Löffelbagger mit einem auf einem Fahrwerk unbegrenzt schwenkbaren Oberwagen und einem am Oberwagen vorn seitlich schwenkbaren Anbauhalter (6) für einen Ausleger (8). Die Schwenkachse (5) befindet sich in mindestens einem der halben üblichen Löffelbreite entsprechenden senkrechten Abstand vor derVorderkante (22) der Fahrerkabine, so daß bei querverschwenktem Ausleger mit angefaltetem Löffelstiel (10) und Grablöffel (11) diese Baugruppe innerhalb der Oberwagenkontur verbleibt. Von der Fahrerkabine aus besteht unbehinderte Sicht nach vorn und auf den Boden durch die angefaltete Auslegerbaugruppe hindurch. In einer Hauptgrabstellung des Oberwagens befindet sich die zweite Schwenkachse (5) im Bereich zwischen Fahrspur und Fahrwerklängsmittellinie L. Die Seitenwände des Oberwagens ragen weder in der Fahrstellung noch in der Haupgrabstellung seitlich über das Fahrgestell hinaus.

Die Erfindung betrifft ein Arbeitsfahrzeug, mit einem Rahmen (12), einer Bewegungseinheit (22;64,66), einem Werkzeug (24;68), einem Werkzeugaktuator (38;96), einem Winkelgeschwindigkeitssensor (54;112) und einer Steuereinheit (50). Die Bewegungseinheit (22;64,66) weist ein erstes Ende (26;76) und ein zweites Ende (30;86) auf, wobei das erste Ende (26;76) an dem Rahmen (12) angebracht ist. Das Werkzeug (24;68) ist um eine Achse (32;88) drehbar/schwenkbar an dem zweiten Ende (30;86) der Bewegungseinheit (22;94,66) angebracht und zur Verrichtung einer Arbeitsfunktion vorgesehen. Der Werkzeugaktuator (38;96) ist an dem Werkzeug (24;68) angebracht und ausgebildet, das Werkzeug (24;68) als Reaktion auf ein Werkzeugsteuersignal (52;110) um die Achse (32;88) kontrollierbar zu bewegen. Der Winkelgeschwindigkeitssensor (54;112) ist dem Werkzeug (24;68) zugeordnet und ausgebildet, die Winkelgeschwindigkeit des Werkzeugs (24;68) zu detektieren und kontinuierlich ein Winkelgeschwindigkeitssignal (56;114) zu generieren. Die Steuereinheit (50) weist rechnerische, Speicher -und/oder Echtzeitfähigkeiten auf und steht mit dem Werkzeugaktuator (38;69) und dem Winkelgeschwindigkeitssensor (54;112) in Verbindung. Die Steuereinheit (50) ist ausgebildet, ein Werkzeugsteuersignal (52;110) zu generieren, um kontinuierlich eine vorgebbare bzw. gewünschte Werkzeugwinkelgeschwindigkeit als Reaktion auf das Winkelgeschwindigkeitssignal (56;114) zu erzielen.

The invention provides a microfabrication process which may be used to manufacture a MEMS device. The process comprises depositing one or a stack of layers on a base layer, said one layer or an uppermost layer in said stack of layers being a sacrificial layer; patterning said one or a stack of layers to provide at least one aperture therethrough through which said base layer is exposed; depositing a photosensitive layer over said one or a stack of layers; and passing light through said at least one aperture to expose said photosensitive layer.

The invention provides a microfabrication process which may be used to manufacture a MEMS device. The process comprises depositing one or a stack of layers on a base layer, said one layer or an uppermost layer in said stack of layers being a sacrificial layer; patterning said one or a stack of layers to provide at least one aperture therethrough through which said base layer is exposed; depositing a photosensitive layer over said one or a stack of layers; and passing light through said at least one aperture to expose said photosensitive layer.