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    • 7. 发明专利
    • レチクルケース
    • JP2020501348A
    • 2020-01-16
    • JP2019527219
    • 2017-11-15
    • H01L21/673B65D85/38G03F1/66
    • レチクルケースにおいて、底板(1)と、底板(1)の上方に設けられる中枠(2)と、中枠(2)の上方に設けられる上部蓋(3)とを含み、底板(1)、中枠(2)及び上部蓋(3)で囲んで開口を有する収納キャビティを形成し、開口部にはドアパネル(4)が設けられ、底板(1)には複数のレチクルホルダーが設けられ、レチクルホルダーと前記中枠(2)との間に間隙が設けられ、中枠(2)の縦断面はH形構造であり、H形構造の桟(21)及び内側に位置する第一垂直辺(22)の下面と底板(1)との間に間隙が設けられる。レチクルホルダーと中枠(2)との間に間隙が設けられることにより、ケースが真空吸着型フォークと物理的挟持型フォークによるピックアップに同時に適応されるようにすることができる。同時に、中枠(2)の縦断面はH形構造であり、H形構造の桟(21)及び第一垂直辺(22)の下面と底板(1)との間に間隙が設けられることにより、ケースがレチクル保護装置無しフォークとレチクル保護装置付きフォークによるピックアップに同時に適応されるようにすることができて、兼用性を大幅に向上した。