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1. 发明申请

WO2011074099A1 角速度検出装置审中-公开
标题翻译：角速度检测装置
公开(公告)号：WO2011074099A1
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：PCT/JP2009/071058
申请日：2009-12-17
申请人：トヨタ自動車株式会社 , 山岡英彦
发明人：山岡　英彦
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5747
摘要：　互いに逆相に駆動される２つの錘を備える角速度センサが搭載されたセンサチップを備え、駆動方向に垂直な方向の該２つの錘の振動に基づいて角速度を検出する角速度検出装置であって、センサチップに設けられ、センサチップの基板表面と平行な面内で１軸方向に振動可能な錘をそれぞれ有する２つの加速度センサを含み、２つの加速度センサは、センサチップの回転振動時には、２つの加速度センサの各錘が互いに逆位相で振動する一方、センサチップの併進振動時には、２つの加速度センサの各錘が互いに同位相で振動するような位置関係に配置されることを特徴とする。
摘要翻译：公开了一种角速度检测装置，其设置有配备有角速度传感器的传感器芯片，该角速度传感器设置有以相反相位驱动的两个重物，并且基于两个重物在垂直方向上的振动来检测角速度到行车方向。所述角速度检测装置包括设置在传感器芯片中的两个加速度传感器，分别具有能够在平行于传感器芯片的基板的表面的平面内沿单轴方向振动的重量。两个加速度传感器以这样的位置关系设置，使得两个加速度传感器的各个重量在传感器芯片的旋转振动期间彼此相反地振动，并且两个加速度传感器的相应重量以相同的相位振动在传感器芯片的平移振动期间彼此相对。

2. 发明申请

WO2010150736A1 角速度センサと、それに用いられる同期検波回路审中-公开
标题翻译：角速度传感器和与之同步的同步检测电路
公开(公告)号：WO2010150736A1
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：PCT/JP2010/060457
申请日：2010-06-21
申请人：ローム株式会社 , 林啓 , 山田宣幸 , 吉田武司
发明人：林　啓 , 山田　宣幸 , 吉田　武司
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5776
摘要：　この角速度センサでは、第１の圧電素子（Ｄ１）の上部電極（１１）と第２の圧電素子（Ｄ２）の下部電極（１２）とを第１のＱ／Ｖ変換回路（２１）の入力端子（２１ａ）に接続するとともに、第１の圧電素子（Ｄ１）の下部電極（１２）と第２の圧電素子（Ｄ２）の上部電極（１１）とを第２のＱ／Ｖ変換回路（２２）の入力端子（２２ａ）に接続する。これにより、第１および第２の圧電素子（Ｄ１，Ｄ２）に発生する電荷量の振動ノイズ成分を相殺するとともに、第１および第２の圧電素子（Ｄ１，Ｄ２）に発生する電荷量のコリオリ成分を加算して、コリオリ成分のみを取り出す。
摘要翻译：提供一种角速度传感器，其中第一压电元件（D1）的上电极（11）和第二压电元件（D2）的下电极（12）连接到第一Q的输入端（21a） / V转换电路（21）和第一压电元件（D1）的下电极（12）和第二压电元件（D2）的上电极（11）连接到第二压电元件 Q / V转换电路（22）。因此，抵消在第一和第二压电元件（D1，D2）中产生的电荷量的振动噪声分量，并且增加在第一和第二压电元件（D1，D2）中产生的电荷量的科里奥利分量，从而仅提取科里奥利成分。

3. 发明申请

WO2010122707A1 圧電体薄膜とその製造方法、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法审中-公开
标题翻译：压电薄膜及其制造方法，喷墨头，使用喷嘴头形成图像的方法，角速度传感器，使用角速度传感器，压电元件和方法测量角速度的方法
公开(公告)号：WO2010122707A1
公开(公告)日：2010-10-28
申请号：PCT/JP2010/001472
申请日：2010-03-03
申请人：パナソニック株式会社 , 張替貴聖 , 足立秀明 , 藤井映志
发明人：張替貴聖 , 足立秀明 , 藤井映志
IPC分类号： H01L41/09 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , G01C19/5628 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319
摘要：　非鉛強誘電材料を含む圧電体薄膜であって、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）と同レベルの高い圧電性能を示す圧電体薄膜とその製造方法とを提供する。本発明の圧電体薄膜は、（００１）配向を有するＬａＮｉＯ 3 膜と、（００１）配向を有するＮａＮｂＯ 3 膜と、（００１）配向を有する（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ 3 膜と、を具備し、前記ＬａＮｉＯ 3 膜、前記ＮａＮｂＯ 3 膜、および前記（Ｂｉ，Ｎａ，Ｂａ）ＴｉＯ 3 膜がこの順に積層されている。
摘要翻译：提供一种包含无铅铁电材料并且具有与锆钛酸铅（PZT）相当的高压电性能的压电薄膜。还提供了用于所述压电薄膜的制造方法。压电薄膜设置有（001）取向的LaNiO3膜，（001）取向的NaNbO 3膜和（001）取向的（Bi，Na，Ba）TiO 3膜。

4. 发明申请

WO2010093557A2 USING A ROTATION SENSOR MEASUREMENT TO ATTENUATE NOISE ACQUIRED BY A STREAMER-DISPOSED SENSOR 审中-公开
标题翻译：使用旋转式传感器测量来降低流量传感器所获得的噪音
公开(公告)号：WO2010093557A2
公开(公告)日：2010-08-19
申请号：PCT/US2010/023235
申请日：2010-02-04
申请人： GECO TECHNOLOGY B.V. , SCHLUMBERGER CANADA LIMITED , WESTERNGECO L.L.C. , OZDEMIR, Ahmet Kemal , HUSOM, Vidar Anders , GOUJON, Nicolas , TEIGEN, Oeyvind , BORGEN, Lars
发明人： OZDEMIR, Ahmet Kemal , HUSOM, Vidar Anders , GOUJON, Nicolas , TEIGEN, Oeyvind , BORGEN, Lars
IPC分类号： G01V1/48 , G01V1/46 , G01V1/38 , G01P9/04 , G01C19/56
CPC分类号： G01V1/36 , G01V1/3817 , G01V2210/32 , G01V2210/3246
摘要： A technique includes receiving data indicative of a first measurement acquired by a rotation sensor on a seismic streamer and based on the first measurement, estimating a torque noise present in a measurement acquired by a second sensor on the streamer. The technique includes attenuating the torque noise based on the estimate.
摘要翻译：一种技术包括接收表示由地震拖缆上的旋转传感器获得的第一测量的数据，并且基于第一测量，估计存在于由流传送器上的第二传感器获得的测量中的转矩噪声。该技术包括基于估计来衰减转矩噪声。

5. 发明申请

WO2010092816A1 発振回路、発振回路の製造方法、この発振回路を用いた慣性センサ及び電子機器审中-公开
标题翻译：振荡器电路，振荡器电路的制造方法，使用振荡器电路的惯性传感器和电子设备
公开(公告)号：WO2010092816A1
公开(公告)日：2010-08-19
申请号：PCT/JP2010/000857
申请日：2010-02-12
申请人：パナソニック株式会社 , 植村猛 , 黒田啓介
发明人：植村猛 , 黒田啓介
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04 , H03B5/32 , H03H11/04
CPC分类号： G01C19/5726 , G01C19/5614 , G01C19/5776 , H03B5/32 , Y10T29/4913
摘要：　発振回路は、振動子と、振動子から出力されたモニタ信号を濾波して濾波信号を出力するフィルタと、フィルタから出力された濾波信号を増幅して駆動信号を生成する駆動部と、モニタ信号に基づいてフィルタの通過特性を調整するように動作する制御部とを備える。振動子は、駆動信号により駆動されて振動し、振動に応じてモニタ信号を出力する。この発振回路は振動子を安定に発振させることができる。
摘要翻译：振荡器电路设置有振荡器，滤波器，用于滤波从振荡器输出的监视信号以输出滤波信号;驱动部分，用于放大从滤波器输出的滤波信号以产生驱动信号;以及控制单元，其操作以便根据监视信号来调整滤波器的通过特性。振荡器由驱动信号驱动并振荡，并根据振荡输出监视信号。振荡器电路能够稳定地振荡振荡器。

6. 发明申请

WO2010003605A1 MIKROELEKTROMECHANISCHER OSZILLATOR 审中-公开
标题翻译：微机电振荡器
公开(公告)号：WO2010003605A1
公开(公告)日：2010-01-14
申请号：PCT/EP2009/004856
申请日：2009-07-06
申请人： ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITÄT FREIBURG , HE, Lin , BUHMANN, Alexander , MANOLI, Yiannos , TASCHWER, Armin , NORTHEMANN, Thomas
发明人： HE, Lin , BUHMANN, Alexander , MANOLI, Yiannos , TASCHWER, Armin , NORTHEMANN, Thomas
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5755 , G01C19/5726
摘要： Ein mikroelektromechanischer Oszillator hat einen Schwingungserreger, der einen Aktor (7a, 7b) und eine Ansteuereinrichtung (10) dafür aufweist. Der Aktor (7a, 7b) steht mit einer in Schwingung zu versetzenden Masse (2) in Antriebsverbindung. Zur Erfassung eines von der Schwingung der Masse (2) abhängigen Messsignals ist eine Messvorrichtung (8) vorgesehen, die derart mit der Ansteuereinrichtung (10) in einen Oszillator-Regelkreis geschaltet ist, dass die Masse (2) mit einer Resonanzfrequenz zur Schwingung angeregt wird. Die Messvorrichtung (8) umfasst einen mikroelektromechanischen kapazitiven Sensor (9a, 9b), der Elektroden aufweist, die in Abhängigkeit von der Auslenkung der Masse (2) aufeinander zu und voneinander weg bewegbar sind. Die Messvorrichtung (8) weist ein Positionssensor-Interface auf, der im Oszillator-Regelkreis angeordnet ist und mit einem Eingangsanschluss (15a, 15b) mit dem Sensor (9a, 9b) und mit einem Ausgangsanschluss (20a, 20b) mit der Ansteuereinrichtung (10) verbunden ist. Im Oszillator-Regelkreis ist ein Phasenschieber vorgesehen.
摘要翻译：具有振动激励器，其致动器（7A，7B）和驱动器（10）用于其的微机电振荡器。的致动器（7A，7B）与在质量的振动驱动器连接到移动（2）。取决于用于检测质量块的振动中的一个（2）的测量信号是被连接在振荡器回路（8），设置以这样的方式与所述驱动装置（10）的测量装置，该质量块（2）是在对振动的共振频率激发，的测量装置（8）包括一个微机电电容式传感器（9A，9B）中，具有作为电极的质量（2）的朝向和远离彼此的偏转的函数。的测量装置（8）包括一个位置传感器接口，其被布置在所述振荡器环路并具有与该传感器的输入端子（15A，15B）（9A，9B）和一个输出端（20A，20B）（与驱动装置10 ）连接。振荡器回路中，提供了一种移相器。

7. 发明申请

WO2009096086A1 圧電体膜を用いた振動ジャイロ及びその製造方法审中-公开
标题翻译：使用压电薄膜的振动胶体及其制造方法
公开(公告)号：WO2009096086A1
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/JP2008/071372
申请日：2008-11-26
申请人：住友精密工業株式会社 , 池田隆志 , 西田宏 , 寅屋敷治 , 竹村充彦 , 藤村剛 , 荒木隆太 , 森口孝文 , 手嶋伸貴 , 平田泰之
发明人：池田隆志 , 西田宏 , 寅屋敷治 , 竹村充彦 , 藤村剛 , 荒木隆太 , 森口孝文 , 手嶋伸貴 , 平田泰之
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5684
摘要：　本発明の振動ジャイロは、平面を一様に備えたリング状振動体１１と、リング状振動体１１を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部１５と、平面上に形成され且つ上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極１３ａ～１３ｄ及び固定電位電極１６とを備え、複数の電極１３ａ～１３ｄは、Ｎを２以上の自然数とした場合にｃｏｓＮθの振動モードでその振動体１１の一次振動を励起する互いに円周方向に（３６０／Ｎ）°離れた角度に配置された駆動電極１３aと、駆動電極１３ａから時計回り又は反時計回りに（９０／Ｎ）°離れた角度に配置され、且つその振動体１１に角速度が与えられたときに発生する二次振動を検出する第１検出電極１３ｂと、第１検出電極１３ｂから（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置され且つ二次振動を検出する第２検出電極１３ｄとを含み、各電極１３ａは、その振動体１１の外周縁からその外周縁の近傍に至るまでの領域及び／又は内周縁から内周縁の近傍に至るまでの領域に配置される。
摘要翻译：振动陀螺仪包括具有均匀平面的环形振动体（11），柔性地支撑环形振动体（11）并具有固定端的腿部（15）和多个电极（13a-13d ）和固定电位电极（16），每个固定电极（16）在其平面上形成有压电薄膜，该压电薄膜夹在上层金属膜和下层金属膜之间的厚度方向上。当N为2以上的自然数时，多个电极（13a-13d）包括用于以cosNα的振动模式激发振动体（11）的主振动的驱动电极（13a）（90 / N）°的距离（360 / N）°的第一检测电极（13b），用于检测在对振动体（11）施加角速度时产生的二次振动，从驱动电极（13a）顺时针或逆时针方向分开，以及与第一检测电极（13b）分开设置（180 / N）°的第二检测电极（13d），用于检测二次振动。每个电极（13a）设置在从振动体（11）的外周边缘到外周边缘附近的区域和/或从其内周边缘到内周边附近的区域边缘。

8. 发明申请

WO2009061747A1 INTEGRATED MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) VIBRATING MASS Z-AXIS RATE SENSOR 审中-公开
标题翻译：集成微电子系统（MEMS）振动质量Z轴传感器
公开(公告)号：WO2009061747A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：PCT/US2008/082378
申请日：2008-11-04
申请人： INVENSENSE INC. , NASIRI, Steven , SEEGER, Joe
发明人： NASIRI, Steven , SEEGER, Joe
IPC分类号： G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5719
摘要： A sensor that measures angular velocity about an axis that is normal to a sensing plane of the sensor. The sensor comprises a sensing subassembly that includes a planar frame parallel to the sensing plane, a first proof mass disposed in the sensing plane, a second proof mass disposed in the sensing plane laterally to the first proof mass, and a linkage within the frame and connected to the frame. The linkage is connected to the first proof mass and to the second proof mass. The sensor further includes actuator for driving the first proof mass and the second proof mass into oscillation along a drive axis in the sensing plane. The sensor further includes a first transducer to sense motion of the frame in response to a Coriolis force acting on the oscillating first proof mass and the oscillating second proof mass.
摘要翻译：测量与传感器感应平面垂直的轴的角速度的传感器。传感器包括感测子组件，其包括平行于感测平面的平面框架，设置在感测平面中的第一检测质量块，设置在感测平面中的第二检测质量体横向于第一检测质量块，以及框架内的连杆连接到框架。连杆连接到第一个检验质量块和第二个检测质量块。该传感器还包括用于驱动第一检测质量块和第二检测质量块沿传感平面中驱动轴的振荡的致动器。传感器还包括响应于作用在振荡的第一检测质量块和振荡的第二检测质量块上的科里奥利力来感测框架运动的第一换能器。

9. 发明申请

WO2009001815A1 力学量センサおよびその製造方法审中-公开
标题翻译：机械数量传感器及其制造方法
公开(公告)号：WO2009001815A1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：PCT/JP2008/061444
申请日：2008-06-24
申请人：大日本印刷株式会社 , 森井明雄
发明人：森井明雄
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04 , H01L29/84
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0008 , B81B2201/0242 , B81C2203/031 , G01C19/56 , G01C25/00 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
摘要：　力学量センサが、開口を有する固定部と、この開口内に配置され、かつ前記固定部に対して変位する変位部と、前記固定部と前記変位部とを接続する接続部とを有する第１の構造体と、前記変位部に接合される重量部と、前記固定部に接合される台座とを有し、前記第１の構造体に積層配置される第２の構造体と、前記重量部との対向面に配置される駆動用電極及び検出用電極を有し、前記台座に接続されて前記第２の構造体に積層配置される基体とを具備し、前記第２の構造体が、前記基体と対向する前記重量部の面上であって、前記駆動用電極及び検出用電極の配置されていない領域と対応する領域に配置され、前記駆動用電極及び検出用電極よりも厚さが大きい突起部を有する。
摘要翻译：机械量传感器包括具有开口的固定部分的第一结构，设置在所述开口中并可相对于所述固定部分移动的可移动部分，以及用于连接所述固定部分和所述可移动部分的连接部分，连接到可移动部分的重物部分和连接到固定部分的基座，并且堆叠在第一结构上，以及在与重物部分相对的表面上连接有基座的具有驱动电极和感测电极的基座，并堆叠在第二结构上。第二结构具有突出部，其设置在与驱动感测电极不配置并且具有比驱动感测电极的厚度大的厚度的与底座相对的配重部的表面的面积对应的区域。

10. 发明申请

WO2008149821A1 センサ装置审中-公开
标题翻译：传感器设备
公开(公告)号：WO2008149821A1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：PCT/JP2008/060080
申请日：2008-05-30
申请人：京セラ株式会社 , 勝田宏 , 山地徳一
发明人：勝田宏 , 山地徳一
IPC分类号： G01P15/08 , G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/02 , G01P15/09 , G01P15/12 , G01P15/125 , G01P15/13 , H01L41/08
CPC分类号： G01P15/123 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/125
摘要：　本発明は、小型で低背なセンサ装置に関する。基体１と、少なくとも一部が基体１と間隔を空けた状態で配置され、基体１に対して変位可能な乗載体３と、前記乗載体に取り付けられる重り部２と、乗載体３の変位に基づく電気信号を発生させるための変位検出部６と、を備え、重り部２は、変位検出部６からの電気信号を処理するＩＣ４を含むセンサ装置である。重り部２とＩＣ４が一体となっているため、従来のセンサ装置に比べ小型で低背なセンサ装置を提供することができる。
摘要翻译：提供了一种小而低的传感器装置。传感器装置设置有基体（1）; 安装体（3），其通过至少部分地与所述基体（1）间隔开并且可相对于所述基体（1）移位; 附接到所述安装体的重物部分（2）; 以及基于所述安装体（3）的位移产生电信号的位移检测部（6）。重量部（2）是传感器装置，包括用于处理从位错检测部（6）发送的电信号的IC（4）。由于重量部分（2）和IC（4）整体布置，因此传感器装置比传统传感器装置的高度更小和更低。

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