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1. 发明公开

KR1020150034741A 근접장 계측 审中-实审
标题翻译：近场计量学
公开(公告)号：KR1020150034741A
公开(公告)日：2015-04-03
申请号：KR1020157002123
申请日：2013-06-25
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 사피엔스노암 , 셀릭손조엘 , 레빈스키블라디미르 , 칸델다니엘 , 펠러요엘 , 브링골츠바락 , 마나쎈암논 , 베니스티엘리아브
IPC分类号： G02B1/00 , G01R31/26
CPC分类号： G01N21/4788 , G01N2201/06113 , G02B27/56 , G02B27/58 , G02B1/00 , G01R31/2601
摘要： 시스템의대물렌즈와타겟사이에배치된광학요소를포함한계측시스템및 방법이여기에서제공된다. 광학요소는타겟에의해반사된복사선의에바네센트모드를증대시키도록구성된다. 각종의구성이개시되고, 광학요소는고체잠입렌즈, 모아레요소와고체잠입광학기기의조합, 상이한설계의유전체-금속-유전체적층물, 및조명복사선의에바네센트모드를증폭하는공진요소를포함할수 있다. 계측시스템및 방법은이미징및 산란율측정법을비롯한각종의계측유형에대하여구성할수 있다.

2. 发明公开

KR1020130066505A 패터닝된 샘플들을 검사하기 위한 광학적 시스템 및 방법 有权
标题翻译：用于检验样本的光学系统和方法
公开(公告)号：KR1020130066505A
公开(公告)日：2013-06-20
申请号：KR1020120130919
申请日：2012-11-19
申请人： 어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드
发明人： 벨라츠키,요아브 , 코플러,아이도 , 메슈라흐,도론 , 바르칸,코비
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N21/956 , G01N21/4788 , G01N2021/8822
摘要： PURPOSE: An optical system for inspecting patterned samples and a method thereof are provided to optimize valid collecting zone/domain as blocking diffracted optical components from a periodic pattern of a sample effectively. CONSTITUTION: An illumination unit includes an illumination mask (42) located in a first spectrum plane about an inspection plane. The illumination mask includes a first predetermined discontinuous pattern. A light collection unit includes a collection mask (25) located in a second spectrum plane of the inspection plane which is a conjugate of the first spectrum plane. The collection mask includes a second predetermined pattern of separated light cut-off regions.
摘要翻译：目的：提供一种用于检查图案样品的光学系统及其方法，以有效地优化有效收集区域/区域，以从衍射周期性图案阻挡衍射光学部件。构成：照明单元包括位于围绕检查平面的第一光谱平面中的照明掩模（42）。照明面罩包括第一预定不连续图案。光收集单元包括位于作为第一光谱平面的共轭的检查平面的第二光谱平面中的采集掩模（25）。收集掩模包括分离的遮光区域的第二预定图案。

3. 发明公开

KR1020110118706A 비표지 바이오센서들의 조명 및 검출을 위한 효율적인 광학 배열 및 비표지 이미징에서 간섭 무늬들을 감소시키기 위한 방법 无效
标题翻译：有效的光学装置，用于照明和检测无标记生物传感器和减少无标记影像干扰的方法
公开(公告)号：KR1020110118706A
公开(公告)日：2011-10-31
申请号：KR1020117020533
申请日：2009-09-25
申请人： 에스알유 바이오시스템즈, 인코포레이티드
发明人： 락네이,베네트,에이치.
IPC分类号： G01N21/00 , G01N33/483
CPC分类号： G01N21/75 , G01N21/4788 , G01N21/7743 , G01N21/8806
摘要： 바이오센서의 표면을 조명하기 위한 광학 배열이 설명된다. 바이오센서는 바람직하게는 주기적 표면 격자 구조를 갖는 센서이다. 배열은 광을 발생시키는 광 소스, 상기 광 소스로부터 상기 광을 시준하기 위한 시준 광학계, 시준 광학계로부터 광을 수광하고 그리고 상기 바이오센서의 표면 상으로 입사 광을 지향시키는 제1 반사 표면 및 상기 바이오센서의 표면으로부터 반사된 광을 수광하는 제2 공간적으로 분리된 반사 표면을 포함한다. 상기 배열은 상기 프리즘의 상기 제2 반사 표면으로부터 광을 수광하는 텔레센트릭 광학계(예를 들어, 텔레센트릭 렌즈)를 더 포함한다. 상기 텔레센트릭 렌즈는 분광계의 입구 슬릿 상으로 광을 지향시킨다. 상기 배열은 종래 배열들과 비교될 때 분광계에서의 광 수집 효율을 증가시킨다.

4. 发明公开

KR1020110086721A 표면 검사 장치 无效
标题翻译：表面检查装置
公开(公告)号：KR1020110086721A
公开(公告)日：2011-07-29
申请号：KR1020117012653
申请日：2009-11-02
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 후카자와가즈히코 , 미나토가즈하루 , 후지사와하루히코
IPC分类号： G01N21/956 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/95607 , G01N21/4788 , G01N21/9501
摘要： 표면 검사 장치(1)는, 웨이퍼(W)를 지지하는 스테이지(10)와, 스테이지(10)에 지지되는 웨이퍼(W)의 표면에 자외광을 조사하는 조명계(20)와, 웨이퍼(W)의 표면으로부터의 광을 소정의 촬상면 상에 결상시키는 수광계(30)와, 수광계(30)에 의해 촬상면 상에 결상한 웨이퍼(W)의 상을 결상하는 카메라부(34)와, 화소 보완을 행하기 위한 화소 보완 구동부(35)와, 화소 보완 구동부(35)에 의해 화소 보완을 행하면서, 카메라(34)가 복수의 웨이퍼(W)의 상을 결상하도록 화소 보완 구동부(35) 및 카메라부(34)의 동작을 제어하는 제어부(40)와, 카메라부(34)에 의해 촬상된 복수의 화상에 있어서의 각 화소를 화소 보완에 따른 순서로 배열하여 합성한 웨이퍼(W)의 합성 화상을 생성하는 화상 처리부(45)를 구비하여 구성된다.

5. 发明公开

KR1020100064393A 반도체 제조 공정을 제어하기 위한 고수율의 분광 스케테로메트리측정을 사용하는 방법과 이를 구현하는 시스템 有权
标题翻译：使用高效光谱分析仪测量控制半导体制造工艺的方法及其相容系统
公开(公告)号：KR1020100064393A
公开(公告)日：2010-06-14
申请号：KR1020107009970
申请日：2002-12-17
申请人： 어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드
发明人： 스터튼제임스브록 , 렌싱케빈알. , 내러먼호미이. , 리이브스티븐피.
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/47 , G01N21/95 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/956 , G01N21/4788 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： A method of using high yielding spectra scatterometry measurements to control semiconductor manufacturing processes and systems for accomplishing same is disclosed. In one embodiment, the method comprises providing a library comprised of at least one target optical characteristic trace of a grating structure comprised of a plurality of gate stacks, the target corresponding to a semiconductor device having at least one desired electrical performance characteristic, proving a substrate 38 having a least one grating structure 50 formed thereabove, the formed grating structure 5o comprpised of a plurality of gate stacks 30, illuminating at least one grating structure 50 formed above said substrate 38, measuring light reflected off of the grating structure 50 formed above the substrate 38 to generate an optical characteristic trace for the formed grating structure 50, and comparing the generated optical characteristic trace to the target trace.
摘要翻译：公开了一种使用高产量光谱散射测量来控制半导体制造工艺和实现其的系统的方法。在一个实施例中，该方法包括提供由至少一个由多个栅极叠层构成的光栅结构的目标光学特性曲线的库，该目标对应于具有至少一个期望的电气性能特征的半导体器件，证明基板 38，其上形成有至少一个光栅结构50，所形成的光栅结构5o由多个栅极堆叠30组成，照射形成在所述衬底38上方的至少一个光栅结构50，测量从形成在光栅结构50上方的光栅结构50反射的光衬底38以产生用于所形成的光栅结构50的光学特征迹线，并将所产生的光学特性曲线与目标迹线进行比较。

6. 发明公开

KR1020100010899A 피검체 관측 장치 및 피검체 관측 방법 失效
标题翻译：主观观察装置和主观观察方法
公开(公告)号：KR1020100010899A
公开(公告)日：2010-02-02
申请号：KR1020090045876
申请日：2009-05-26
申请人： 올림푸스 메디칼 시스템즈 가부시키가이샤
发明人： 고노가즈히로
IPC分类号： G01N21/47 , G01N21/27 , G01N33/48
CPC分类号： A61B1/00096 , A61B1/041 , A61B1/045 , A61B5/0084 , G01N21/474 , G01N21/4788 , G01N2021/4711 , G01N2021/4716 , G02B23/2407
摘要： PURPOSE: A subject observation device and a subject observation method are provided to move domain which shows the desired scattering property in a diffusion media. CONSTITUTION: A subject observation device comprises a light emitting part, a light modulation part(3b), and a signal processing part. The light emitting part irradiates the light to a subject. The light modulation part detects the scattering angle of the returning light from the subject. The light modulation part performs the light modulation according to the scattering angle for the returning light. The signal processing part outputs a signal for showing the state of the light scattering at the subject, based on the light after the light modulation by the light modulation part.
摘要翻译：目的：提供将受试者观察装置和受试者观察方法用于在扩散介质中显示所需散射特性的移动区域。构成：被摄体观察装置包括发光部，光调制部（3b）和信号处理部。发光部件将光照射到被摄体。光调制部检测来自被摄体的返回光的散射角。光调制部根据返回光的散射角进行光调制。信号处理部基于光调制部的光调制后的光，输出用于表示被检体的光散射的状态的信号。

7. 发明公开

KR1020090029223A 단부 검사 장치의 교정 방법 无效
标题翻译：端部检查装置的校准方法
公开(公告)号：KR1020090029223A
公开(公告)日：2009-03-20
申请号：KR1020087031160
申请日：2007-06-14
申请人： 가부시키가이샤 레이텍스
发明人： 히라모토가즈유키 , 이와사키쯔요시
IPC分类号： G01N21/93 , G01B11/30 , G01N21/956 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/9503 , G01B11/306 , G01N21/274 , G01N21/4788
摘要： Provided is a calibration method for an end portion inspecting device including a light emitting unit for irradiating the end portion of an object substrate with an inspection light, and a detection unit for detecting the optical characteristics of a reflected light reflected on the end portion of the object substrate. The calibration method detects a defect having occurred at the end portion of the object substrate, on the basis of the optical characteristics of the reflected light, which are detected by the detection unit. The calibration method is characterized by comprising a pseudo defect forming step of forming a plurality of pseudo defects, in which at least one of positions, shapes and sizes in a thickness direction is set different from each other, in the circumferential direction at the end portion of a calibration substrate or a reference, a detecting step of detecting the optical characteristics of the reflected light with the detection unit by irradiating each of the pseudo defects with the inspection light, and an adjusting step of calibrating the end portion inspecting device on the basis of the optical characteristics of the reflected light, which are individually detected from each of the pseudo defects.
摘要翻译：本发明提供了一种端部检查装置的校准方法，其包括：用检测光照射被检体的端部的发光部，以及检测部，其检测在所述检测光的端部反射的反射光的光学特性物体衬底。校准方法基于由检测单元检测到的反射光的光学特性来检测在对象基板的端部处发生的缺陷。校准方法的特征在于包括：伪缺陷形成步骤，形成多个伪缺陷，其中在厚度方向上的位置，形状和尺寸中的至少一个在端部处沿圆周方向彼此不同校准基板或基准的检测步骤;检测步骤，用检测光照射每个伪缺陷，用检测单元检测反射光的光学特性;以及调整步骤，基于该校准基准的反射光的光学特性，其从每个伪缺陷单独检测。

8. 发明公开

KR1020080065000A 방사선 회절 착색제 失效
标题翻译：辐射衍射色素
公开(公告)号：KR1020080065000A
公开(公告)日：2008-07-10
申请号：KR1020087013126
申请日：2006-10-26
申请人： 피피지 인더스트리즈 오하이오 인코포레이티드
发明人： 먼로칼럼에이치 , 메리트마크디
IPC分类号： C09C3/00 , C09D5/29 , C09D151/00
CPC分类号： C08F257/02 , B05D5/065 , C08F265/04 , C08F283/006 , C08F283/10 , C08F283/12 , C08F291/00 , C08F292/00 , C08L51/003 , C08L51/08 , C08L51/085 , C08L51/10 , C08L67/00 , C08L2205/22 , C09D5/29 , C09D5/36 , C09D11/037 , C09D11/322 , C09D151/003 , C09D151/08 , C09D151/085 , C09D151/10 , G01N21/25 , G01N21/4788 , G02B2006/1213 , Y10T428/2991 , C08L2666/02
摘要： A radiation diffraction material comprising an ordered periodic array of particles held in a polymeric matrix is disclosed; the particles each comprise a core surrounded by a shell of a non-film forming composition that is different from the matrix. Methods for using the material are also disclosed.
摘要翻译：公开了一种辐射衍射材料，其包含保持在聚合物基质中的颗粒的有序周期性阵列; 颗粒各自包括由不同于基质的非成膜组合物的壳包围的芯。还公开了使用该材料的方法。

9. 发明公开

KR1020080047578A 광학 계측에서 반복 구조물에 대한 단위 셀 구성의 선택 无效
标题翻译：选择单位细胞配置重复光学计量学结构
公开(公告)号：KR1020080047578A
公开(公告)日：2008-05-29
申请号：KR1020087007425
申请日：2006-09-05
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 리쉬팡 , 고마로브세르게이 , 미야기마코토 , 라벨로실비오 , 바오준웨이 , 비스초프조에르그
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/00 , G01N21/00
CPC分类号： G01B11/24 , G01N21/4788
摘要： To select a unit cell configuration for a repeating structure in optical metrology, a plurality of unit cell configurations are defined for the repeating structure. Each unit cell configuration is defined by one or more unit cell parameters. Each unit cell of the plurality of unity cell configurations differs from one another in at least one unit cell parameter. One or more selection criteria are used to select one of the plurality of unit cell configurations. The selected unit cell configuration can then be used to characterize the top-view profile of the repeating structure.
摘要翻译：为了在光学测量中选择重复结构的单位单元配置，为重复结构定义了多个单位单元配置。每个单位单元配置由一个或多个单位单元参数定义。多个单位单元配置中的每个单位单元在至少一个单位单元参数中彼此不同。使用一个或多个选择标准来选择多个单位单元配置之一。然后可以使用所选择的单位单元配置来表征重复结构的顶视图。

10. 发明公开

KR1020070061808A 회절기반의 검출에 사용하는 화학가교제로 패터닝된 표면 无效
标题翻译：用于基于差分传感的化学交联剂的图案表面
公开(公告)号：KR1020070061808A
公开(公告)日：2007-06-14
申请号：KR1020077005143
申请日：2005-08-04
申请人： 악셀라 인코포레이티드
发明人： 고오,엠.,신시아 , 고오,제인,비. , 루,리챠드
IPC分类号： G01N33/543 , G01N33/53 , G01N21/47 , C12M1/34
CPC分类号： G01N33/54353 , B01J19/0046 , B01J2219/00382 , B01J2219/00497 , B01J2219/00527 , B01J2219/00605 , B01J2219/0061 , B01J2219/00612 , B01J2219/00617 , B01J2219/00637 , B01J2219/00657 , B01J2219/00659 , B01J2219/00677 , B01J2219/00722 , B01J2219/00725 , G01N21/05 , G01N21/4788 , G01N21/77 , G01N33/54373 , G01N2021/7709
摘要： Fabrication of surfaces patterned with chemical crosslinkers for solution-phase immobilization of probe molecules and their use in diffraction-based sensing. In one embodiment of the invention, a chemical crosslinker, X1 - R1 -Y1, is deposited on areas of the substrate surface that defines a pattern and allowed to react with the surface for a sufficient period of time to attain the desired density of covalently linked crosslinkers on the surface. The reaction between the crosslinker X1 - R1 - Y1 and the surface can be accelerated using known techniques such as heating, microwave irradiation, sonication, etc, to achieve the desired density in less time. In another embodiment of the invention, two or more other types of cross-linkers may also be laid down in patterns on the surface to detect for two or more other types of molecules in solution.
摘要翻译：用化学交联剂图案化的表面，用于探针分子的溶液相固定化及其在衍射式感测中的应用。在本发明的一个实施方案中，将化学交联剂X1-R1-Y1沉积在限定图案的基底表面的区域上并允许其与表面反应足够的时间以达到所需的共价连接密度交联剂在表面。交联剂X1-R1-Y1与表面之间的反应可以使用已知技术如加热，微波照射，超声处理等来加速，以在更短的时间内实现所需的密度。在本发明的另一个实施方案中，两个或多个其他类型的交联剂也可以以表面上的图案放置以检测溶液中的两种或更多种其它类型的分子。

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