会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 10. 发明申请
    • 半導体装置の製造方法
    • 制造半导体器件的方法
    • WO2018061982A1
    • 2018-04-05
    • PCT/JP2017/034112
    • 2017-09-21
    • デクセリアルズ株式会社
    • 森 大地
    • H01L25/065H01L25/07H01L25/18
    • H01L25/065H01L25/07H01L25/18
    • 積層配置された半導体チップ群を熱圧着ツールにて押圧した際の硬化遅延を抑制し、良好な接合性を得ることができる半導体装置の製造方法を提供する。最上層の第1半導体チップ下に配置された第1熱硬化性接着剤から最下層の第m(mは3以上の整数)半導体チップ下に配置された第m熱硬化性接着剤までの半導体チップ群をインターポーザ上に配置する。第1熱硬化性接着剤の最低溶融粘度到達温度が、第2~第m熱硬化性接着剤の最低溶融粘度到達温度以上であり、第2~第m熱硬化性接着剤のうち少なくとも1つの熱硬化性接着剤の最低溶融粘度到達温度が、第1熱硬化性接着剤の最低溶融粘度到達温度よりも低い。
    • 提供了一种制造半导体器件的方法,所述半导体器件能够在用热压接合工具按压堆叠的半导体芯片组时获得抑制固化延迟并且获得良好的接合性能。 从位于最上层的第一半导体芯片下方的第一热固性粘合剂到位于第m(m为3或更大的整数)半导体芯片下方的第m热固性粘合剂的半导体 在中介片上放置芯片。 第一热固性粘合剂的最低熔融粘度达到的温度等于或高于第二至第m热固性粘合剂和第二至第m热固性粘合剂中的至少一种的最低熔融粘度达到的温度 所述热固性粘合剂的最低熔融粘度达到的温度低于所述第一热固性粘合剂的最低熔融粘度达到的温度。