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    • 1. 发明专利
    • 気化器
    • JP2021089112A
    • 2021-06-10
    • JP2019220265
    • 2019-12-05
    • 株式会社SCREEN SPE テック
    • 呉 希宣
    • F22B3/02H01L21/304F22B1/18
    • 【課題】より高い濃度で溶剤の蒸気を生成することができる気化器を提供する。 【解決手段】気化器1は、溶剤を気化させる気化器であって、タンク2とタンクヒータ3と溶剤ノズル4とガスノズル5と第1ガスヒータ6と第1ガス供給配管51と蒸気供給配管8とを備える。タンクは溶剤を貯留する。タンクヒータはタンクを加熱する。溶剤ノズルは、タンク2の上部空間に設置されており、溶剤をミスト状に吐出する。ガスノズル5は、タンク2の上部空間に設置されており、高温ガスを吐出して、溶剤ノズル4からのミスト状の溶剤を高温ガスにより気化させる。第1ガスヒータ6はガスを加熱する。第1ガス供給配管51は溶剤ノズル4に接続されており、第1ガスヒータ6によって加熱されたガスを高温ガスとしてガスノズル5に供給する。蒸気供給配管8はタンク2の上部空間において開口し、溶剤の蒸気を乾燥ユニットに供給する。 【選択図】図3