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    • 3. 发明申请
    • 酸化物単結晶薄膜を備えた複合ウェーハの製造方法
    • 用氧化物单晶薄膜生产复合波长的方法
    • WO2016194977A1
    • 2016-12-08
    • PCT/JP2016/066283
    • 2016-06-01
    • 信越化学工業株式会社
    • 秋山 昌次川合 信
    • H01L21/02H01L21/265H01L21/425H01L27/12H01L41/187H01L41/312
    • H01L41/335B32B18/00B32B37/18B32B38/0036B32B38/10B32B2457/00C23C14/48C23C14/5833C30B29/30H01L21/02H01L21/265H01L21/425H01L27/12H01L41/187H01L41/1873H01L41/312H03H9/02559
    •  支持ウェーハと酸化物単結晶薄膜との貼り合わせ界面に割れや剥がれが生じにくく、支持ウェーハ上の全面にタンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムである酸化物単結晶の薄膜が転写された複合ウェーハを提供する。具体的には、表面から水素原子イオンまたは水素分子イオンを注入し、酸化物単結晶ウェーハの内部にイオン注入層を形成する工程と、酸化物単結晶ウェーハのイオン注入した表面と支持ウェーハの表面の少なくとも一方に、表面活性化処理を施す工程と、酸化物単結晶ウェーハのイオン注入した表面と支持ウェーハの表面とを貼り合わせて接合体を得る工程と、接合体を90℃以上であって割れを生じない温度で熱処理する工程と、熱処理した接合体に超音波振動を与える工程であって、イオン注入層に沿って剥離し支持ウェーハ上に転写された酸化物単結晶薄膜を得る、工程とを少なくとも含む複合ウェーハの製造方法である。
    • 提供了一种复合晶片,其中在支撑晶片和氧化物单晶薄膜之间的接合界面中不可能发生裂纹和剥离,并且其中将作为钽酸锂或铌酸锂的单晶薄膜转移到 支撑晶片的整个表面。 具体而言,复合晶片的制造方法至少包括:从表面注入氢原子离子或氢分子离子以在氧化物单晶晶片内部形成离子注入层的工序; 在已经注入离子的氧化物单晶晶片的表面和支撑晶片的表面中的至少一个表面进行表面活化处理的步骤; 其中注入了离子的氧化物单晶晶片的表面和支撑晶片的表面被接合以获得接合体的步骤; 接合体在90℃以上的温度下进行热处理,不会发生裂纹的工序; 以及对经过热处理的接合体施加超声波振动的步骤,沿着离子注入层进行剥离,得到转印到支撑晶片上的氧化物单晶薄膜。
    • 6. 发明申请
    • 機能性フィルムの製造方法
    • 功能膜制造方法
    • WO2014175023A1
    • 2014-10-30
    • PCT/JP2014/059737
    • 2014-04-02
    • コニカミノルタ株式会社
    • 属 健治田地 和喜
    • B32B9/00B05D3/02B05D7/24B32B37/16
    • C23C18/1241B32B27/06B32B38/0036B32B2037/243B32B2307/306B32B2307/412B32B2307/712B32B2307/7242B32B2307/7246B32B2309/02C23C18/1216C23C18/122C23C18/1283
    •  本発明の課題は、機能性(例えば、ガスバリアー性)、透明性及び平面性に優れた機能性フィルムを、大型設備を必要とせず、簡易的な方法で、経済性及び生産安定性に優れ、かつ高い生産性を備えた機能性フィルムの製造方法を提供することである。 本発明の機能性フィルムの製造方法は、耐熱基材上に無機層形成前駆体を塗布して無機層形成前駆体層を形成する塗布工程、形成した前記無機層形成前駆体層を熱焼成して無機層を形成する熱焼成工程、形成した前記無機層を冷却する冷却工程、耐熱基材の無機層を有する面と、プラスチックフィルム面とを密着する密着工程、密着した後、前記無機層をプラスチックフィルム面に転写する転写工程、を経て製造する機能性フィルムの製造方法であって、前記転写工程が、前記冷却工程を経て、前記耐熱基材の温度が40℃に低下するまでの間で行うことを特徴とする。
    • 本发明解决了通过简单的方法提供能够以优异的经济效率和生产稳定性以及高生产率制造具有优异功能(例如阻气性),透明性和平面性的功能膜的功能膜制造方法的问题 而不需要大型设施。 该功能膜制造方法是通过将无机层形成用前体施加到耐热基板上以形成无机层形成前体层的涂布工序来制造功能膜的方法,将形成的无机物进行热燃烧的热燃烧工序 层形成前体层以形成无机层,用于冷却所形成的无机层的冷却步骤,将具有耐热基材的无机层的表面和塑料膜表面彼此紧密连接的紧密附着步骤,以及 转移步骤,用于在紧密附着之后将无机层转移到塑料膜表面,其特征在于,在冷却步骤之后,耐热基材的温度降至40℃之前进行转印步骤。
    • 8. 发明申请
    • デバイスの製造方法
    • 装置的制造方法
    • WO2014038693A1
    • 2014-03-13
    • PCT/JP2013/074256
    • 2013-09-09
    • 京セラ株式会社
    • 松下 秀樹北田 勝信
    • H01L21/02
    • H01L24/83B32B37/18B32B37/24B32B38/0008B32B38/0036B32B2037/243B32B2305/30B32B2310/14B32B2311/00B32B2313/00B32B2457/14C23C14/18C23C14/46H01L21/2007H01L2924/365
    •  接合界面に存在する金属量を制御したデバイスを提供する。 第1基板及び第2基板の表面を、FABガンを用いて活性化する工程と、前記FABガンにより複数の金属を含む金属放出体をスパッタリングすることで前記複数の金属を放出させ、前記第1基板及び第2基板の表面に複数の金属を付着させる工程と、前記第1基板と前記第2基板とを常温で接合する工程と、前記複数の金属と前記第1基板又は前記第2基板を構成する元素との凝集開始温度に比べて高い温度で加熱する工程とを具備し、前記複数の金属を付着させる工程において、前記金属放出体の露出面積を調整することにより、前記第1基板と前記第2基板との接合面に存在する前記複数の金属の存在密度を1×10 12 /cm 2 以下とする。
    • 提供了控制存在于接合界面中的金属含量的装置。 该装置的制造方法包括:使用FAB枪激活第一基板和第二基板的表面的步骤; 通过使用FAB枪对包含多个金属的排出的金属体溅射多个金属的步骤,并且将多个金属固定在第一基板和第二基板的表面上; 第一基板和第二基板在室温下接合的步骤; 以及与多个金属和构成第一基板或第二基板的元件的凝聚开始温度相比,在高的温度下进行加热的工序。 关于固定有多个金属的步骤,通过调整第一基板和第二基板的接合界面上存在的多个金属的密度,通过调整第一基板和第二基板的接触界面的曝光面积而设定为1×10 12 / cm 2以下 排出的金属体。
    • 9. 发明申请
    • BÖRDELNAHT
    • 法兰连接缝
    • WO2014037392A1
    • 2014-03-13
    • PCT/EP2013/068273
    • 2013-09-04
    • FORD GLOBAL TECHNOLOGIES, LLC
    • FRIETSCH, JörgSASSMANNSHAUSEN, JörgDITTUS, Ernst, StefanDITTRICH, Heinz
    • F16B11/00
    • B32B38/0012B32B37/0076B32B37/06B32B37/1292B32B37/18B32B38/0036B32B2037/1253B32B2038/0076B32B2305/02B32B2605/00B32B2605/08B60J5/0469F16B11/00F16B11/006Y10T156/1028
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Bördelnaht (1) zwischen einem inneren Bauteil (2), das einen freien Kantenabschnitt (4) hat und einem äußeren Bauteil (3), das eine an einem Kantenabschnitt (6) angeordnete Falzkante (7) aufweist mit zumindest den folgenden Schritten: Erzeugen eines Strukturklebstoffelementes (8) mit einer an einen späteren Falzspalt (1 ) angepassten Erstreckung, die kürzer ist als die Erstreckung des Falzspaltes (11), wobei das Strukturklebstoffelement (8) einen expandierbaren Strukturklebstoff hat, Aufbringen des Strukturklebstoffelementes (8) im kalten Zustand auf eines der Bauteile (2,3) an seiner zum anderen Bauteil (2,3) orientierten Seite, Umfalzen der Falzkante (7) in Richtung zum inneren Bauteil (2), wobei das Strukturklebstoffelement (8) mit einem Überstand (13) spätestens bei dem Umfalzen der Falzkante (7) um die freie Kante (4) des inneren Bauteils (2) herum gebogen wird, und Erwärmen zumindest des Bördelnahtbereiches, so dass der Strukturklebstoff schmilzt und in allen Richtungen expandierend auch aus dem Falzspalt (11) austritt, und eine Dichtwulst (26,27) ausbildet.
    • 本发明涉及一种用于一个内部部件之间的制造(2)具有自由边缘部分(4)和外构件(3)布置成一个在边缘部分上的凸缘的接缝(1)(6)折叠边缘(7) 与至少以下步骤:适于与随后的折叠间隙(1)延伸,这是比的折叠间隙(11),其中所述结构粘合剂元件(8)具有一个可膨胀的结构粘合剂的延伸较短的生成结构粘合剂元件(8),在施加结构粘合剂元件 (8)关于其的其它部件(2,3)的面向侧的部件(2,3)中的一个,折叠的折叠边缘(7)朝向所述内部部件的冷状态(2),其中,所述结构粘合剂元件(8)与 在最新的一个突出部(13),当折叠在折叠边缘(7)周围的自由边缘(4)内方部件(2)绕弯曲,并且加热至少Bördelnahtbereiches,使 形成所述结构粘合剂熔体的ss和在所有方向上,并从折叠间隙(11)退出,并且一个密封凸缘(26,27)扩大。