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    • 4. 发明授权
    • 전이금속박막형상 제어에 의한 탄소나노튜브의 수직 성장방법
    • 通过改变过渡金属薄膜的形态,垂直排列碳纳米管的生长方法
    • KR100513713B1
    • 2005-09-07
    • KR1020000025333
    • 2000-05-12
    • 삼성에스디아이 주식회사
    • 이영희이병수최영철김종민최원봉이내성
    • H01L21/20B82Y40/00
    • 본 발명은 전이금속박막의 표면형상을 제어함에 의해 수직으로 성장되는 탄소나노튜브의 직경, 밀도, 길이를 마음대로 조절할 수 있는 전이금속박막의 표면형상을 제어에 의한 탄소나노튜브 성장 방법을 기재한다. 본 발명에 따른 전이금속박막형상 제어에 의한 탄소나노튜브의 수직 성장 방법은, (가) 형성되는 결정의 형상과 크기를 원하는 모양과 크기로 조절하면서 상기 기판 상에 전이금속박막을 증착하는 단계; 및 (나) 상기 증착된 전이금속박막 상에 탄소나노튜브를 성장시키는 단계;를 포함한다. 먼저, (가) 단계의 기판 준비 방법은 일반적으로 sputter를 이용하는 경우 sputtering power 밀도를 조절하거나 증착온도 또는 열처리 온도를 변화시켜 Ni, Co, Fe 혹은 그들 혼합물의 grain 크기 및 밀도를 조절한다. 다음에, (나) 단계의 탄소나노튜브의 합성 증착은 실리콘기판이나 유리기판 위에 증착된 전이금속박막을 반응로 안으로 옮겨 플라즈마화학기상증착법이나 열화학증착법으로 메탄가스, 아세틸렌가스, 에틸렌가스, 프로판가스등의 탄화수소가스를 반응로 내에 흘려줌으로써, 상기 촉매금속막 위에 탄소나노튜브를 성장시킨다.
    • 5. 发明授权
    • 높은 비표면적과 전도성을 갖는 탄소 재료
    • 높은비표표적적과전도탄탄。。。。。。
    • KR100874459B1
    • 2008-12-17
    • KR1020070131584
    • 2007-12-14
    • 삼성에스디아이 주식회사
    • 심규윤김성수이영희이영석
    • C01B31/02B01J21/18
    • Y02E60/13
    • A carbonaceous material and a method of preparing the same are provided to be widely used in various fields including electric double layer capacitors, catalytic supports for fuel cells, electrode conducting materials for lithium secondary batteries, and adsorbents since the carbonaceous material has very high specific surface area and conductivity. As a carbonaceous material having pores that are formed on a surface of the carbonaceous material and in an inner part of the carbonaceous material, and channels to which the pores are connected, the carbonaceous material is characterized in that an X-ray diffraction intensity value of the face (002) at 2theta of 26 degrees is from 3.3 to 3.6 Å in the X-ray diffraction pattern using CuK alpha radiation of the carbonaceous material. The carbonaceous material is prepared by a process of mixing a carbon precursor, a pore-forming material and a solvent, spinning the mixture to prepare a fiber, treating the fiber with an acid or base and removing the pore-forming material from the fiber to prepare a porous fiber, and heat-treating the porous fiber.
    • 碳质材料及其制备方法被广泛用于各种领域,包括双电层电容器,用于燃料电池的催化剂载体,用于锂二次电池的电极导电材料和吸附剂,因为碳质材料具有非常高的比表面积 面积和导电率。 作为在碳质材料的表面和碳质材料的内部形成有孔的碳质材料和与该孔连通的流路,碳质材料的特征在于,X射线衍射强度值 在26度2the的面(002)是从3.3到3.6Å 在使用含碳材料的CuKα辐射的X射线衍射图中。 碳质材料是通过混合碳前体,成孔材料和溶剂,将混合物纺丝以制备纤维,用酸或碱处理纤维并将成孔材料从纤维中去除到 制备多孔纤维,并对多孔纤维进行热处理。
    • 7. 发明授权
    • 저압-DC-열화학증착법을 이용한 탄소나노튜브 수직배향증착 방법
    • 碳纳米管垂直沉积低压直流 - 热化学气相沉积法
    • KR100360470B1
    • 2002-11-09
    • KR1020000013039
    • 2000-03-15
    • 삼성에스디아이 주식회사이영희
    • 이영희김종민이내성최원봉
    • H01L21/205B82Y40/00
    • 본 발명은 저온에서 유리나 실리콘(Si)으로 이루어진 대면적 기판위에 저온-DC-열화학 증착 방법을 통해 순수 탄소나노튜브를 수직으로 배향하는 방법을 기재한다. 본 발명에 의한 배향 방법에서는 탄화수소기체의 촉매 분해를 2단계로 수행하는 것이 특징이며, 보다 세부적으로는 아세틸렌이나 에틸렌, 메탄, 프로판 등의 탄화수소 기체를 이용한 기존의 열화학 증착법을 사용하되, 탄화수소기체를 니켈(Ni)이나, 철(Fe), 코발트(Co), 이트륨(Y), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 금(Au) 또는 그들의 합금으로 이루어진 그물 형태의 촉매로 통과시켜 저온(400-500℃) 에서 일차적으로 분해시키고, 상기 일차 분해된 탄화수소 기체를 Ni이나, Fe, Co, Y, Pd, Pt, Au 또는 그들의 합금으로 이루어진 기판을 직접 사용하거나 또는 이들 물질을 소정 기판상에 스퍼터링법(sputter) 또는 전자빔 증착법(e-beam evaporator)을 사용하여 박막으로 증착시켜 이루어지는 전극용 기판과, 상기 전극용 기판과 소정 거리 이격되며 상호간에 직류(DC) 전압이 인가된 탄소나 노튜브 성장용 기판 사이를 통과시켜 유리 용융점 이하의 온도에서 탄소나노튜브를 수직 성장시킨다.