[0001] 本发明涉及高架搬送车。

[0002] 在专利文献1中公开一种无人搬运车，具备：台车、经由防振用的阻尼器载置在台车上的无人搬运车主体、设置于无人搬运车主体的移载装置。在专利文献1的无人搬运车中，能够减少在行驶中向物品传递的振动。

[0003] 专利文献1：日本特开2001‑298065号公报

[0004] 然而，在保持物品(被搬运物)的主体部悬垂支承于行驶部的结构的高架搬送车中，如专利文献1那样，无法成为经由防振用的阻尼器将主体部载置在行驶部上的结构。

[0005] 因此，本发明的一个技术方案的目的在于，提供一种高架搬送车，采用保持被搬运物的主体部悬垂支承于行驶部的结构，能够抑制来自行驶部的振动传播到被搬运物。

[0006] 在本发明的一个技术方案的高架搬送车中，保持被搬运物的主体部悬垂支承于行驶部，其中，该高架搬送车具备：基座部，其悬垂于行驶部；水平轴，其与基座部一体地设置，并且在水平方向上延伸；以及支承部，其设置于主体部，并且经由橡胶衬套支承水平轴。

[0007] 在该结构的高架搬送车中，与从行驶部悬垂的基座部一体地构成的水平轴经由橡胶衬套支承于支承部。即，将行驶部与主体部经由橡胶衬套连结。由此，从行驶部传递给基座部的振动由橡胶衬套吸收。其结果为，即使是保持被搬运物的主体部悬垂支承于行驶部的结构的高架搬送车，也能够抑制来自行驶部的振动传播到被搬运物。

[0008] 在本发明的一个技术方案的高架搬送车中，也可以是，水平轴被配置为在与行驶部的行驶方向以及铅垂方向双方正交的方向上延伸。在该结构中，在允许行驶部相对于主体部的角度变化时，仅在行驶部的行驶方向上允许角度变化，因此能够将在被搬运物向与行驶方向正交的左右方向(横向)的移载时主体部倾斜的情况抑制在最小限度。

[0009] 在本发明的一个技术方案的高架搬送车中，也可以是，设置有多个水平轴。在该结构中，能够更稳定地维持行驶部与主体部的相对位置关系(主体部相对于行驶部的姿势)。

[0010] 在本发明的一个技术方案的高架搬送车中，也可以是，仅设置有一个水平轴，还具备一对阻尼器，该一对阻尼器构成为在行驶部的行驶方向上，夹着水平轴地设置于基座部，并且与主体部接触。在该结构中，不仅能够抑制振动的传播，还能够使振动提前衰减。而且，在该结构中，能够更稳定地维持主体部与行驶部的相对位置关系。

[0011] 在本发明的一个技术方案的高架搬送车中，也可以是，基座部经由从行驶部朝向铅垂方向下方延伸的一对悬垂部件悬垂于行驶部，基座部将悬垂部件支承为能够绕将悬垂部件的延伸方向作为转动轴的轴转动。在该结构中，能够减少在悬垂部件中在相对于行驶部的安装部分与相对于基座部的安装部分之间产生扭转应力。

[0012] 根据本发明，即使是保持被搬运物的主体部悬垂支承于行驶部的结构的高架搬送车，也能够抑制来自行驶部的振动传播到被搬运物。附图说明

[0013] 图1是从侧面观察第一实施方式的高架搬送车的侧视图。

[0014] 图2是从斜上方观察图1的高架搬送车的主体框架的立体图。

[0015] 图3是从斜上方观察防振单元的立体图。

[0016] 图4是从侧面观察防振单元的侧视图。

[0017] 图5是从图3的V‑V线观察时的剖视图。

[0018] 图6是沿着前后方向切断防振单元的剖视图。

[0019] 图7是从斜上方观察第二实施方式的防振单元的立体图。

[0020] 图8是从侧面观察第二实施方式的防振单元的侧视图。

[0021] 图9是从图7的IX‑IX线观察时的剖视图。

[0022] 图10是沿着前后方向切断第二实施方式的防振单元的剖视图。

[0023] 图11是表示图10的阻尼器的内部结构的剖视立体图。

[0024] 以下，参照附图对一个实施方式的高架搬送车1进行说明。在附图的说明中，对同一要素标注同一附图标记，省略重复的说明。

[0025] (第一实施方式)

[0026] 对第一实施方式的高架搬送车1进行说明。图1所示的高架搬送车1沿着设置于无尘室的顶棚等、比地面高的位置的行驶轨道R行驶。高架搬送车1例如在保管设备与规定的装载口之间搬运被搬运物90。在被搬运物90的例子中，包含储存多个半导体晶片的FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶片盒)以及储存玻璃基板的中间掩膜盒等这样的容器、以及一般部件等。上述的容器具有保持于高架搬送车1的凸缘98。

[0027] 在以下的说明中，为了便于说明，将图1中的左右方向(X轴方向)设为高架搬送车1的前后方向(第二方向)。将图1中的上下方向(Z轴方向)设为高架搬送车1的上下方向(铅垂方向)方向。将图1中的进深方向(Y轴方向)设为高架搬送车1的左右方向或者宽度方向(第一方向)。X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向相互正交。

[0028] 如图1以及图2所示，高架搬送车1具备行驶部2、主体部3、升降部10。行驶部2使高架搬送车1沿着行驶轨道R移动。行驶部2配置在行驶轨道R内。

[0029] 行驶部2具有前方行驶体2A、后方行驶体2B。设置于前方行驶体2A的连结部2D与设置于后方行驶体2B的连结部2D通过连结轴2E而连结为能够转动。在前方行驶体2A以及后方行驶体2B各自设置有行驶辊2C、2C、行驶驱动部2M、2M。第一实施方式的行驶驱动部2M是通过在与配置于行驶轨道R的上表面的磁板之间产生的磁力，而使高架搬送车1加速或者制动的LDM(Linear DC Motor：直线电机)。

[0030] 主体部3悬垂支承于行驶部2。更详细地，通过将从行驶部2向铅垂方向下方延伸的一对悬垂部件2F、2F与设置于主体部3的主体框架4的防振单元20连接，从而主体部3悬垂支承于行驶部2。此外，在后段对防振单元20的详细情况进行详述。主体部3具有主体框架4、水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7、升降部10、一对罩8、8、控制器80。

[0031] 水平驱动部5固定于主体框架4的下部。水平驱动部5使旋转驱动部6、升降驱动部7以及升降部10在水平面内向与行驶轨道R的延伸方向正交的方向(左右方向)移动。旋转驱动部6使升降驱动部7以及升降部10在水平面内旋转。升降驱动部7通过四条带9的卷取以及放出而使升降部10升降。此外，升降驱动部7中的带9也可以使用线材以及绳索等适当的吊持部件。

[0032] 升降部10被设置为能够通过升降驱动部7升降，作为高架搬送车1中的升降台发挥功能。升降部10具有把持被搬运物90的保持装置11，并且相对于作为主体部的水平驱动部5、旋转驱动部6以及升降驱动部7而通过带9升降。保持装置11保持被搬运物90。保持装置11具备：形成为L字状的一对臂12、12、固定于各臂12、12的爪部13、13、以及使一对臂12、12开闭的开闭机构15。

[0033] 开闭机构15使一对臂12、12在相互接近的方向以及相互分离的方向上移动。一对臂12、12通过开闭机构15的动作而在前后方向上进退。由此，固定于臂12、12的一对爪部13、13开闭。

[0034] 在第一实施方式中，在一对爪部13、13处于打开状态时，调整保持装置11(升降部10)的高度位置以使爪部13的保持面比凸缘98的下表面的高度靠下方。而且，通过在该状态下使一对爪部13、13成为关闭状态，从而爪部13、13的保持面向凸缘98的下表面的下方进出，在该状态下使升降部10上升，由此由一对爪部13、13保持(把持)凸缘98，支承被搬运物
90。

[0035] 一对罩8、8设置在行驶方向的前后，以覆盖水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7、升降部10以及保持装置11。一对罩8、8在升降部10上升到上升端的状态下在保持装置11的下方形成收纳被搬运物90的空间。一对罩8、8各自具有落下防止机构8A和摆动抑制机构8B。落下防止机构8A防止在升降部10上升到上升端的状态下由保持装置11保持的被搬运物90的落下。摆动抑制机构8B抑制行驶时的由保持装置11保持的被搬运物90在高架搬送车
1的前后方向(行驶方向)以及左右方向上的摆动。

[0036] 控制器80是由CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)以及RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)等构成的电子控制单元。控制器80控制高架搬送车1中的各种动作。具体而言，控制器80控制行驶部2、水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7。控制器80例如能够构成为将储存于ROM的程序加载到RAM上而由CPU执行的软件。控制器80也可以构成为基于电子电路等的硬件。控制器80利用行驶轨道R的供电部(供电线或者馈线)等，而与上位控制器(未图示)进行通信。

[0037] 以下，主要使用图3～图6，对防振单元20进行说明。防振单元20具备一对支承部21、21、基座部23、一对水平轴28、28。

[0038] 一对支承部21、21在左右方向上隔开间隔地排列，固定于主体框架4的上表面4a。一对支承部21、21例如通过螺钉22等部件而固定于主体框架4。在左右方向上水平延伸的一对水平轴28、28架设于一对支承部21、21。更详细地，在一对支承部21、21各自形成有供一对水平轴28、28分别插通的插通孔21b、21b。插通孔21b、21b形成于前后方向上的基座部23的两端。在插通孔21b内插有筒状的橡胶衬套29，水平轴28内插于橡胶衬套29。即，水平轴28经由橡胶衬套29支承于一对支承部21。橡胶衬套29例如由丁腈橡胶等材料形成。在水平轴28的延伸方向上的两端设置有作为防止从插通孔21b脱落而发挥作用的螺栓28A以及垫圈
28B。

[0039] 内插于一对支承部21、21的橡胶衬套29、29也可以由硬度相互不同的材料形成。例如，通过使左右的橡胶衬套29、29的硬度相互不同，从而在从Z轴方向观察时的防振单元20的重心位置与主体部3的重心位置不同的情况下、在左右方向(横方向)上移载被搬运物90的情况下，能够使主体部3相对于行驶部2的相对位置(姿势)的维持变得容易。

[0040] 基座部23经由一对悬垂部件2F、2F悬垂于行驶部2。基座部23是在前后方向上延伸的部件。在基座部23形成有能够插通一对悬垂部件2F、2F的插通孔23a、23a。插通孔23a、23a形成于基座部23的前后方向上的两端部。另外，在插通孔23a的内周面设置有轴承23b，该轴承23b将悬垂部件2F支承为能够绕沿着悬垂部件2F的延伸方向的轴转动。

[0041] 基座部23被设置为相对于水平轴28不能转动。更详细地，水平轴28被插入在基座部23形成的插通孔23d，水平轴28与基座部23由螺钉24B固定。插通孔23d、23d设置于前后方向上的基座部23的两端。即，两个水平轴28、28不能转动地设置于基座部23。基座部23经由水平轴28、28支承于一对支承部21、21。

[0042] 对上述第一实施方式的高架搬送车1中的作用效果进行说明。在上述第一实施方式的高架搬送车1中，与从行驶部2悬垂的基座部23一体构成的水平轴28经由橡胶衬套29支承于支承部21。即，将行驶部2与主体部3经由橡胶衬套29连结。由此，从行驶部2传递给基座部23的振动由橡胶衬套29吸收。其结果为，即使是保持被搬运物90的主体部3悬垂支承于行驶部2的结构的高架搬送车1，也能够抑制来自行驶部2的振动传播到被搬运物90。

[0043] 在上述第一实施方式的高架搬送车1中，在与行驶部2的行驶方向以及铅垂方向双方正交的方向(左右方向)上延伸地配置有水平轴28。由此，在允许行驶部2相对于主体部3的角度变化时，仅在行驶部2的行驶方向上允许角度变化，因此能够将在被搬运物90向与行驶方向正交的左右方向(横向)的移载时主体部3倾斜的情况抑制在最小限度。

[0044] 在上述第一实施方式的高架搬送车1中，由于设置有两个水平轴，因此能够更稳定地维持主体部3与行驶部2的相对位置关系(主体部3相对于行驶部2的姿势)。

[0045] 在上述第一实施方式的高架搬送车1中，基座部23将悬垂部件2F、2F支承为能够绕将悬垂部件2F、2F的延伸方向作为转动轴的轴转动，因此能够减少在悬垂部件2F、2F中在相对于行驶部2的安装部分与相对于基座部23的安装部分之间产生扭转应力。

[0046] (第二实施方式)

[0047] 以下，主要使用图1、图7～图11，对第二实施方式的高架搬送车1A进行说明。此外，在第二实施方式的高架搬送车1A中，防振单元120的结构与第一实施方式的高架搬送车1的防振单元20的结构不同。这里，详细地说明结构相互不同的防振单元120，关于其他的结构省略说明。防振单元120具备一对支承部121、121、基座部123、一对阻尼器130、130。

[0048] 一对支承部121、121在左右方向上隔开间隔地排列，固定于主体框架4的上表面4a。一对支承部121、121例如由螺钉122等部件固定于主体框架4。在左右方向上水平延伸的一个水平轴126架设于一对支承部121、121。更详细地，在一对支承部121、121各自形成有供水平轴126插通的插通孔121a。水平轴126经由设置于水平轴126的两端的螺栓126A以及垫圈126B安装于支承部121、121。在插通孔121a内插有筒状的橡胶衬套127，水平轴126内插于橡胶衬套127。即，水平轴126经由橡胶衬套127支承于一对支承部121、121。橡胶衬套127例如由丁腈橡胶等材料形成。水平轴126在前后方向上配置在主体框架4的大致中央部。

[0049] 基座部123经由一对悬垂部件2F、2F悬垂于行驶部2。基座部123是在前后方向上延伸的部件。在基座部123形成有能够插通一对悬垂部件2F、2F的插通孔123a、123a。插通孔123a、123a形成于基座部123的前后方向上的两端部。另外，在插通孔123a的内周面设置有轴承123b，该轴承123b将悬垂部件2F支承为能够绕沿着悬垂部件2F的延伸方向的轴转动。

[0050] 基座部123被设置为相对于水平轴126不能转动。更详细地，水平轴126被插入于在基座部123形成的插通孔123c，水平轴126与基座部123由螺钉124A固定。基座部123在能够经由沿水平方向延伸的水平轴126转动的状态下支承于一对支承部121、121。换言之，一对支承部121、121将与基座部123一体地转动的水平轴126支承为能够转动。

[0051] 一对阻尼器130、130被设置为在前后方向上夹着水平轴126，并且被设置为与主体框架4的上表面4a接触。另外，阻尼器130被设置为内插于在基座部123形成的插通孔123d，一部分朝向下方(主体框架4的上表面4a)突出。阻尼器130吸收在与主体框架4的上表面4a接触时产生的能量。

[0052] 阻尼器130具有橡胶部件131、弹簧部件132、接触部133、收纳部134、缓冲部135。橡胶部件131具有弹性力，例如由聚氨酯橡胶等材料形成。弹簧部件132被配置为内插橡胶部件131。弹簧部件132的弹性力也可以比橡胶部件131的弹性力大。由此，若弹簧部件132收缩到一定程度则橡胶部件131的弹性力被追加于接触部133。弹簧部件132的弹性力比橡胶部件131的弹性力大。接触部133是与主体框架4的上表面4a接触的部件。接触部133的下部的与主体框架4的上表面4a接触的部分由超高分子量聚乙烯等具有耐压缩性的材料形成。在接触部133的上部形成有与橡胶部件131的下端以及弹簧部件132的下端接触的凸缘部133a。本实施方式的弹簧部件132以被施加了压缩的状态、即被附加了加压的状态与接触部
133接触。收纳部134收纳橡胶部件131、弹簧部件132、接触部133的一部分。缓冲部135是为了防止由接触部133的上下运动引起的磨损而设置的树脂衬套。

[0053] 在基座部123设置有覆盖插通孔123d的上部开口的盖部128。盖部128利用螺钉128A等固定于基座部123。在盖部128的中央部设置有调整用螺钉129，该调整用螺钉129调整阻尼器130对主体框架4的按压量(接触部133的突出量)。调整用螺钉129的前端与主体框架4的上表面4a抵接。能够通过使调整用螺钉129相对于盖部128旋转而调整从基座部123的下表面突出的接触部133的突出量。

[0054] 对上述第二实施方式的高架搬送车1A中的作用效果进行说明。在上述第二实施方式的高架搬送车1A中，与从行驶部2悬垂的基座部123一体构成的水平轴126经由橡胶衬套127支承于支承部121。即，将行驶部2与主体部3经由橡胶衬套127连结。由此，从行驶部2传递给基座部123的振动由橡胶衬套127吸收。其结果为，即使与上述第一实施方式的高架搬送车1同样，是保持被搬运物90的主体部3悬垂支承于行驶部2的结构的高架搬送车1A，也能够抑制来自行驶部2的振动传播到被搬运物90。

[0055] 在上述第二实施方式的高架搬送车1A中，在与行驶部2的行驶方向以及铅垂方向双方正交的方向(左右方向)上延伸地配置有水平轴126。由此，在允许行驶部2相对于主体部3的角度变化时，仅在行驶部2的行驶方向上允许角度变化，因此能够将在被搬运物90向与行驶方向正交的左右方向(横向)的移载时主体部3倾斜的情况抑制在最小限度。

[0056] 在上述第二实施方式的高架搬送车1A中，仅设置有一个水平轴126。而且，具备在行驶部2的行驶方向上夹着水平轴126地设置于基座部123并且与主体部3接触的一对阻尼器130、130。在该结构中，不仅能够抑制在行驶部2中产生的振动向主体部3的传播，还能够使振动提前衰减。而且，在上述第二实施方式的高架搬送车1A的结构中，能够更稳定地维持行驶部2与主体部3的相对位置关系(主体部3相对于行驶部2的姿势)。

[0057] 在上述第二实施方式的高架搬送车1A中，如图11所示，阻尼器130具有橡胶部件131、弹簧部件132，因此通过调整弹簧部件132的压缩量，能够容易地进行使阻尼器130产生的加压的调整。在上述第二实施方式的阻尼器130中，施加规定的加压。另外，在上述第二实施方式的高架搬送车1A中，在行驶部2以及主体部3双方没有倾斜的情况下，阻尼器130的接触部133与主体框架4的上表面4a在接触部133不使力作用于主体框架4的状态下相互接触。
此外，通过使调整用螺钉129旋转而调整接触部133的突出量，能够使接触部133与主体框架
4的上表面4a接触。

[0058] 这里，在行驶部2向前方加速的情况下，向前侧下沉的力作用于转动自如的状态的基座部123。然而，在被施加了加压的阻尼器130中，即使作用了使基座部123的前侧下沉的力，弹簧部件132以及橡胶部件131不会被压缩直到作用有规定以上的力(即，作为加压施加于弹簧部件132的力以上的力)为止，基座部123不会相对于主体框架4倾斜。在上述第二实施方式的阻尼器130中，设定能够承受由假定的加速度产生的力这样的加压。通过这样的结构，能够抑制在高架搬送车1A的加速时产生主体框架4的姿势变化。即，能够抑制在高架搬送车1A的加速时产生被搬运物90的摆动的情况。

[0059] 在上述第二实施方式的高架搬送车1A中，对前后方向双方的阻尼器130、130施加上述的加压，因此即使在高架搬送车1A的减速时也能够抑制产生主体框架4的姿势变化。即，在上述第二实施方式中，由于设定能够承受由假定的减速度产生的力这样的加压，因此能够抑制在高架搬送车1A的减速时产生被搬运物90的摆动的情况。

[0060] 以上，对第一实施方式以及第二实施方式进行了说明，但本发明不限于上述第一实施方式以及第二实施方式。能够在不脱离发明的主旨的范围内进行各种变更。

[0061] 在上述第一实施方式中设置有两个水平轴28、28，在上述第二实施方式中列举设置有一个水平轴126的例子进行了说明，但也可以将三个以上的水平轴与基座部23(123)一体地设置。

[0062] 在上述实施方式以及变形例中，列举基座部23构成为能够仅在前后方向上转动的例子进行了说明，但也可以构成为基座部23能够仅在左右方向上转动。

[0063] 在上述实施方式以及变形例中，列举行驶部2具有能够相互转动的前方行驶体2A和后方行驶体2B的例子进行了说明，但也可以由单体的行驶体形成。

[0064] 附图标记的说明

[0065] 1、1A…高架搬送车；2…行驶部；2F…悬垂部件；3…主体部；4…主体框架；20…防振单元；21…支承部；23…基座部；28…水平轴；29…橡胶衬套；90…被搬运物；120…防振单元；121…支承部；123…基座部；126…水平轴；127…橡胶衬套；130…阻尼器；131…橡胶部件；132…弹簧部件；133…接触部；R…行驶轨道。