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碳化硅桨的水平度调节装置、水平度调节方法及控制设备
申请号 CN202311727252.X 申请日 2023-12-15 公开(公告)号 CN117702280A 公开(公告)日 2024-03-15
申请人 西安奕斯伟材料科技股份有限公司; 西安奕斯伟硅片技术有限公司; 发明人 贺鹏; 张鹏举; 郭超超;
摘要 本 发明 提供了一种 碳 化 硅 桨的 水 平度调节装置、水平度调节方法及控制设备，属于 半导体 技术领域。包括： 基座 (1)、 紧 固件 、 挡板 (2)、测距 传感器 (3)和调节机构(4)；紧固件用于将碳化硅桨(5)的第一端固定在基座(1)上；挡板(2)安装在碳化硅桨(5)的第二端，且挡板(2)与碳化硅桨(5)的下表面相垂直；测距传感器(3)设置在基座(1)上朝向所述挡板(2)的一 侧壁 上，测距传感器(3)用于测量测距传感器(3)与挡板(2)之间的距离值；调节机构(4)用于根据距离值，调节紧固件的松紧度，以调节碳化硅桨(5)的水平度。本发明的技术方案能够实时地 自动调节 碳化硅桨的水平度，提高了调节效率。
权利要求

1.一种碳化硅桨的水平度调节装置，其特征在于，包括：
基座(1)、紧固件、挡板(2)、测距传感器(3)和调节机构(4)；
其中，所述紧固件用于：将所述碳化硅桨(5)的第一端固定在所述基座(1)上；
所述挡板(2)安装在所述碳化硅桨(5)的第二端，且所述挡板(2)与所述碳化硅桨(5)的下表面相垂直；
所述测距传感器(3)设置在所述基座(1)上朝向所述挡板(2)的一侧壁上，所述测距传感器(3)用于：测量所述测距传感器(3)与所述挡板(2)之间的距离值；
所述调节机构(4)用于：根据所述距离值，调节所述紧固件的松紧度，以调节所述碳化硅桨(5)的水平度。
2.根据权利要求1所述的碳化硅桨的水平度调节装置，其特征在于，所述调节机构(4)包括：
控制单元和驱动单元；
其中，所述控制单元用于：获取所述距离值，并根据所述距离值，向所述驱动单元发送目标信号，所述目标信号用于指示所述驱动单元调节所述紧固件的松紧度；
所述驱动单元用于：根据接收到的所述目标信号，驱动所述紧固件旋转，以调节所述紧固件的松紧度。
3.根据权利要求2所述的碳化硅桨的水平度调节装置，其特征在于，所述控制单元在根据所述距离值，向所述驱动单元发送目标信号时，具体用于执行以下至少一项：
判断所述距离值与预设值的大小关系；
在所述距离值大于预设值的情况下，向所述驱动单元发送第一目标信号，所述第一目标信号用于指示所述驱动单元调松所述紧固件；在所述距离值小于所述预设值的情况下，向所述驱动单元发送第二目标信号，所述第二目标信号用于指示所述驱动单元调紧所述紧固件。
4.根据权利要求2所述的碳化硅桨的水平度调节装置，其特征在于，所述驱动单元包括伺服电机。
5.根据权利要求1所述的碳化硅桨的水平度调节装置，其特征在于，所述基座(1)包括：
第一基板和第二基板；
其中，所述第一基板和所述第二基板相对设置，所述碳化硅桨(5)的第一端插设于所述第一基板和所述第二基板之间；
所述基座(1)上开设有至少一组安装孔，每组所述安装孔包括开设在所述第一基板上的第一安装孔和开设在所述第二基板上的第二安装孔，同一组里的所述第一安装孔和所述第二安装孔同轴设置且孔径相同，每组安装孔对应一个所述紧固件，所述紧固件穿设于安装孔中，且贯穿所述碳化硅桨(5)的第一端。
6.根据权利要求1所述的碳化硅桨的水平度调节装置，其特征在于，所述紧固件包括螺栓。
7.一种碳化硅桨的水平度调节方法，应用于如权利要求1‑6中任一项所述的碳化硅桨的水平度调节装置，其特征在于，包括：
获取测距传感器(3)与挡板(2)之间的距离值；
根据所述距离值，调节紧固件的松紧度，以调节碳化硅桨(5)的水平度。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述根据所述距离值，调节紧固件的松紧度，包括：
根据所述距离值，向驱动单元发送目标信号，所述目标信号用于指示所述驱动单元调节所述紧固件的松紧度。
9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述根据所述距离值，向驱动单元发送目标信号，包括以下至少一项：
在所述距离值大于预设值的情况下，向所述驱动单元发送第一目标信号，所述第一目标信号用于指示所述驱动单元调松所述紧固件；
在所述距离值小于所述预设值的情况下，向所述驱动单元发送第二目标信号，所述第二目标信号用于指示所述驱动单元调紧所述紧固件。
10.一种控制设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序；其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求7至9任一项所述的碳化硅桨的水平度调节方法。
说明书全文

碳化硅桨的水平度调节装置、水平度调节方法及控制设备

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种碳化硅桨的水平度调节装置、水平度调节方法及控制设备。

背景技术

[0002] 目前，单晶硅棒大部分采用Czochralski法(或被称为直拉法)制造生产，在单晶硅拉晶特性测试过程中，为保证测试的准确性，对硅片的测试提出更高的要求。
[0003] 为满足更高的硅片测试要求，需要使用高温氧化卧式炉对硅片进行高温热处理。受卧式炉本身的结构影响，产品(硅片)需要立起来放在石英舟上，石英舟则需要放置在SIC桨(即碳化硅桨)上，进而由SIC桨将承载硅片的石英舟推送至工艺管中，以对硅片进行高温热处理。
[0004] 然而，由于SIC桨只有其中一端固定在传送装置上，因此，石英舟上所承载的硅片的重量会导致SIC桨未被固定的另一端翘起或向下倾斜。目前，行业内通常采用手动调节方式对SIC桨的水平度进行调节，在调节过程中需要固定产品的数量，难以实时地调节SIC桨的水平度，且调节效率较低，不适用于量产设备。

发明内容

[0005] 本发明提供一种碳化硅桨的水平度调节装置、水平度调节方法及控制设备，能够实时地自动调节碳化硅桨的水平度，提高了调节效率。
[0006] 为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：
[0007] 一种碳化硅桨的水平度调节装置，包括：
[0008] 基座、紧固件、挡板、测距传感器和调节机构；
[0009] 其中，所述紧固件用于：将所述碳化硅桨的第一端固定在所述基座上；
[0010] 所述挡板安装在所述碳化硅桨的第二端，且所述挡板与所述碳化硅桨的下表面相垂直；
[0011] 所述测距传感器设置在所述基座上朝向所述挡板的一侧壁上，所述测距传感器用于：测量所述测距传感器与所述挡板之间的距离值；
[0012] 所述调节机构用于：根据所述距离值，调节所述紧固件的松紧度，以调节所述碳化硅桨的水平度。
[0013] 一些实施例中，所述调节机构包括：
[0014] 控制单元和驱动单元；
[0015] 其中，所述控制单元用于：获取所述距离值，并根据所述距离值，向所述驱动单元发送目标信号，所述目标信号用于指示所述驱动单元调节所述紧固件的松紧度；
[0016] 所述驱动单元用于：根据接收到的所述目标信号，驱动所述紧固件旋转，以调节所述紧固件的松紧度。
[0017] 一些实施例中，所述控制单元在根据所述距离值，向所述驱动单元发送目标信号时，具体用于执行以下至少一项：
[0018] 判断所述距离值与预设值的大小关系；
[0019] 在所述距离值大于预设值的情况下，向所述驱动单元发送第一目标信号，所述第一目标信号用于指示所述驱动单元调松所述紧固件；在所述距离值小于所述预设值的情况下，向所述驱动单元发送第二目标信号，所述第二目标信号用于指示所述驱动单元调紧所述紧固件。
[0020] 一些实施例中，所述驱动单元包括伺服电机。
[0021] 一些实施例中，所述基座包括：
[0022] 第一基板和第二基板；
[0023] 其中，所述第一基板和所述第二基板相对设置，所述碳化硅桨的第一端插设于所述第一基板和所述第二基板之间；
[0024] 所述基座上开设有至少一组安装孔，每组所述安装孔包括开设在所述第一基板上的第一安装孔和开设在所述第二基板上的第二安装孔，同一组里的所述第一安装孔和所述第二安装孔同轴设置且孔径相同，每组安装孔对应一个所述紧固件，所述紧固件穿设于安装孔中，且贯穿所述碳化硅桨的第一端。
[0025] 一些实施例中，所述紧固件包括螺栓。
[0026] 本发明实施例还提供了一种碳化硅桨的水平度调节方法，包括：
[0027] 获取测距传感器与挡板之间的距离值；
[0028] 根据所述距离值，调节紧固件的松紧度，以调节碳化硅桨的水平度。
[0029] 一些实施例中，所述根据所述距离值，调节紧固件的松紧度，包括：
[0030] 根据所述距离值，向驱动单元发送目标信号，所述目标信号用于指示所述驱动单元调节所述紧固件的松紧度。
[0031] 一些实施例中，所述根据所述距离值，向驱动单元发送目标信号，包括以下至少一项：
[0032] 在所述距离值大于预设值的情况下，向所述驱动单元发送第一目标信号，所述第一目标信号用于指示所述驱动单元调松所述紧固件；
[0033] 在所述距离值小于所述预设值的情况下，向所述驱动单元发送第二目标信号，所述第二目标信号用于指示所述驱动单元调紧所述紧固件。
[0034] 本发明实施例还提供了一种控制设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序；所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述的碳化硅桨的水平度调节方法。
[0035] 本发明的有益效果是：
[0036] 本实施例中，通过测距传感器能够测量得到测距传感器与挡板之间的距离值，由于挡板是垂直安装在碳化硅桨上的，因此该距离值的大小可以反映碳化硅桨是否发生倾斜，如此，当碳化硅桨发生倾斜时，调节机构可以根据该距离值及时获知碳化硅桨的倾斜情况，进一步能够根据该距离值调节紧固件的松紧度，从而实现对碳化硅桨的水平度的自动调节，提高了加工的灵活性。附图说明
[0037] 图1表示本发明实施例提供的碳化硅桨的水平度调节装置的正视图；
[0038] 图2表示本发明实施例提供的碳化硅桨的水平度调节装置的俯视图；
[0039] 图3表示本发明实施例提供的碳化硅桨的水平度调节装置与放置了硅片的石英舟的位置示意图；
[0040] 图4表示本发明实施例提供的碳化硅桨的水平度调节装置向下倾斜情况的示意图。

具体实施方式

[0041] 为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0042] 本发明实施例提供一种碳化硅桨的水平度调节装置、水平度调节方法及控制设备，能够实时地自动调节碳化硅桨的水平度，提高了调节效率。
[0043] 参见图1至图2所示，本发明实施例提供一种碳化硅桨的水平度调节装置，包括：
[0044] 基座1、紧固件、挡板2、测距传感器3和调节机构4；其中，所述紧固件用于：将所述碳化硅桨5的第一端固定在所述基座1上；所述挡板2安装在所述碳化硅桨5的第二端，且所述挡板2与所述碳化硅桨5的下表面相垂直；所述测距传感器3设置在所述基座1上朝向所述挡板的一侧壁上，所述测距传感器3用于：测量所述测距传感器3与所述挡板2之间的距离值；所述调节机构4用于：根据所述距离值，调节所述紧固件的松紧度，以调节所述碳化硅桨5的水平度。
[0045] 需要说明的是，在使用高温氧化卧式炉对硅片7进行高温热处理时，通常需要一个传动装置将硅片7送入卧式炉中，而本发明实施例所提供的碳化硅桨的水平度调节装置，可以作为传动装置的一部分，实现将硅片7送入卧式炉的功能。例如，作为一可选示例，传动装置包括本发明实施例所提供的碳化硅桨的水平度调节装置，还包括石英舟6和驱动机构，其中，参见图3所示，石英舟6设置在碳化硅桨5(也就是SIC桨)上，石英舟6用于承载待加工的硅片7，而该驱动机构则可以驱动该碳化硅桨的水平度调节装置向卧式炉运动，直至将硅片7送入卧式炉中。
[0046] 还需要说明的是，碳化硅桨5的下表面是一个平面，挡板2具体可以是一个板状的面板，挡板2与碳化硅桨5的下表面相垂直。如此，当碳化硅桨5的水平度发生变化时，测距传感器测量得到的距离值会随之发生变化。例如，参见图3所示，当石英舟6上放置了待加工的硅片7之后，碳化硅桨5的第二端可能会发生向下倾斜的情况，此时，相较于碳化硅桨5未发生倾斜状况时，测距传感器3与挡板2之间的距离值会减小。比如，碳化硅桨5未发生倾斜状况时(也就是碳化硅桨5处于水平状态时)，测距传感器3与挡板2之间的距离值为1700mm，则碳化硅桨5的第二端向下倾斜时，由于挡板会随之发生倾斜，此时，挡板测距传感器3与挡板2之间的距离值会小于1700mm。因此，根据测距传感器3测量得到的距离值，可以实时判断碳化硅桨5是否发生倾斜，从而通过调节机构4调节紧固件的松紧度，及时调节碳化硅桨5的水平度，实现了对碳化硅桨5水平度的自动调节。如此，在保证不超过碳化硅桨5的最大承载重量的前提下，即使随意切换加工样品(即硅片)的数量，也能够保证碳化硅桨5可以水平地进入工艺管，从而防止因碳化硅桨5承载重量过重或过轻而导致碳化硅桨5发生倾斜，进而避免了碳化硅桨5与卧式炉工艺管壁的碰撞风险，以及保证在热处理过程中产品不会发生倾斜，从而能够更加均匀地受热，保证产品热处理的均一性更好。
[0047] 可以理解的是，由于碳化硅桨5是靠紧固件固定在基座1上的，因此紧固件的松紧度会影响到碳化硅桨5与基座1之间结合的强度的。比如，将紧固件调松时(也即松动紧固件时)，碳化硅桨5与基座1之间结合的强度会减小，因此碳化硅桨5的第二端受重力影响会稍微下沉一些。因此，可以通过调节紧固件的松紧度，实现对碳化硅桨5的水平度的调节。
[0048] 该实施例中，通过测距传感器能够测量得到测距传感器与挡板之间的距离值，由于挡板是垂直安装在碳化硅桨上的，因此该距离值的大小可以反映碳化硅桨是否发生倾斜，如此，当碳化硅桨发生倾斜时，调节机构可以根据该距离值及时获知碳化硅桨的倾斜情况，进一步能够根据该距离值调节紧固件的松紧度，从而实现对碳化硅桨的水平度的自动调节，提高了加工的灵活性。
[0049] 一些实施例中，所述调节机构4包括：
[0050] 控制单元和驱动单元；其中，所述控制单元用于：获取所述距离值，并根据所述距离值，向所述驱动单元发送目标信号，所述目标信号用于指示所述驱动单元调节所述紧固件的松紧度；所述驱动单元用于：根据接收到的所述目标信号，驱动所述紧固件旋转，以调节所述紧固件的松紧度。
[0051] 一些实施例中，所述控制单元在根据所述距离值，向所述驱动单元发送目标信号时，具体用于执行以下至少一项：
[0052] 判断所述距离值与预设值的大小关系；在所述距离值大于预设值的情况下，向所述驱动单元发送第一目标信号，所述第一目标信号用于指示所述驱动单元调松所述紧固件；在所述距离值小于所述预设值的情况下，向所述驱动单元发送第二目标信号，所述第二目标信号用于指示所述驱动单元调紧所述紧固件。
[0053] 这里，以图3所示的情况为例，对本发明实施例所提供的碳化硅桨的水平度调节装置的工作原理进行说明：
[0054] 当碳化硅桨5处于水平状态时，测距传感器3测量得到的距离值(也即预设值)为S1(以S1＝1700mm为例)。当碳化硅桨5的第二端向下倾斜时，测距传感器3测量得到的距离值为S2，此时，如图3所示，碳化硅桨5倾斜的角度为α，α+β＝90度，S2＝Htanβ，其中，β为：水平面的垂直线与此时碳化硅桨5的下表面之间的夹角，H为：碳化硅桨5处于水平状态时，碳化硅桨5的下表面到测距传感器所在水平面之间的垂直距离。可见，此时S2伺服电机)调紧(也就是紧固)紧固件(比如螺栓)；随着驱动单元逐渐调紧紧固件，碳化硅桨5与基座1之间结合的强度会随之增大，使得碳化硅桨5逐渐恢复至水平状态；当碳化硅桨5逐渐恢复至水平状态时，测距传感器3测量得到的距离值为1700mm，此时，驱动单元根据该距离值可以获知碳化硅桨5处于水平状态，因此，驱动单元会立即停止驱动紧固件。
[0055] 再例如，当测距传感器3测量得到的距离值比1700mm大时，表示碳化硅桨5的第二端发生了翘起的情况，此时，控制单元向驱动单元发送第一目标信号，指示驱动单元(比如伺服电机)调松紧固件(比如螺栓)，以使得碳化硅桨5恢复至水平状态；当测距传感器3测量得到的距离值为1700mm时，则表示碳化硅桨5处于水平状态，此时，驱动单元不需要驱动紧固件。
[0056] 也就是说，目标信号具体可以是用于指示驱动单元调松紧固件的第一目标信号，还可以是用于指示驱动单元调紧紧固件第二目标信号。
[0057] 需要说明的是，作为一可选实施例，第一目标信号具体可以指示驱动单元调紧松固件的程度，相应的，第二目标信号具体可以指示驱动单元调紧紧固件的程度。也就是说，驱动单元获得目标信号后，可以确定需要对紧固件使用多大的力矩，以实现对紧固件松紧度的调节。
[0058] 一些实施例中，所述驱动单元包括伺服电机。
[0059] 例如，参见图3所示，伺服电机安装在基座1的顶部，具体是基座1上设置有紧固件的地方，这样，伺服电机作为驱动单元，可以驱动紧固件旋转，以调节紧固件的松紧度。
[0060] 需要说明的是，伺服电机可以控制速度，位置精度非常准确，因此，本发明实施例中的驱动单元可以采用伺服电机，这样，伺服电机可以将目标信号转化为转矩和转速以驱动紧固件旋转，以实现对碳化硅桨5水平度的精准调节。
[0061] 一些实施例中，所述基座1包括：
[0062] 第一基板和第二基板；
[0063] 其中，所述第一基板和所述第二基板相对设置，所述碳化硅桨5的第一端插设于所述第一基板和所述第二基板之间；
[0064] 所述基座1上开设有至少一组安装孔，每组所述安装孔包括开设在所述第一基板上的第一安装孔和开设在所述第二基板上的第二安装孔，同一组里的所述第一安装孔和所述第二安装孔同轴设置且孔径相同，每组安装孔对应一个所述紧固件，所述紧固件穿设于安装孔中，且贯穿所述碳化硅桨5的第一端。
[0065] 也就是说，第一基板和第二基板可以对碳化硅桨5的第一端形成夹持作用，也即基座1可以理解为对碳化硅桨5进行固定的紧固夹具。
[0066] 一些实施例中，所述紧固件包括螺栓。
[0067] 比如，在一可选示例中，可以设置两个螺栓，用作紧固件以对碳化硅桨实现固定作用，还可以在每个螺栓上，设置一个驱动单元(例如伺服电机)，用于驱动螺栓旋转。比如，驱动单元驱动螺栓顺时针旋转时，能够调紧螺栓，驱动螺栓逆时针旋转时，则能够调松螺栓。
[0068] 随着拉晶检测技术的发展，行业内对硅片热处理方式的要求越来越高，本发明实施例实现了实时、灵活、自动地调节碳化硅桨的水平度，调节效率高，适用于量产设备。
[0069] 本实施例中，通过测距传感器能够测量得到测距传感器与挡板之间的距离值，由于挡板是垂直安装在碳化硅桨上的，因此该距离值的大小可以反映碳化硅桨是否发生倾斜，如此，当碳化硅桨发生倾斜时，调节机构可以根据该距离值及时获知碳化硅桨的倾斜情况，进一步能够根据该距离值调节紧固件的松紧度，从而实现对碳化硅桨的水平度的自动调节，提高了加工的灵活性。
[0070] 本发明实施例还提供了一种碳化硅桨的水平度调节方法，应用于上述实施例所述的碳化硅桨的水平度调节装置，包括：
[0071] 步骤1，获取测距传感器3与挡板2之间的距离值。
[0072] 这里，距离值是由测距传感器3测量得到的。
[0073] 步骤2，根据所述距离值，调节紧固件的松紧度，以调节碳化硅桨5的水平度。
[0074] 需要说明的是，本发明实施例中的碳化硅桨的水平度调节方法，可以由上述实施例中的控制单元执行，因此，可以参照碳化硅桨的水平度调节装置中的各个实施例，重复内容不再赘述。
[0075] 该实施例中，由于测距传感器与挡板之间的距离值的大小可以反映碳化硅桨是否发生倾斜，因此，当碳化硅桨发生倾斜时，根据该距离值及时获知碳化硅桨的倾斜情况，进一步能够根据该距离值调节紧固件的松紧度，从而实现对碳化硅桨的水平度的自动调节，提高了加工的灵活性。
[0076] 一些实施例中，所述根据所述距离值，调节紧固件的松紧度，包括：
[0077] 根据所述距离值，向驱动单元发送目标信号，所述目标信号用于指示所述驱动单元调节所述紧固件的松紧度。
[0078] 一些实施例中，所述根据所述距离值，向驱动单元发送目标信号，包括以下至少一项：
[0079] 在所述距离值大于预设值的情况下，向所述驱动单元发送第一目标信号，所述第一目标信号用于指示所述驱动单元调松所述紧固件；
[0080] 在所述距离值小于所述预设值的情况下，向所述驱动单元发送第二目标信号，所述第二目标信号用于指示所述驱动单元调紧所述紧固件。
[0081] 本实施例中，由于测距传感器与挡板之间的距离值的大小可以反映碳化硅桨是否发生倾斜，因此，当碳化硅桨发生倾斜时，根据该距离值及时获知碳化硅桨的倾斜情况，进一步能够根据该距离值调节紧固件的松紧度，从而实现对碳化硅桨的水平度的自动调节，提高了加工的灵活性。
[0082] 本发明实施例还提供了一种控制设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序；所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述的碳化硅桨的水平度调节方法。
[0083] 需要说明，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于实施例而言，由于其基本相似于产品实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见产品实施例的部分说明即可。
[0084] 除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0085] 可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”，或者可以存在中间元件。
[0086] 在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0087] 以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

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