経路上における搬入口2aaと処理領域4との間、及び、処理領域4と搬出口2abとの間に、搬送中のガラス基板3を通過させるための開口12aが形成された防風部材12をそれぞれ設置した。

8. 发明专利

JP2018080082A ガラス基板の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018080082A
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：JP2016223260
申请日：2016-11-16
申请人：日本電気硝子株式会社
发明人：山本好晴 , 中塚弘樹 , 大野和宏
IPC分类号： C03C15/00
CPC分类号： C03C15/00 , H01L21/302
摘要：【課題】ガラス基板を平置き姿勢で搬送しつつ、処理ガスによりガラス基板の下面にエッチング処理を施すに際し、ガラス基板の品質の低下を防止すること。【解決手段】搬入口8aaからチャンバー8内に搬入したガラス基板2を平置き姿勢で搬送経路に沿って搬送しつつ、搬送経路上に配置した処理器5が給気する処理ガス4により下面2aにエッチング処理を施した後、処理後のガラス基板2を搬出口8abからチャンバー8外に搬出するガラス基板の製造方法であって、チャンバー8内における搬送経路よりも上方側に配置された吸引口12aから、チャンバー8外に排気を行うようにした。【選択図】図1

9. 发明专利

JP2018080079A ガラス基板の製造装置及び製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018080079A
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：JP2016223248
申请日：2016-11-16
申请人：日本電気硝子株式会社
发明人：山本好晴 , 中塚弘樹 , 大野和宏
IPC分类号： B65G49/06 , H01L21/302 , C03C15/00
CPC分类号： B65G49/06 , C03C15/00 , H01L21/302
摘要：【課題】ガラス基板となる板状ガラスの種類によらず、当該板状ガラスに対して良質な表面処理を施す。【解決手段】本発明に係るガラス基板Pの製造装置10は、ガラス基板Pを所定の方向X1に搬送する搬送装置11と、表面処理装置12とを備える。表面処理装置12は、筐体14と、筐体14のうち一方の主表面P1の側に開口している開口部17と、開口部17に対して取り外しが可能なように取り付けられ、一方の主表面P1に処理ガスGaを供給するための給気口31を有する一又は複数の給気ユニット18とを備える。ここで、給気ユニット18は、開口部17のうちガラス基板Pの搬送方向X1に沿った複数の位置に取り付け可能とされている。【選択図】図1

10. 发明专利

JP6270176B2 板状ガラスの表面処理装置及び表面処理方法有权
公开(公告)号：JP6270176B2
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：JP2016167620
申请日：2016-08-30
申请人：日本電気硝子株式会社
发明人：橋本隆志 , 中塚弘樹 , 高橋祐之 , 大野和宏 , 伊澤誠一
IPC分类号： G02F1/1333 , C03C15/00

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