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    • 7. 发明专利
    • 触媒金属層の製造方法及びグラフェン素材の製造方法
    • 催化金属层的制备和石墨烯材料的制造方法
    • JPWO2013129312A1
    • 2015-07-30
    • JP2014502206
    • 2013-02-25
    • 学校法人 名城大学学校法人 名城大学
    • 重弥 成塚重弥 成塚隆浩 丸山隆浩 丸山
    • B01J23/755B01J37/08C01B31/02
    • B01J23/755B01J35/002B01J37/08B82Y30/00B82Y40/00C01B32/186
    • まず、四角形状のc面サファイアからなる基板12を用意し、その基板12の上面の全面に触媒金属としてのニッケルを成膜して触媒金属膜14とする((a)参照)、次に、リソグラフィ法により触媒金属膜14を所定形状の触媒金属膜16にパターニングする((b)参照)。続いて、触媒金属膜16の温度を1000℃まで昇温し1000℃で20分間保持する。そして、触媒金属膜16の温度を5℃/minの速度で1000℃から800℃まで降温し、触媒金属膜16の温度を800℃で15時間保持する。これにより、グレインの大きな触媒金属層17を得る((c)参照)。その後、触媒金属層17の表面に炭素源を供給してグラフェンを成長させ、触媒金属層17を酸性溶液で溶かしてグラフェン素材10を取り出す((d)〜(g)参照)。
    • 首先,在基板12中形成正方形c-平面蓝宝石的,通过的上表面的整个表面上形成一个镍作为催化金属的催化金属膜14在衬底12((a)中看到的),那么, 通过光刻法在规定的形状的催化金属膜16图案化该催化金属膜14((b)中参照)。 接着,在催化金属膜16的温度下保持20分钟,加热1000℃至1000℃.. 然后,该催化金属膜16的温度从1000℃以5℃/分钟的速率下降至800℃,对催化剂金属膜16的在800℃的温度下保持15小时.. 这使颗粒的大的催化金属层17((C)参照)。 此后,通过提供一个碳源生长石墨烯,所述催化剂金属层17的表面由催化金属层17溶解用酸溶液((D)〜(G)是指)检索石墨烯材料10。