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    • 5. 发明申请
    • 炭化珪素半導体装置
    • WO2023062883A1
    • 2023-04-20
    • PCT/JP2022/025185
    • 2022-06-23
    • 住友電気工業株式会社
    • 内田 光亮
    • H01L29/78H01L21/336H01L29/06H01L29/12
    • 炭化珪素半導体装置は、炭化珪素基板と、ゲートパッド及びソースパッドと、第1パッシベーション膜と、前記第1パッシベーション膜上の第2パッシベーション膜と、を有し、前記第1パッシベーション膜は、前記ゲートパッドと前記ソースパッドとの間の第1絶縁分離部と、前記ゲートパッドを露出し、第1縁を備えた第1開口と、前記ソースパッドを露出し、第2縁を備えた第2開口と、を有し、更に、前記第1開口の内側に形成された第1めっき膜と、前記第2開口の内側に形成された第2めっき膜と、を有し、前記第2パッシベーション膜は、前記第1めっき膜及び前記第2めっき膜の上にも形成されており、前記第1絶縁分離部を覆う第2絶縁分離部と、前記第1めっき膜を露出し、第3縁を備えた第3開口と、前記第2めっき膜を露出し、第4縁を備えた第4開口と、を有し、平面視で、前記第1縁が前記第3縁の外側にあり、前記第2縁が前記第4縁の外側にある。