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    • 1. 发明授权
    • 패턴형성방법, 감전자선성 또는 감극자외선성 수지 조성물, 그것을 사용한 레지스트 막, 전자 디바이스의 제조방법, 및 전자 디바이스
    • 图案形成方法,感光导电或负紫外线树脂组合物,使用其的抗蚀剂膜,电子器件制造方法和电子器件
    • KR101771177B1
    • 2017-08-23
    • KR1020157023281
    • 2014-01-20
    • 후지필름 가부시키가이샤
    • 히라노슈지타키자와히로오
    • G03F7/038G03F7/039G03F7/32C08F12/04C08F20/30C08F20/58
    • G03F7/2059C08F12/24C08F20/30C08F20/58G03F7/0045G03F7/0046G03F7/038G03F7/0392G03F7/0397G03F7/0758G03F7/11G03F7/2004G03F7/2041G03F7/325C08F212/14C08F220/20
    • 불소원자, 불소원자를갖는기, 규소원자를갖는기, 탄소수가 6개이상인알킬기, 탄소수가 6개이상인시클로알킬기, 탄소수가 9개이상인아릴기, 탄소수가 10개이상인아랄킬기, 적어도 1개의탄소수 3개이상의알킬기로치환된아릴기, 및적어도 1개의탄소수 5개이상의시클로알킬기로치환된아릴기로이루어지는군에서선택되는 1개이상의기를갖는수지(Aa)와, 산의작용에의해극성이변화되는수지(Ab)를함유하는감전자선성또는감극자외선성수지조성물을이용하여막을형성하는공정(1), 상기막을전자선또는극자외선을이용하여노광하는공정(2), 및노광후에유기용제를포함하는현상액을이용하여현상을행하고, 네거티브형의패턴을형성하는공정(3)을이 순서로포함하는패턴형성방법으로서, 상기감전자선성또는감극자외선성수지조성물중의고형분에대한수지(Aa)의함유율이 31∼90질량%인패턴형성방법에의해초미세(예를들면, 수십 nm 오더)의라인폭 또는스페이스폭을갖는패턴의형성에있어서, 양호한패턴형상, 및높은아웃가스성능을동시에만족하는패턴형성방법을제공한다. 또한, 상기패턴형성방법에사용되는감전자선성또는감극자외선성수지조성물, 상기패턴형성방법을사용한레지스트막, 전자디바이스의제조방법, 및전자디바이스를제공한다.
    • 具有基团和具有氟原子,氟原子的硅原子,碳原子数为6或更高的烷基,具有不小于6的碳原子数,具有不低于9的碳原子数,碳原子数:10个或更多,至少部分的碳原子中的一个的芳烷基的芳基环烷基 芳基具有三个或多个烷基基团取代,并且具有至少一个5或多个选自取代的芳基的环烷基中的碳原子中的至少一个和所述树脂(AA),其极性通过酸的作用而改变 通过使用含有所述树脂(Ab)的或去极化紫外线敏感树脂组合物(1)一个银屑病感电子形成膜的步骤,所述使用电子束或极紫外线膜(2),进行曝光的步骤,并包括在曝光后的有机溶剂 (3)用于形成负型图案,其中树脂(Aa)的含量相对于导电或负紫外线树脂组合物中的固体含量 在具有在图案(重量)的形成方法31-90%的微藻的线宽度或间隔宽度的图案的形成(例如,几十nm数量级),在同一时间满足良好的图案形状,和除气高性能 由此提供图案形成方法。 另外,在所使用的图案形成方法E银屑病感去极化或紫外线敏感树脂组合物的抗蚀使用图案形成方法膜,提供了一种制造电子器件的方法,及电子装置。
    • 10. 发明授权
    • 광학용 방향족 비닐계 열가소성 수지 및 그 제조방법
    • 具有优异光学特性的芳族乙烯基热塑性聚合物及其制备方法
    • KR100791418B1
    • 2008-01-07
    • KR1020060070450
    • 2006-07-26
    • 제일모직주식회사
    • 홍재근이병도진영섭박환석
    • C08F12/04C08F2/01
    • A method for preparing an optical aromatic vinyl-based thermoplastic resin is provided to realize a low yellow index and high luminance characteristics, and to reduce the time required for carrying out polymerization. A method for preparing an optical aromatic vinyl-based thermoplastic resin comprises the steps of: introducing an aromatic vinyl-based compound, an organic oxide compound having a one-hour half life of 60-120 deg.C and a multi-functional organic oxide compound into a reactor; and carrying out continuous polymerization while maintaining the temperature of the reactor at 80-140 deg.C. In the method, the multi-functional organic oxide compound is selected from the group consisting of 2,2-bis(4,4-di(t-butylperoxy)cyclohexyl)propane, tri(t-butylperoxy)triazine, tri(t-butylperoxy)trimellitate, polyether poly-t-butylperoxycarbonate, t-butylperoxy methyl fumarate and t-butylperoxy ethylfumarate.
    • 提供一种制备光学芳族乙烯基类热塑性树脂的方法,以实现低黄指数和高亮度特性,并减少进行聚合所需的时间。 制备光学芳族乙烯基类热塑性树脂的方法包括以下步骤:引入芳族乙烯基类化合物,半衰期为60-120℃的有机氧化物和多功能有机氧化物 化合物进入反应器; 并进行连续聚合,同时使反应器的温度保持在80-140℃。 在该方法中,多官能有机氧化物选自2,2-双(4,4-二(叔丁基过氧)环己基)丙烷,三(叔丁基过氧)三嗪,三(叔丁基过氧) 丁基过氧基)偏苯三酸酯,聚醚多叔丁基过氧碳酸酯,叔丁基过氧化甲基富马酸酯和叔丁基过氧化乙基富马酸盐。