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热词
    • 1. 发明申请
    • ACCELEROMETER WITH INDUCTIVE PICK-OFF
    • 带电感式的加速度计
    • US20170023605A1
    • 2017-01-26
    • US14809006
    • 2015-07-24
    • Honeywell International Inc.
    • Alexander Spivak
    • G01P15/11G01P15/08
    • G01P15/11G01P15/0802G01P15/18G01P2015/082
    • An accelerometer as disclosed herein includes a support wafer, a bottom wafer, a top wafer, and an inductive pick-off. The support wafer may define a plane and may comprise a first side, a second side, and a proof mass. The proof mass may be configured to move in the plane defined by the support wafer. The bottom wafer may comprise a first side and a second side, and the first side may be positioned over the first side of the support wafer. The top wafer may comprise a first side and a second side, and the first side may be positioned over the second side of the support wafer. The inductive pick-off may comprise a near field resonant conductive coupling mechanism and may be configured to output a signal indicative of an amount of displacement of the proof mass to electronics.
    • 如本文公开的加速度计包括支撑晶片,底部晶片,顶部晶片和感应传感器。 支撑晶片可以限定一个平面,并且可以包括第一侧面,第二侧面和检验质量块。 检测质量可以被配置为在由支撑晶片限定的平面内移动。 底部晶片可以包括第一侧和第二侧,并且第一侧可以位于支撑晶片的第一侧上方。 顶部晶片可以包括第一侧和第二侧,并且第一侧可以位于支撑晶片的第二侧上方。 感应传感器可以包括近场谐振导电耦合机构,并且可以被配置为输出指示检测质量块到电子器件的位移量的信号。