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    • 5. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUM POSITIONIEREN UND HALTEN ZUMINDEST EINES OPTISCHEN ELEMENTS, MESSSYSTEM
    • WO2022148582A1
    • 2022-07-14
    • PCT/EP2021/084412
    • 2021-12-06
    • CARL ZEISS SMT GMBH
    • GROEZINGER, ThomasOEZTUERK, SemihLOOPSTRA, ErikHAASE, Anton
    • G02B7/00G02B7/182F16M11/12
    • Vorrichtung (1) zum Positionieren und Halten zumindest eines optischen Elements (2), aufweisend einen ersten Grundträger (6), wobei der erste Grundträger (6) um eine zu einer Auflagefläche (7) des ersten Grundträgers (6) senkrechte erste Drehachse (8) drehbar ist, einen auf dem ersten Grundträger (6) angeordneten zweiten Grundträger (9), wobei der zweite Grundträger (9) um eine zur Auflagefläche (7) des ersten Grundträgers (6) senkrechte zweite Drehachse (11) drehbar ist, zumindest einen auf dem zweiten Grundträger (9) angeordneten dritten Grundträger (12), wobei der dritte Grundträger (12) um eine zur Auflagefläche (7) des ersten Grundträgers (6) senkrechte dritte Drehachse (14) drehbar ist, und ein auf dem dritten Grundträger (12) angeordnetes Tragelement (15), wobei das Tragelement (15) eine Haltefläche (16) zum Halten des optischen Elements (2) aufweist, wobei die Haltefläche (16) um eine zu der Haltefläche (16) senkrechte Rotationsachse (17) drehbar ist, wobei das Tragelement (15) und/oder die Haltefläche (16) um eine zur Auflagefläche (7) des ersten Grundträgers (6) zumindest im Wesentlichen parallele Schwenkachse (18) verschwenkbar ist/sind, und wobei bezogen auf eine vorgebbare Referenzebene die erste Drehachse (8), zweite Drehachse (11) und dritte Drehachse (14) in einem Grundzustand der Vorrichtung (1) jeweils versetzt zueinander angeordnet sind, und wobei das Tragelement (15) und/oder die Haltefläche (16) senkrecht zur Auflagefläche (7) des ersten Grundträgers (6) verschiebbar ist/sind.