会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 7. 发明专利
    • 在多層結構中用於增強型缺陷偵測之相位濾波器
    • 在多层结构中用于增强型缺陷侦测之相位滤波器
    • TW202004257A
    • 2020-01-16
    • TW108116345
    • 2019-05-13
    • 美商克萊譚克公司KLA-TENCOR CORPORATION
    • 達納 羅伯特 MDANEN, ROBERT M.史塔洛德 戴米崔 GSTARODUB, DMITRI G.
    • G02B27/00G02B27/10G02B27/46G02B3/00G06K9/00H01L21/66
    • 本發明揭示用於促進一多層堆疊中之缺陷偵測之方法及設備。該方法包含選擇用於模型化一特定多層堆疊及包含在此特定多層堆疊內之一特定缺陷之一組結構參數及用於一光學檢驗系統之一組操作參數。基於該組結構及操作參數,對自該特定多層堆疊及缺陷散射且到達該光學檢驗系統之一收集光瞳處之波執行一電磁模擬。基於該收集光瞳處之該等經模擬波,判定具有用於改變該光學檢驗工具之該收集光瞳之複數個對應位置內之複數個相位之複數個位置之一相位濾波器之一設計,以便補償該特定多層堆疊對獲得用於此特定多層堆疊內之該缺陷之一缺陷信號之一不利影響及/或增強此缺陷信號。然後提供該相位濾波器之該設計以製作或組態嵌入在該光學檢驗系統內之一相位濾波器以便偵測在具有與該特定多層堆疊相同之結構參數之多層堆疊中之缺陷。亦揭示用於檢驗一多層堆疊之缺陷之方法及系統。
    • 本发明揭示用于促进一多层堆栈中之缺陷侦测之方法及设备。该方法包含选择用于模型化一特定多层堆栈及包含在此特定多层堆栈内之一特定缺陷之一组结构参数及用于一光学检验系统之一组操作参数。基于该组结构及操作参数,对自该特定多层堆栈及缺陷散射且到达该光学检验系统之一收集光瞳处之波运行一电磁仿真。基于该收集光瞳处之该等经仿真波,判定具有用于改变该光学检验工具之该收集光瞳之复数个对应位置内之复数个相位之复数个位置之一相位滤波器之一设计,以便补偿该特定多层堆栈对获得用于此特定多层堆栈内之该缺陷之一缺陷信号之一不利影响及/或增强此缺陷信号。然后提供该相位滤波器之该设计以制作或组态嵌入在该光学检验系统内之一相位滤波器以便侦测在具有与该特定多层堆栈相同之结构参数之多层堆栈中之缺陷。亦揭示用于检验一多层堆栈之缺陷之方法及系统。
    • 8. 发明专利
    • 串擾檢測
    • 串扰检测
    • TW201947275A
    • 2019-12-16
    • TW108116582
    • 2019-05-14
    • 以色列商肯提克有限公司CAMTEK LTD.
    • 寇漢 多爾COHEN, DROR
    • G02B17/08G02B27/00G01N21/95
    • 本發明涉及串擾檢測。一種用於檢測串擾的方法可以包括:通過用第一傾斜光束照射晶片的關注區域(ROI)並收集從ROI反射的光來獲取ROI的第一圖像;通過用第二傾斜光束照射ROI並收集從ROI反射的光來獲取ROI的第二圖像;其中第一傾斜光束在晶片上的正交投影被定向到第二傾斜光束在晶片上的正交投影;以及檢測出現在該區域的第一圖像和該區域的第二圖像中的至少一個中的串擾。
    • 本发明涉及串扰检测。一种用于检测串扰的方法可以包括:通过用第一倾斜光束照射芯片的关注区域(ROI)并收集从ROI反射的光来获取ROI的第一图像;通过用第二倾斜光束照射ROI并收集从ROI反射的光来获取ROI的第二图像;其中第一倾斜光束在芯片上的正交投影被定向到第二倾斜光束在芯片上的正交投影;以及检测出现在该区域的第一图像和该区域的第二图像中的至少一个中的串扰。
    • 10. 发明专利
    • 座椅姿態控制系統
    • 座椅姿态控制系统
    • TW201906651A
    • 2019-02-16
    • TW106122610
    • 2017-07-05
    • 宏碁股份有限公司ACER INCORPORATED
    • 郭彥麟KUO, YAN-LIN
    • A63F13/28A47C7/00A47C1/00G02B27/00
    • 本發明提供一種座椅姿態控制系統。所述系統包括頭戴裝置與座椅。所述頭戴裝置包括多個第一感測器,其中所述多個第一感測器用以感測所述頭戴裝置的姿態以獲得多個第一角度值。所述座椅包括多個第二感測器、水平旋轉馬達、俯仰馬達與馬達控制模組。所述多個第二感測器用以感測所述座椅的姿態以獲得多個第二角度值。所述馬達控制模組耦接至所述水平旋轉馬達與所述俯仰馬達,並且根據所述多個第一角度值與對應的所述多個第二角度值來控制所述水平旋轉馬達與所述俯仰馬達,進而控制所述座椅的所述姿態。
    • 本发明提供一种座椅姿态控制系统。所述系统包括头戴设备与座椅。所述头戴设备包括多个第一传感器,其中所述多个第一传感器用以传感所述头戴设备的姿态以获得多个第一角度值。所述座椅包括多个第二传感器、水平旋转马达、俯仰马达与马达控制模块。所述多个第二传感器用以传感所述座椅的姿态以获得多个第二角度值。所述马达控制模块耦接至所述水平旋转马达与所述俯仰马达,并且根据所述多个第一角度值与对应的所述多个第二角度值来控制所述水平旋转马达与所述俯仰马达,进而控制所述座椅的所述姿态。