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1. 发明专利

JPWO2019208568A1 光照射式加熱装置及びフィラメントランプ有权
公开(公告)号：JPWO2019208568A1
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：JP2019017240
申请日：2019-04-23
申请人：ウシオ電機株式会社
发明人：西川正晃 , 河村忠和
IPC分类号： H01K1/18 , H01K1/24 , H01K7/00 , H05B3/76
摘要：複数のフィラメントランプがワークに対して並列配置された光照射式加熱装置において、ワークをより均一に加熱することが可能な光照射式加熱装置を提供するものである。前記各フィラメントランプにおける、前記発光部の単位長さあたりの電力密度、前記発光部の色温度および昇温速度が略同一に揃うよう、前記発光部の長さが相対的に異なる各フィラメントランプに設けられる各発光部は、それぞれ、当該発光部を構成するフィラメントの素線本数、又は、フィラメントの素線径、又は、フィラメントを構成するフィラメント素線の総断面積、又は、フィラメントをコイル状に巻回する場合のコイル内径、又は、フィラメントをコイル状に巻回する場合のコイルピッチのうち、何れか一つ又は複数の設計要素を異ならせたことを特徴とする。

2. 发明专利

JP2020047552A ヒータ审中-公开
公开(公告)号：JP2020047552A
公开(公告)日：2020-03-26
申请号：JP2018177337
申请日：2018-09-21
申请人：東芝ライテック株式会社
发明人：藤田義貴 , 峯山祐実
IPC分类号： H01K1/32 , H01K7/00 , H01K1/14 , H05B3/44
摘要：【課題】発熱体の長さ方向の全体にわたり要求に応じた照射特性を得る。【解決手段】ヒータ1は、発光管2と、発熱体30と、反射膜100とを具備する。発光管2は、円筒状であり、赤外光を透過する。発熱体30は、発光管2の内部に配置される。発熱体30は、螺旋状に密巻きされた導体が発光管2の長さ方向に延在する。反射膜100は、発光管2の外面に設けられ、少なくとも発光管2の長さ方向の一端寄りに配置されて赤外光を発光管2の内部へ反射する。【選択図】図1

3. 发明专利

JP6441707B2 赤外光源有权
公开(公告)号：JP6441707B2
公开(公告)日：2018-12-19
申请号：JP2015033720
申请日：2015-02-24
申请人：矢崎総業株式会社 , 学校法人トヨタ学園
发明人：石原裕己 , 佐々木実
IPC分类号： G01N21/01 , G01N21/61 , H01K7/00

4. 发明专利

JP6382291B2 簡易ランプ設計审中-公开
公开(公告)号：JP6382291B2
公开(公告)日：2018-08-29
申请号：JP2016500596
申请日：2014-03-04
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人：ラニッシュ, ジョゼフエム.
IPC分类号： H01K7/00 , H01K1/46 , H05B3/02 , H05B3/06 , H05B3/44 , H01K1/66
CPC分类号： H01K1/16 , H01K1/40 , H01K1/66 , H01L21/67115 , H05B3/0038 , H05B3/0047

5. 发明专利

JP2016157558A 赤外光源审中-公开
标题翻译：红外光源
公开(公告)号：JP2016157558A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：JP2015033720
申请日：2015-02-24
申请人：矢崎総業株式会社 , 学校法人トヨタ学園
发明人：石原裕己 , 佐々木実
IPC分类号： H01K7/00
摘要：【課題】発熱体の熱損失を抑えて特定波長の赤外線をより高効率で出射することができる赤外光源を提供する。【解決手段】赤外光源1は、薄膜5と、薄膜5上に形成され電流が流されることで発熱するヒータ部6と、薄膜5を挟んでヒータ部6の反対側に設けられヒータ部6の発熱によって昇温される高温部7aを有した基板7と、ヒータ部6の発熱によって昇温された高温部7aからの赤外線を伝搬させる反射型格子2と、を備え、基板7と薄膜5とに連続して設けられた開口8,10から特定波長の赤外線を出射するものであって、基板7は、高温部7aの周囲全域に空隙7bが設けられ、高温部7aは、高温部7aを除く基板7の他の部位7cと離間している。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供能够抑制加热体的热损失并更有效地发射具有特定波长的红外光的红外光源。解决方案：红外光源1包括薄膜5，加热器部分6，其是形成在薄膜5上并通过其流动而产生热量的基板7;具有高温部分7a的基板7，该高温部分7a相对于薄膜5设置在与加热器部分6相对的一侧，并且热量升高加热器部分6的产生，以及用于通过加热器部分6的发热从高温部分7a传递红外线的反射型光栅2，其由加热器部分6的发热而增加。具有特定波长的红外光从开口8，其设置为与基板7和薄膜5连续。在基板7中，在高温部分7a周围的整个区域上设置空腔7b，并且h 高温部分7a与除了高温部分7a之外的基板7的另一部位7c间隔开。图1

6. 发明专利

JP2016517614A 簡易ランプ設計审中-公开
标题翻译：简单的灯设计
公开(公告)号：JP2016517614A
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：JP2016500596
申请日：2014-03-04
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated , アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated
发明人：ジョゼフエム．ラニッシュ， , ジョゼフエム．ラニッシュ，
IPC分类号： H01K1/66 , H01K1/46 , H01K7/00 , H05B3/02 , H05B3/06 , H05B3/44
CPC分类号： H01K1/16 , H01K1/40 , H01K1/66 , H01L21/67115 , H05B3/0038 , H05B3/0047
摘要：本発明の実施形態は一般に、急速熱処理(RTP)チャンバその他のランプ加熱式熱処理チャンバ内の熱放射源として用いられる高電圧タングステンハロゲンランプの簡易化技術に関する。実施形態に係るランプ設計は、外部ヒューズを設けて、従来技術のランプの部品数を減らし、コストを削減する。さらに、本書に記載のランプ実施形態は、簡易ヒューズ設計を堅持したうえで、十分な剛性を有し、加熱アセンブリベースにランプを挿着する際の圧縮力に対処することができる。【選択図】図3A
摘要翻译：本发明的实施例一般涉及快速热处理（RTP）的高压钨卤素灯用作腔室其它灯加热型的热处理腔室的热源简化技术。灯根据本实施例设计的设有外部熔断器，减少了现有技术的灯的部件的数量，降低成本。此外，本文所描述的灯的实施例是，棒简单保险丝设计后，具有足够的刚性，可以将灯加热组件碱时，以应付压缩力。点域3A

7. 发明专利

JP2016065786A 赤外線放射素子、及びその製造方法、並びにガス分析装置审中-公开
标题翻译：红外辐射元件，其制造方法和气体分析仪
公开(公告)号：JP2016065786A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014194362
申请日：2014-09-24
申请人：デクセリアルズ株式会社
发明人：花島直樹 , 山田隆俊 , 佐々木浩司 , 高田昭夫
IPC分类号： G01N21/61 , H01K1/08 , H01K7/00 , G01N21/01
摘要：【課題】放射スペクトルを十分に狭帯域化し、省電力化に大きく貢献できる赤外線放射素子などの提供。【解決手段】発熱体と、前記発熱体側と反対側の面に周期的な微細構造を有する放射体と、前記放射体側と反対側の面が平坦な平坦化層と、前記平坦化層上に形成されたバンドパスフィルタとをこの順で有し、前記発熱体の発する熱が熱伝導により前記バンドパスフィルタに伝熱する赤外線放射素子である。【選択図】図3A
摘要翻译：要解决的问题：提供例如可以充分缩小辐射光谱带的红外辐射元件，并且显着地有助于省电。解决方案：一种红外辐射元件包括：发热体; 在与发热体侧相反的面上具有周期性微结构的散热器; 具有与散热器侧相对的平坦面的平坦化层; 和形成在平坦化层上的带通滤波器; 按此顺序热发生器产生的热量通过热传导到带通滤波器。选择图：图3A

8. 发明专利

JP2015056345A ヒータランプおよび加熱モジュール审中-公开
标题翻译：加热灯和加热模块
公开(公告)号：JP2015056345A
公开(公告)日：2015-03-23
申请号：JP2013190488
申请日：2013-09-13
申请人：東芝ライテック株式会社 , Toshiba Lighting & Technology Corp
发明人： FUJITA YOSHITAKA , TAKATSUKA MASAAKI , OHASHI TAKESHI
IPC分类号： H05B3/44 , H01K1/18 , H01K1/50 , H01K7/00
CPC分类号： H01K1/50 , H01K1/28 , H05B3/44 , H05B2203/032
摘要：【課題】長寿命のヒータランプおよびヒータランプを用いた加熱モジュールを提供する。【解決手段】発光管10と、フィラメント20と、封入ガスと、を含むヒータランプ110が提供される。前記発光管10は、屈曲部14、15を含み、光透過性である。前記フィラメント20は、前記発光管10の内部の空間に設けられる。前記封入ガスは、前記空間に充填され、アルゴン、クリプトン及びキセノンの少なくともいずれかを含む希ガスと、臭素と、窒素と、を含む。前記フィラメントに供給される単位長さ当たりのランプ投入電力は、70W/cm以上である。前記希ガスに対する窒素ガス体積濃度Cvは、1vol%以上30vol%以下である。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供使用加热灯的长寿命加热灯和加热模块。解决方案：提供一种加热灯110，其包括发光管10; 灯丝20; 和密封气体。发光管10是透光的并且具有弯曲部分14和15.灯丝20设置在发光管10内的空间中。密封气体包含含有氩，氪和氙，溴和氮气充满空间。每单位长度提供给灯丝的功率为70W / cm以上。相对于稀有气体的氮气体积浓度Cv为1-30体积％。

9. 发明专利

JP5500511B2 Heating filament lamps 有权
公开(公告)号：JP5500511B2
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：JP2012089813
申请日：2012-04-11
申请人：ウシオ電機株式会社
发明人：由紀夫上嶋 , 正晃西川
IPC分类号： H01K7/00 , H01L21/205 , H01L21/26 , H01L21/31
CPC分类号： H01K1/14 , H01L21/67115 , H05B3/0047

10. 发明专利

JP2014072130A Heating filament lamp 有权
标题翻译：加热灯泡
公开(公告)号：JP2014072130A
公开(公告)日：2014-04-21
申请号：JP2012219303
申请日：2012-10-01
申请人： Ushio Inc , ウシオ電機株式会社
发明人： UESHIMA YUKIO
IPC分类号： H01K7/00 , H01K1/24 , H01K1/28 , H05B3/00 , H05B3/44
CPC分类号： H05B3/0033 , H01L21/67115
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure capable of heating with temperature uniformity in a radius direction of a workpiece, in a heating filament lamp for performing relatively rotational scanning of the disk-shaped workpiece to heat the workpiece.SOLUTION: A filament lamp is composed of: an arc-like light-emitting part along a circumferential direction of rotational scanning; and an auxiliary light-emitting part which extends so as to intersect with a circumferential direction in an inner region of a circumference along the arc-like light-emitting part. A region between the arc-like light-emitting parts of neighboring lamps in the workpiece passes directly beneath an auxiliary light-emitting part.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够在工件的半径方向上加热温度均匀性的结构，在用于对盘状工件进行相对旋转扫描以加热工件的加热丝灯中。解决方案：灯丝灯由沿圆周方向旋转扫描的弧形发光部分组成; 以及辅助发光部，沿着圆弧状发光部在圆周的内侧区域中与周向相交的方向延伸。工件中相邻灯的弧形发光部分之间的区域直接通过辅助发光部分的下方。

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