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2. 发明申请

US20170003315A1 MEMS SENSOR DEVICES HAVING A SELF-TEST MODE 审中-公开
标题翻译：具有自检模式的MEMS传感器器件
公开(公告)号：US20170003315A1
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：US14962328
申请日：2015-12-08
申请人： FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC.
发明人： JEROME ROMAIN ENJALBERT , MARGARET LESLIE KNIFFIN , ANDREW C. MCNEIL
IPC分类号： G01P21/00 , G01P15/125
CPC分类号： G01P21/00 , G01P15/125
摘要： A micro-electro-mechanical system (MEMS) device comprises a micro-electro-mechanical system (MEMS) sensor; a detector circuit; a controller circuit coupled with the MEMS sensor; a first connection arranged between a first output of the MEMS sensor and a first input of the detector circuit; a second connection arranged between a second output of the MEMS sensor and a second input of the detector circuit; and a first switch arranged in the first connection. The controller circuit is configured to open the first switch during a first test mode so as to connect only a single input of the detector circuit with an output of the MEMS sensor. A further switch may be provided to connect two outputs of the MEMS sensor to a single input of the detector circuit.
摘要翻译：微电子机械系统（MEMS）装置包括微机电系统（MEMS）传感器; 检测器电路; 与MEMS传感器耦合的控制器电路; 布置在所述MEMS传感器的第一输出端和所述检测器电路的第一输入端之间的第一连接; 布置在所述MEMS传感器的第二输出端和所述检测器电路的第二输入端之间的第二连接; 以及布置在第一连接中的第一开关。控制器电路被配置为在第一测试模式期间打开第一开关，以便仅将检测器电路的单个输入与MEMS传感器的输出连接。可以提供另一开关以将MEMS传感器的两个输出连接到检测器电路的单个输入。

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