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    • 10. 发明申请
    • POSITION DETECTION APPARATUS, APPARATUS INCLUDING THE SAME AND POSITION DETECTION METHOD
    • 位置检测装置,包括它们的装置和位置检测方法
    • US20160258787A1
    • 2016-09-08
    • US15056740
    • 2016-02-29
    • CANON KABUSHIKI KAISHA
    • Hirofumi HondaDaisuke IshikawaToshihiko Tomosada
    • G01D5/347G01D5/16
    • G01D5/34776G01D5/165G01D5/24476
    • The position detection apparatus includes the first optical position detector used with an optical scale having periodic patterns. The first position detector receives lights from the periodic patterns when moving relatively to the optical scale with a movement of a movable member to generate first detection signals respectively changing at periods corresponding to periods of the periodic patterns. The second non-optical position detector generates a second detection signal changing with the movement of the movable member. The calculator produces a first position signal by using the first detection signals, produces a second position signal whose resolution is different from that of the first position signal, by using the second detection signal, and performs a calculation for combining the first and second position signals together to produce an absolute position signal.
    • 位置检测装置包括与具有周期性图案的光学秤一起使用的第一光学位置检测器。 第一位置检测器通过可移动构件的移动而相对于光学秤移动时从周期性图案接收光,以产生分别在对应于周期性图案的周期的周期改变的第一检测信号。 第二非光学位置检测器产生随着可移动部件的运动而改变的第二检测信号。 计算器通过使用第一检测信号产生第一位置信号,通过使用第二检测信号产生分辨率不同于第一位置信号的第二位置信号,并且执行用于组合第一和第二位置信号的计算 一起产生绝对位置信号。