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    • 8. 发明授权
    • Test module device and a test method for monitoring the stability of processes
    • 测试模块设备和监控过程稳定性的测试方法
    • US09275919B2
    • 2016-03-01
    • US14080534
    • 2013-11-14
    • Shanghai Huali Microelectronics Corporation
    • YuYu Zhou
    • H01H31/12H01L21/66
    • H01L22/34H01L2924/0002H01L2924/00
    • The present invention discloses a test method for monitoring the stability of process and a test module device thereof. The test module device comprises: a substrate, a certain number of the first metal wires, a certain number of the second metal wires, an insulating block is disposed between the adjacent first metal wires. The method comprises: a preconfigured value of the test current in the test module is provided in the process; the multiple test module devices are provided. The present invention adopts a method adopting an offset to set the upper metal wire and lower metal wire in the test module instead of regular equal interval setting. Consequently, the safety zone of the overlay in the process can be determined. The present invention can monitor the stability of the process.
    • 本发明公开了一种用于监视过程稳定性的测试方法及其测试模块装置。 测试模块装置包括:基板,一定数量的第一金属线,一定数量的第二金属线,绝缘块设置在相邻的第一金属线之间。 该方法包括:在该过程中提供测试模块中测试电流的预配置值; 提供了多个测试模块设备。 本发明采用采用偏移方式设置测试模块中的上金属线和下金属线,而不是规则的等间隔设置。 因此,可以确定该过程中的覆盖层的安全区域。 本发明可以监测该方法的稳定性。