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序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
1 一种用于测量双极电容式真空计内压的测量电路 CN201910711945.7 2019-08-02 CN110319971B 2024-04-23 付继辉
发明涉及真空计计量领域,尤其涉及一种用于测量双极电容式真空计内压的测量电路,其包括壳体、膜片、固定基板和固定电极;膜片固定安装在壳体内,膜片将壳体内分割成两部分,一侧为真空腔,另一侧为检测腔;固定基板固定安装在真空腔内,固定基板上安装有固定电极,当膜片受力发生形变时,固定电极上的电容会发生变化,通过检测电容变化即可得到检测腔内的压力大小;固定电极包括环形电极和圆形电极,圆形电极位于环形电极内,且圆形电极和环形电极之间有间隔,将固定电极分为环形电极和圆形电极,能够有效地提高真空计的精度;测量电路对环形电极和圆形电极上的电容变化进行检测和处理后输出一个正弦波,测量正弦波的大小即可得到压力的大小。
2 一种复合式MEMS真空规及其制作方法 CN202211662335.0 2022-12-24 CN116007831B 2024-04-16 李刚; 李得天; 张虎忠; 郭美如; 任正宜; 葛金国; 赵澜; 陈会颖
申请涉及真空计量技术领域,具体而言,涉及一种复合式MEMS真空规及其制作方法,所示真空规包括MEMS电容薄膜真空规和MEMS皮拉尼真空规,其中:电容薄膜真空规和皮拉尼真空规设置在同一基底上;电容薄膜真空规包括真空参考腔和电容间隙,真空参考腔与电容间隙之间的硅基底上设置有感压薄膜,电容间隙内设置有固定电极;皮拉尼真空规包括承载膜、压敏电阻引出电极以及参考电阻,承载膜设置在硅基底上,下方设置有腔体,压敏电阻设置在承载膜上,引出电极和参考电阻均设置在硅基底上,压敏电阻和参考电阻均与引出电极连接。本申请结合MEMS电容薄膜真空规和MEMS皮拉尼真空规,采用一个传感器就可以同时精确测量待测气体的真空压和待测气体的种类。
3 一种基于太赫兹波的真空度检测方法及固定装置 CN202311821333.6 2023-12-27 CN117782417A 2024-03-29 苏毅; 高磊; 周柯; 赵坚; 芦宇峰; 覃剑; 黄炜; 彭彦军; 李宝锋; 潘绍明
发明涉及检测技术领域,特别是一种基于太赫兹波的真空度检测方法及固定装置,包括检测组件,包括腔体、抽真空系统、活动法兰、太赫兹波发生器、太赫兹波接收器、真空计、金属片和陶瓷片,所述金属片和陶瓷片固定设置在腔体的内壁。本发明的有益效果为在基于太赫兹波的真空度检测方法中,对不同材质的金属片和不同厚度陶瓷片分别在不同气压下对真空度进行检测并将数据制成表格,不仅检测方式严格而全面,并在完备的表格基础上,在后续检测完成时可直接对照表格来确定真空灭弧室的真空度,大大提高了真空度检测的效率,同时利用太赫兹波的检测形式不需要对真空灭弧室进行拆卸,进而避免了对灭弧室的损伤。
4 一种确定陶瓷过滤机的工作状态的方法和装置 CN202110872514.6 2021-07-30 CN113670790B 2024-03-22 彭早生; 卢智峰; 杨成; 张杏移; 李裕安; 廖志祥
申请适用于矿物开采技术领域,提供了一种确定陶瓷过滤机的工作状态的方法和装置,所述方法包括:监测陶瓷过滤机的实时真空度数据;采用预先训练得到的故障分类模型和所述实时真空度数据,确定所述陶瓷过滤机的工作状态,所述工作状态包括正常状态或故障状态,所述正常状态包括正常真空度状态或正常清洗状态,所述故障状态包括无真空状态或低真空度状态;其中,所述故障分类模型通过对所述陶瓷过滤机的多个历史真空度数据及所述多个历史真空度数据对应的陶瓷过滤机的工作状态进行有监督训练得到。通过上述方法,能够采用真空度数据确定陶瓷过滤机的工作状态。
5 一种提高薄膜真空计压包排气封装效率的方法 CN202311273056.X 2023-09-28 CN117382997A 2024-01-12 谭立发; 乔素敏; 乔飞; 李江涛; 夏金保; 黄海琴; 张可; 谭筠乔
发明公开了一种提高薄膜真空计压包排气封装效率的方法,是在真空炉的同一个炉腔内,将压力包与炉腔一起抽真空,并在真空状态下的该炉腔内对压力包执行剪尾封装。进一步地,在该炉腔的腔壁设置外接抽气装置的排气孔,在炉腔内设置加热部件,并将执行剪尾封装的剪尾装置的夹钳机构的执行机构和为剪尾封装供料的供料装置的执行机构设在炉腔内,而将夹钳机构和供料装置的驱动机构设在炉腔外。其优点在于:通过减少工件在炉腔之间传送的流程环节,以及使炉腔内一次放入更多和一次加工更多工件的量而大幅提高了加工效率;将真空炉内炉腔数量减少为一个,大大简化了设备的机构设置,显著降低了设备的制作成本,也便于设备的运行和后期的维护。
6 一种真空检测仪 CN202311245785.4 2023-09-25 CN117367766A 2024-01-09 韩智; 韩桦; 贺冰; 任建超; 赵永岗; 侯月竹; 汪洋; 白云志; 王国强; 郭晓峰; 张钢; 耿燕龙
发明公开了一种真空检测仪,涉及真空气门检测技术领域,包括:工作台,气门真空检测器,第一固定板,第二固定板,气门真空检测器连接于工作台上以对真空气门进行检测;第一固定板滑动连接于工作台上;第二固定板滑动连接于工作台上,第一固定板与第二固定板能够相互靠近或者远离并保持移动后的位置以将真空气门进行固定或松开,保证真空气门检测时的稳定性,有效提高真空气门检测的准确性。
7 一种真空灭弧室的真空度检测装置 CN202311160273.8 2023-09-11 CN116907824B 2023-12-01 赵菊芬; 叶云强; 罗鑫荣
申请涉及检测装置技术领域,尤其是涉及一种真空灭弧室的真空度检测装置,包括机架、设置于机架的工作台、滑移连接于机架且位于工作台一侧的清洁架以及滑移连接于机架且位于工作台另一侧的检测架,工作台转动连接有旋转套座,工作台设置有位于旋转套座上方以供真空灭弧室滑移插设的磁套筒以及驱动旋转套座转动的旋转机构,旋转套座同轴开设有供真空灭弧室的外端面抵接的定位槽,定位槽的底壁开设有通孔;清洁架设置有位于旋转套座下方且沿竖向滑移的第二清洁件以及沿竖向滑移的第一清洁件;检测架设置有用于抵接真空灭弧室的动导电杆的动端电极以及用于抵接真空灭弧室的静导电杆的静端电极。本申请具有提高真空度检测效率的效果。
8 一种用于吸附剂吸附等容线测试的装置及方法 CN202310814427.4 2023-07-04 CN116818597A 2023-09-29 陆景鹏; 沈波; 梁幸伟
发明公开了一种用于吸附剂吸附等容线测试的装置,属于气体处理技术领域,包括真空室、真空、吸附质储罐以及控制器,真空室的侧壁上安装有温度传感器和真空规管,真空室配置有加热器;真空泵的吸入端通过真空管与真空室相连接,真空管上安装有真空和真空度调节阀;吸附质储罐通过输送管与输送真空室相连接,输送管上安装有截止阀;控制器与温度传感器、真空规管、加热器、真空阀、真空度调节阀以及截止阀电性连接。本发明结构简单且方便操作,能够高效地获得真空室在不同温度数值下对应的真空度数值,从而基于相对应的温度和真空度数值对即可在坐标系上获得一系列坐标点,进而基于各坐标点得到吸附剂吸附等容线。
9 一种差压传感器的制备工艺 CN202310229179.7 2023-03-10 CN116812857A 2023-09-29 冯勇建
发明提供一种差压传感器的制备工艺,该差压传感器包括带有一型腔的外壳以及位于外壳内的芯片组与连接件,其中,所述连接件包括设置于外侧的第一环形圈、设置于内侧的第二环形圈,所述第一环形圈与第二环形圈之间形成环型通道,该环形通道的平横截面积沿着远离芯片的方向逐渐增大;所述制备工艺包括将环树脂注入回型通道内将芯片组的内部外部气压隔开;本发明的制备工艺通过模的制备,通过工艺参数的优化设置,实现高性能高灵敏度的差压传感器;同时通过封装的结构设计完成芯片的两个腔体的绝对隔离。
10 一种MEMS阵列式电容薄膜真空计及其制备方法 CN202310744575.3 2023-06-25 CN116793567A 2023-09-22 陶继方; 陈公贤; 林玉哲
发明公开了一种MEMS阵列式电容薄膜真空计及其制备方法,电容薄膜真空计包括基板和位于基板上的多个MEMS电容薄膜真空计单元;所述MEMS电容薄膜真空计单元包括由下而上依次设置的衬底、支撑层、硅薄膜层、绝缘层、电极层;所述支撑层中部通过刻蚀形成真空腔;所述电极层位于真空腔上方,所述硅衬底采用p型硅;所述绝缘层上设置有电极引出焊盘,所述硅衬底上设置有硅衬底引出焊盘,多个MEMS电容薄膜真空计单元的电极层通过引出线并联到电极引出焊盘,所述硅衬底由硅衬底引出焊盘引出。本发明所公开的真空计可以整倍提高真空计的初始电容和灵敏度,有效拓宽MEMS电容真空计的量程。
11 超软土自动化监测系统及方法 CN202311033662.4 2023-08-17 CN116753905A 2023-09-15 谢尧; 王婧; 房营光; 谷任国; 胡君龙; 王德咏; 刘志军; 邓凯芳
发明公开了一种超软土自动化监测系统及方法,其中超软土自动化监测系统包括沉降监测系统、真空检测系统和计算机终端;沉降监测系统包括设置在沉降区域的多个刻度插杆、至少一个监测机构和准点基站,所述监测机构包括智能监控器、固定插杆和GPS定位芯片,所述智能监控器安装于固定插杆的顶部以监测刻度插杆的变化量,所述GPS定位芯片安装于固定插杆的上端;所述GPS定位芯片与水准点基站连接,所述智能监控器和水准点基站均与计算机终端连接;所述真空检测系统包括采集仪和相邻设置在沉降区域的真空度传感器和孔隙水压计,所述真空度传感器和孔隙水压力计均通过采集仪与计算机终端连接。本发明的检测结果准备,为工作人员提供可靠的参考。
12 一种电厂凝汽器真空识别计算检测装置及方法 CN202210480818.2 2022-05-05 CN114812925B 2023-08-22 武兴卓; 孙同敏; 任杰; 贺延枫; 赵俊杰; 杨如意; 沈跃军; 谢国峰; 张二祥; 王献文; 张越; 刘琳鸽; 赵璐; 邵戊辰; 赵伟; 张东明
发明涉及电厂辅助测量仪器领域,尤其涉及一种电厂凝汽器真空识别计算检测装置及方法。要解决的技术问题:凝汽器内蒸汽紊流对测量造成影响,测量装置的高温高湿环境和产生压波动对装置测量精度造成影响。本发明提供了一种电厂凝汽器真空识别计算检测装置及方法,包括有压力传递壳体,压力传递壳体内下部设置有压力缓冲传递组件,压力传递壳体内上部设置有压力转换传递组件。本发明通过第一递压腔防止蒸汽流紊乱对压力测量造成影响,通过压力缓冲传递组件感应配合凝汽器与第一递压腔内压力的传递,通过压力转换传递组件感应第二递压腔内压力变化,将第二递压腔内气压变化量通过液压变化传递。
13 一种保护真空规管内腔的装置 CN202310599736.4 2023-05-25 CN116492772A 2023-07-28 林红; 曾玉林; 杨上义
发明提供了一种保护真空规管内腔的装置,属于真空规管防尘技术领域,解决了现有真空规管使用滤网的防尘效果不佳导致真空规管使用寿命缩短以及真空度的测量精度降低的问题。其包括规管管壳以及设置在规管管壳通道中的多孔滤芯,所述多孔滤芯的外侧套设有外壳,外壳上下两端设置有开口,多孔滤芯的厚度为3mm。在规管管壳内设置多孔滤芯对连通规管与腔室的通道进行隔离过滤,多孔滤芯由于其内部为错综复杂的细小孔隙,粉尘进入孔隙后会附着在孔隙内,相较于使用滤网,可大大提高过滤效果,避免粉尘附着在真空规管中的灯丝表面影响灯丝的散热以及真空度的测量精度,从而增加真空规管的使用寿命,保证真空度的测量精度。
14 一种双金属膜片电容式复合真空 CN202310329922.6 2023-03-30 CN116412956A 2023-07-11 廉五州; 常飞; 康永顺; 常晓磊; 杜炳纯
发明公开了一种双金属膜片电容式复合真空计,包括主壳体、第一内壳体和第二内壳体,所述主壳体的底部固定连接有真空接管,所述第一内壳体和第二内壳体均嵌设于主壳体的内部,所述第一内壳体、第二内壳体与主壳体的内壁之间分别设有第一腔体和第二腔体;所述第一内壳体的顶部固定插设有与第一腔体连通的第一金属管,所述第一腔体内固定连接有第一膜片,所述第一膜片的顶部贴合有第一电极,所述第一电极远离第一膜片的一侧固定连接有第一电极管。本发明利用纯学性能原理,有两个金属膜片电容传感器芯体的配合下实现全量程、中高真空度、高精度的测量,产品是采用金属膜片电容原理,具有精度高,反应快的特点。
15 一种电容式真空 CN202111532135.9 2021-12-14 CN116296051A 2023-06-23 曹文静; 林立男; 刘旭强; 张琳琳; 陶硕; 廖兴才
发明提供一种电容式真空规,涉及真空规技术领域,电容式真空规包括外壳体、内壳体、差分电路、上盖、下规体和石英晶体隔膜,石英晶体隔膜设置于第二空腔内并将第二空腔分隔为压参考腔和测试压力腔,石英晶体隔膜的至少一侧设置有导电层,石英晶体隔膜的平面度公差不大于5mm;压力参考腔内部真空,且内部设置有电容极。通过使用平整度更高且封接过程中不易变形的石英晶体材质作为隔膜,从而确保真空规测量结果的准确性;与同等厚度的陶瓷薄膜和金属薄膜相比,由于石英晶体隔膜具有更高的硬度,即使经过长时间的使用,石英晶体隔膜恢复形变之后依旧能保持很高的平整度,且不易变形,从而使得电容式真空规具有很好的稳定性
16 一种节能灯自动检测方法及检测装置 CN202310129149.9 2023-02-17 CN116237275A 2023-06-09 吴锦超; 沈建位; 应力恒; 齐子峰; 俞俊杰; 朱致韬
发明公开了一种节能灯自动检测方法及检测装置,具体涉及照明灯具技术领域,通过检测单元中三极管与线圈构成的高频振荡电路,线圈产生高压感应电释放高压交流信号至待测节能灯,根据照度传感器检测待测节能灯亮度结果,判断待测节能灯亮度是否合格,通过线圈产生的高压感应电、二极管与电容组成的电路放大高压输出端口,根据电流互感器检测待测节能灯放电强度结果,判断待测节能灯真空度是否合格,再根据不同检测结果将待测节能灯传送至不同区域内,使待测节能灯在不通电的情况下自动完成亮度与真空度质量检测,使操作更便捷,且更安全,提高了检测效率。
17 一种空调真空度检测方法、系统、设备、存储介质 CN202211737359.8 2022-12-31 CN116007832A 2023-04-25 吴兆军; 江纶锐; 李秀皇; 赵天恒; 徐培峰; 李欢欢
申请提供一种空调真空度检测方法、系统、设备、存储介质,本方法包括以下步骤:步骤S1、在接收到检测指令后,采集空调外机检测区域内的真空数据;步骤S2、将所述真空数据与该检测区域的预设范围进行比较,判断该检测区域内的真空数据是否处于预设范围内;当所所述真空数据不处于预设范围内时,则执行步骤S3;当所述真空数据处于预设范围内时,执行步骤S4;步骤S3、上传所述真空数据,并进行真空度异常预警;步骤S4、重复执行步骤S1,采集空调外机检测区域内的真空数据,直至真空数据满足预设要求,上传所述真空数据至物联网平台。本申请快速获取到该空调外机的真空数据,提高空调外机的真空度质量检测效率及准确度。
18 一种真空规电容结构及真空规 CN202211505072.2 2022-11-29 CN115540916B 2023-04-07 曹文静; 林立男; 姜浩延; 张琳琳; 闫冉; 陶硕; 刘旭强; 潘雨墨; 孙润吉
发明涉及电容式测量计的技术领域,提供一种真空规电容结构及真空规,包括:外壳,具有内腔;动极板,为薄膜结构,并将内腔分隔为测试腔和参考腔;固定极板,设置于参考腔内,固定极板朝向动极板的一面具有第一电极,第一电极与动极板组成可变电容;参考极板,设置于固定极板背离动极板的一侧,并且朝向参考极板的一面具有第二电极,第二电极与固定极板组成参考电容,可变电容的初始电容值与参考电容值相等。通过设置参考极板,以形成参考电容,以消减翘曲度对测试结果的影响,进而提高测试精度;同时,可以测得更大的电容值,以提高测试的精度;此外,通过参考极板作为参考,以减小动极板变形所带来的影响,保证期间长时间的使用精度。
19 真空断路器真空度试验装置、方法、电子装置、介质及设备 CN202211392823.4 2022-11-08 CN115824491A 2023-03-21 郜延伟; 邵宗卫; 刘兴伟; 古志伟; 张锁仁; 赵晓禹; 刘永祥; 张卫康; 徐超利; 赵法
发明公开了一种真空断路器真空度试验装置、方法、电子装置、介质及设备,属于电子元器件性能检验技术领域。该试验装置中,断路器内部设置有真空灭弧室,断路器分别具有合闸和分闸两种状态;断路器通过一个接线端子与第一绝缘子的一端连接,断路器通过另一个接线端子与第四绝缘子的一端连接,第二绝缘子的一端与第三绝缘子的一端连接,电流互感器设置于第一绝缘子中,电流互感器的一端连接于控制装置。该方法包括:获取待测试真空断路器处于合闸状态下和分闸状态下的电流和/或断口电压;根据其从合闸到分闸过程中的变化,判断真空度。该电子装置、介质及设备能够用于实现该方法。其能够判断待测试真空断路器的真空度,操作简单、便捷。
20 一种用于航天器在轨真空度检测的微型宽量程真空计 CN202211411391.7 2022-11-11 CN115752884A 2023-03-07 葛丽丽; 史纪军; 窦仁超; 彭毓川; 李昊; 黄首清; 唐振宇; 杨勇; 刘庆海; 李芳勇; 王浩; 崔寓淏; 郭悦; 姚泽民
发明公开了一种用于航天器在轨真空度检测的微型宽量程真空计,包括真空压传感器及电桥采集模信号处理及输出控制模块、电源供配电模块、真空计校准模块;所述真空压力传感器及电桥采集模块由高真空传感器、低真空传感器以及电桥采集模块组成,所述电桥采集模块安装在真空传感器的内部,所述电桥采集模块包括采样电桥、电桥滤波,电桥采集模块采用惠斯通电桥,精确测量热敏电阻的电阻值,提高真空度的测量精度。本发明中,利用高真空和低真空测量输出信号自动切换电路,实现了宽量程真空传感器设计,可响应10‑5mbar‑1mbar(10‑3pa‑102pa)的真空度范围,实现了自动测量效果。