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1. 发明专利

KR20210033063A KR20210033063A - Scanning in angle-resolved reflectometry and algorithmically eliminating diffraction from optical metrology 审中-公开
$KR20210033063A - Scanning in angle-resolved reflectometry and algorithmically eliminating diffraction from optical metrology$
公开(公告)号：KR20210033063A
公开(公告)日：2021-03-25
申请号：KR1020217007857A
申请日：2013-06-25
申请人： 케이엘에이 코포레이션
发明人： 암논 마나쎈 , 앤디 힐 , 다니엘 칸델 , 일란 세라 , 오하드 바카르 , 바락 브링골츠
IPC分类号： G01N21/956 , G01B9/02 , G01N21/55 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/55 , G01B11/00 , G01B9/02 , G01N21/9501 , G01N21/956 , H01L22/12 , G01N2201/06113 , G01N2201/104
摘要： 간섭성 광원과; 수집 동공에서 광 분포의 실현을 산출하기 위해 상기 광원으로부터의 간섭성 광의 스폿을 이용하여 타겟 패턴을 스캐닝- 상기 스폿은 타겟 패턴의 일부를 커버하고 상기 스캐닝은 스캐닝 패턴에 따라 광학적으로 또는 기계적으로 수행되는 것임 -하도록 구성된 광학 시스템과; 동공 이미지를 결합함으로써 수집 동공 분포의 복합 이미지를 발생하도록 구성된 처리 유닛을 포함한 각도 분해형 반사율계 및 반사율 측정 방법이 제공된다. 개구 사이즈에 대한 측정 파라미터의 함수 종속성을 양적으로 산정하고 측정 조건과 관련한 측정 파라미터의 보정 항을 상기 개구 사이즈에 관한 함수 종속성의 식별된 회절 성분으로부터 도출함으로써 회절 오차를 감소시키는 계측 시스템 및 방법이 제공된다.

2. 发明专利

KR102231510B1 KR102231510B1 - Work machine shape measurement system, work machine shape display system, work machine control system and work machine 有权
公开(公告)号：KR102231510B1
公开(公告)日：2021-03-24
申请号：KR1020207004801A
申请日：2018-09-25
申请人： 히다찌 겐끼 가부시키가이샤
发明人： 나오키 하야카와 , 고헤이 히로마츠 , 다이토 사카이 , 시호 이즈미
IPC分类号： G01B11/24 , E02F9/26 , G01B11/00 , G06T7/60
CPC分类号： E02F9/26 , G01B11/00 , G01B11/002 , G01B11/24 , G06T7/60
摘要： 측정 컨트롤러(20)는, 촬영 장치(19)에 의해 작업기(1A)의 측면을 촬영한 화상과 촬영 장치의 내부 파라미터에 기초하여, 촬영 장치 좌표계(Co1)에 있어서 작업기의 측면을 나타내는 평면(S1)의 위치를 산출하고, 촬영 화상 상에서 작업기를 구성하는 임의의 화소의 촬영 화상에 있어서의 위치 정보와 평면(S1)의 위치에 기초하여 그 임의의 화소에 대응하는 작업기 상의 점의 촬영 장치 좌표계(Co1)에 있어서의 좌표값을 산출하고, 그 임의의 화소에 대응하는 작업기 상의 점의 촬영 장치 좌표계에 있어서의 좌표값을 작업기 좌표계(Co3)에 있어서의 좌표값으로 변환하여 유압 셔블(1)의 작업 기계 컨트롤러(50)에 출력한다.

3. 发明专利

KR102227972B1 KR102227972B1 - How to locate the edge of the substrate 有权
公开(公告)号：KR102227972B1
公开(公告)日：2021-03-15
申请号：KR1020197008563A
申请日：2017-08-28
申请人： 우시오덴키 가부시키가이샤
发明人： 유 나카지마 , 요시유키 오오야
IPC分类号： G03F7/20 , G01B11/00 , G03F9/00 , G06T1/00
CPC分类号： G03F7/70625 , G01B11/00 , G03F7/20 , G03F7/70775 , G03F9/7084 , G06T1/00
摘要： [과제] 직사각형 형상의 기판의 모서리 위치를 높은 정밀도로 특정할 수 있는 실용적인 기술을 제공한다.
[해결 수단] 카메라(4)의 촬영 에리어(41) 내에 모서리가 위치하도록 직사각형 형상의 기판(S)을 배치한 후에 촬영 에리어(41)를 카메라(4)로 촬영하고, 촬영 데이터를 2치화하여 검출되는 브로브(Bs)에 의해 촬영 에리어(41) 내에 기판(S)의 모서리가 있다고 판단된 경우, 각 X방향 스캔 라인(Lx)에 있어서 가장 외측의 어두움에서 밝음으로의 경계점(P)을 X방향 엣지점 후보로 함과 함께, 각 Y방향 스캔 라인(Ly)에 있어서 가장 외측의 어두움에서 밝음으로의 경계점(P)을 Y방향 엣지점 후보로 한다. X방향 엣지점 후보를 지나는 근사 직선과 Y방향 엣지점 후보를 지나는 근사 직선의 교점을 기판의 모서리(C)의 위치로서 특정한다.

4. 发明专利

JP6427797B2 画像処理によるハンガー検出装置审中-公开
公开(公告)号：JP6427797B2
公开(公告)日：2018-11-28
申请号：JP2015050139
申请日：2015-03-13
申请人：株式会社明電舎
发明人：庭川誠 , 渡部勇介 , 川畑匠朗
IPC分类号： G01B11/00 , B60M1/28
CPC分类号： B60M1/28 , G01B11/00

5. 发明专利

JP6425815B2 工具形状測定装置审中-公开
公开(公告)号：JP6425815B2
公开(公告)日：2018-11-21
申请号：JP2017525711
申请日：2015-06-30
申请人： BIG DAISHOWA株式会社
发明人：矢内正隆 , 上村孝一 , 大橋麗奈 , 隈崎俊介 , 船職彰人
IPC分类号： B23Q17/00 , B23Q17/24 , G01B11/24
CPC分类号： B23Q17/2457 , B23Q17/22 , B23Q17/24 , B23Q17/2485 , G01B11/00 , G01B11/002 , G01B11/24 , G01B11/2433 , G01B11/28

6. 发明专利

JP6418449B2 画像処理装置および画像処理方法、並びにプログラム审中-公开
公开(公告)号：JP6418449B2
公开(公告)日：2018-11-07
申请号：JP2014544425
申请日：2013-10-18
申请人：ソニー株式会社
发明人：永野秀敏 , 濱田健宏 , 服部博憲
IPC分类号： H04N5/272 , G06T5/50 , G06T7/00 , H04N5/232
CPC分类号： G01B11/00 , G06T3/00 , G06T7/20 , G06T7/73 , G06T7/74 , G06T2207/10016 , G06T2207/30204 , G06T2207/30208 , G06T2207/30244 , H04N5/222 , H04N5/2224 , H04N5/265 , H04N5/272 , H04N5/275

7. 发明专利

JP6395694B2 測定方法及び測定装置及びプログラム有权
公开(公告)号：JP6395694B2
公开(公告)日：2018-09-26
申请号：JP2015237380
申请日：2015-12-04
申请人：富士フイルム株式会社
发明人：胡軼 , 室岡孝
IPC分类号： G01F23/292 , A61M37/00 , G01B11/00
CPC分类号： G01F23/292 , A61M37/00 , A61M37/0015 , A61M2037/0023 , A61M2037/0053 , A61M2205/3306 , A61M2205/3382 , A61M2207/10 , G01B11/00 , G01B11/24 , G01F22/00 , G01F23/0061 , G01F23/2928

8. 发明专利

JP2018526689A 4カメラ組の平面アレイの特徴点のマッチング方法、及びそれに基づく測定方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018526689A
公开(公告)日：2018-09-13
申请号：JP2016566782
申请日：2016-07-04
申请人：ペキンチンギンマシンヴィジュアルテクノロジーカンパニーリミテッド
发明人：カオリアン , インシン
IPC分类号： G01B11/24 , H04N13/275 , G06T7/70
CPC分类号： G01B11/002 , G01B11/00 , G06K9/6212 , G06T7/73 , H04N13/106 , H04N13/189 , H04N13/243
摘要：【課題】マッチング方法及び測定方法の複雑度を低下させ、空間サイズの演算過程を簡略化し、システムの測定誤差を減少させる。【解決手段】4カメラ組の平面アレイの特徴点のマッチング方法、及び4カメラ組の平面アレイの特徴点のマッチング方法に基づく測定方法は、光学電子測定分野に属する。マッチング方法は、4つの像平面のうちの1つの像平面をベース像平面として、ベース像平面の1つの特徴点に対して、横方向で当該ベース像平面と隣り合う像平面において当該特徴点とマッチングするすべてのマッチング点を探すステップと、ベース像平面の特徴点に対して、縦方向で当該ベース像平面と隣り合う像平面において当該特徴点とマッチングするすべてのマッチング点を探すステップと、探し出した横縦2つの方向におけるすべてのマッチング点を再マッチングさせて、すべてのサブマッチング点組を探すステップと、対角位置像平面においてベース像平面の特徴点、及び探し出したすべてのサブマッチング点組に対応するマッチング点を探すステップと、4つの像平面において同一の被視点に対応する唯一性マッチング点組を確定するステップとを含む。各唯一性マッチング点組に対して、当該マッチング点組の像座標とカメラシステム自身のパラメータに基づいて、被視点の3次元空間座標を計算する。いずれかの光照射条件において、収集された画像が十分に鮮明であり、いずれかの4カメラ組の平面アレイの画像で結像可能であり、一定の画像特徴を有する被視体が存在すれば、まったく同じマッチング方法と測定方法で、被視体の3次元測定をすべて実現することができる。【選択図】図13

9. 发明专利

JP2018142020A 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018142020A
公开(公告)日：2018-09-13
申请号：JP2018099241
申请日：2018-05-24
申请人：株式会社ニコン
发明人：柴崎祐一
IPC分类号： H01L21/68 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70133 , G01B11/00 , G01B11/26 , G03F7/70058 , G03F7/70775 , H01J37/3045 , H01J37/3174 , H01J2237/202 , H01J2237/3175
摘要：【課題】長期に渡ってステージの位置を高精度で計測する。【解決手段】制御装置は、ステージWST1に設けられる複数のヘッドのうちの少なくとも3つのヘッド60 1 、60 1a 、60 1b を含む第1ヘッド群61 1 が、スケール部材のそれぞれ反射型格子RGが形成される4つの部分21 1 、21 2 、21 3 、21 4 のうち第1部分21 1 と対向しつつステージWST1が移動されるようにステージWST1の駆動系を制御し、第1ヘッド群61 1 から得られる位置情報に基づいて第1部分21 1 に対応するグリッドの変動を補正するための補正情報を取得する。【選択図】図2

10. 发明专利

JP2018129407A 半田印刷検査装置、半田印刷検査方法、及び、基板の製造方法有权
公开(公告)号：JP2018129407A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：JP2017021780
申请日：2017-02-09
申请人： CKD株式会社
发明人：奥田学 , 大山剛 , 坂井田憲彦
IPC分类号： G01B11/00 , H05K3/34 , H05K13/08 , H05K13/04
CPC分类号： G01B11/00 , H05K3/34 , H05K13/04 , H05K13/08
摘要：【課題】接着剤が塗布される基板において、半田の印刷状態を適切に判定することができる半田印刷検査装置を提供する。【解決手段】基板には、半田及び熱硬化性の接着剤が設けられる。半田印刷検査装置は、画像データに基づいて、電子部品が実装される2以上の半田を含んでなる半田群の位置情報である実半田位置情報Pjhを生成する画像処理手段45と、半田の基準検査位置及び/又は基準検査範囲を示す理想半田検査基準情報Krhを生成する理想半田検査基準情報生成手段46とを備える。半田の溶融温度に対する接着剤の硬化温度の高低により、検査の基準を、理想半田検査基準情報Krh、又は、理想半田検査基準情報Krhを理想半田位置情報Prhに対する実半田位置情報Pjhの位置ずれ量及び位置ずれ方向に基づく情報である実装位置調整情報Cjiの分だけずらした実検査基準情報Kjhに切換える。【選択図】図5

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