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    • 23. 发明授权
    • Solid precursor sublimator
    • 固体前驱体升华器
    • US09034105B2
    • 2015-05-19
    • US12351723
    • 2009-01-09
    • Trapti ChaubeyMindi Xu
    • Trapti ChaubeyMindi Xu
    • C23C16/00C23C16/448
    • C23C16/4481
    • An apparatus and method for holding a solid precursor in a sublimator such that the solid precursor can be vaporized for saturating a carrier gas. The apparatus may include alternating disks or shelves that form inner and outer passages, as well as spaces between the disks for fluidicly coupling the passages to create a winding, tortuous fluid flow path through the sublimator for optimizing solid vapor saturation. The method may include directing a carrier gas into a sublimation chamber, around the first shelf in the outer passage, over the first shelf in the space, around the second shelf in the inner passage, and back out of the sublimation chamber.
    • 一种用于在升华器中保持固体前体的装置和方法,使得固体前体可以蒸发以使载气饱和。 该装置可以包括形成内部和外部通道的交替的盘或架,以及盘之间的空间,用于流体地联接通道,以产生通过升华器的绕曲曲折的流体流动路径,以优化固体蒸气饱和度。 该方法可以包括将载气引导到在外部通道中的第一搁板周围的空间中的第一搁板周围的升华室中,围绕内部通道中的第二搁板,并且从升华室返回。