1.一种透明电极退火装置，其特征在于，包括：
壳体，所述壳体具有密封腔；
样品台，所述样品台连接于所述壳体并位于所述密封腔内，所述样品台用于固定样品；
靶材，所述靶材连接于所述壳体并位于所述密封腔内，所述靶材用于向样品溅射靶原子；
挡板，所述挡板活动连接于所述壳体并位于所述密封腔内，所述挡板在遮挡位置和暴露位置之间可转换，在所述遮挡位置，所述挡板位于所述靶材与所述样品之间，在所述暴露位置，所述挡板移出所述靶材和所述样品之间；
脉冲组件，所述脉冲组件安装在所述挡板并位于所述挡板与所述样品之间，所述脉冲组件用于对所述样品进行加热。
2.根据权利要求1所述的透明电极退火装置，其特征在于，所述脉冲组件包括灯罩和脉冲灯，所述灯罩连接于所述挡板，所述灯罩靠近于所述样品的一端敞开设置以形成开口，所述灯罩的内壁面上设有反光层，所述脉冲灯设在所述灯罩内，所述脉冲灯发出的脉冲光照可经所述开口射向所述样品。
3.根据权利要求2所述的透明电极退火装置，其特征在于，所述灯罩与所述样品之间的距离不大于2cm，所述脉冲灯单个脉冲持续时间不超过2s。
4.根据权利要求1所述的透明电极退火装置，其特征在于，所述样品台上设有冷却水管，所述冷却水管环绕设置在所述样品台的周侧，和/或，所述冷却水管盘绕设置在所述样品台的一侧。
5.根据权利要求4所述的透明电极退火装置，其特征在于，所述样品台为金属样品台。
6.根据权利要求1所述的透明电极退火装置，其特征在于，还包括夹具，所述夹具连接于所述样品台，所述夹具用于固定所述样品。
7.一种透明电极退火方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供一根据权利要求1‑6中任一项所述的透明电极退火装置，在底电池上依次制备空穴传输层、钙钛矿层、电子传输层和无机缓冲层以构成所述样品；
将所述样品固定于所述样品台上，并将所述无机缓冲层朝向所述靶材；
将所述挡板置于所述暴露位置，利用磁控溅射使所述靶材在所述样品上沉积预设厚度的ITO薄膜后停止溅射；
使用氩气对所述密封腔内气体环境进行清洗；
将所述挡板置于所述遮挡位置，使用所述脉冲组件对ITO薄膜进行脉冲光照射，完成对ITO薄膜的加热后关闭所述脉冲组件；
重复对所述样品沉积ITO薄膜并对ITO薄膜进行脉冲光退火，直至ITO薄膜的厚度达到所需制备的厚度。
8.根据权利要求7所述的透明电极退火方法，其特征在于，在脉冲光退火过程中持续使用冷却水对样品进行降温。
9.根据权利要求7所述的透明电极退火方法，其特征在于，使用所述脉冲组件对ITO薄膜进行脉冲光照射过程包括多个周期性脉冲光，利用脉冲宽度及重复次数控制退火温度及时间。
10.根据权利要求7所述的透明电极退火方法，其特征在于，磁控溅射的功率不超过
80W；
2
脉冲光的中心波长大于800nm，光脉冲宽度小于1s，脉冲光功率密度不低于10W/cm。