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    • 7. 发明申请
    • SEMICONDUCTOR DEVICE WITH REDISTRIBUTION LAYERS FORMED UTILIZING DUMMY SUBSTRATES
    • 具有重新分配层的半导体器件形成使用的DUMMY衬底
    • US20150221601A1
    • 2015-08-06
    • US14449654
    • 2014-08-01
    • Amkor Technology, Inc.
    • Jin Young KimJi Young ChungDoo Hyun ParkChoon Heung Lee
    • H01L23/00H01L23/31H01L21/56
    • A semiconductor device with redistribution layers formed utilizing dummy substrates is disclosed and may include forming a first redistribution layer on a first dummy substrate, forming a second redistribution layer on a second dummy substrate, electrically connecting a semiconductor die to the first redistribution layer, electrically connecting the first redistribution layer to the second redistribution layer, and removing the dummy substrates. The first redistribution layer may be electrically connected to the second redistribution layer utilizing a conductive pillar. An encapsulant material may be formed between the first and second redistribution layers. Side portions of one of the first and second redistribution layers may be covered with encapsulant. A surface of the semiconductor die may be in contact with the second redistribution layer. The dummy substrates may be in panel form. One of the dummy substrates may be in panel form and the other in unit form.
    • 公开了一种使用虚拟衬底形成的具有再分配层的半导体器件,其可以包括在第一虚拟衬底上形成第一再分配层,在第二虚设衬底上形成第二再分布层,将半导体管芯电连接到第一再分配层,电连接 第一再分配层到第二再分配层,并且去除虚设基板。 第一再分布层可以利用导电柱电连接到第二再分配层。 可以在第一和第二再分配层之间形成密封剂材料。 第一和第二再分布层之一的侧面部分可以用密封剂覆盖。 半导体管芯的表面可以与第二再分配层接触。 虚拟基板可以是面板形式。 虚拟基板中的一个可以是面板形式,另一个是单元形式。