1.一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征系统，其特征在于，所述系统包括：吸收光谱检测装置、光谱移动与光路校准装置和管式CVD设备；
其中，吸收光谱检测装置包括光源、光源发射装置、光源接收装置以及与光源接收装置相连的光谱仪；光谱移动与光路校准装置包括两条移动轨道，光源发射装置和光源接收装置分别安装在两条移动轨道上；管式CVD设备包括炉膛、石英管以及石英管内用于承载沉积样品的石英舟；炉膛上开设有平行于石英管的两条对称通光槽，两条通光槽以石英管轴向中心线为对称轴，光谱移动与光路校准装置中的两条移动轨道分别位于炉膛外侧对应两条通光槽的位置处，从而使得光源发射装置和光源接收装置能够沿着石英管的轴向直线移动以实现对于石英管内任一位置处的样品的原位检测；光源发射装置发出的光通过通光槽、透过石英管以及其中的沉积样品到达光源接收装置，进而通过光谱仪根据接收到的光源进行光谱分析实现对于沉积样品的原位检测；
所述光源为白光光源，且光谱连续，波长至少覆盖200‑1050nm，其中波长在250nm‑
2
400nm范围内的紫外波段信号光通量＞10mW/mm sr nm；
所述通过光谱仪根据接受到的光源进行光谱分析时，沉积样品的吸收光谱的获取方法包括：
利用吸收光谱检测装置获取管式CVD设备中不放置样品时不同间隔温度下的红光补偿光谱；
获取沉积过程中的实时吸收光谱；
将实时吸收光谱减去对应温度下的红光补偿光谱作为沉积样品的最终光谱。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述光谱移动与光路校准装置还包括四个步进电机，且配置有四轴光路自动校准系统，所述四个步进电机分别记为第一横向步进电机、第一纵向步进电机、第二横向步进电机和第二纵向步进电机；其中，第一横向步进电机和第一纵向步进电机通过带通滚珠丝杆和移动轨道实现光源发射装置在水平面内的定位，第二横向步进电机和第二纵向步进电机用于控制光源发射装置在水平面和垂直面内的旋转。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述四轴光路自动校准系统采用单片机或PLC控制器实现对于步进电机的控制。
4.一种基于吸收光谱的CVD在线原位表征方法，其特征在于，所述方法基于权利要求1‑
3任一项所述的系统实现，所述方法包括：
步骤1，光路校准，利用光谱移动与光路校准装置对吸收光谱检测装置中的光源发射装置和光源接收装置进行光路对准；
步骤2，利用吸收光谱检测装置获取沉积过程中沉积样品的吸收光谱；
步骤3，根据获取得到的沉积样品的吸收光谱对沉积样品进行原位检测；
所述步骤2包括：
步骤2.1，利用吸收光谱检测装置获取管式CVD设备中不放置样品时不同间隔温度下的红光补偿光谱；
步骤2.2，获取沉积过程中的实时吸收光谱；
步骤2.3，将实时吸收光谱减去对应温度下的红光补偿光谱作为沉积样品的最终光谱。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述步骤2.1包括：
不放置样品，室温条件下，使得光路通过石英管和石英舟到达光源接收装置获得一条光谱，记为初始光谱；
将温度逐渐升温，从100℃开始每隔 取一次光谱，并和初始光谱做差，获得在不同温度梯度下的红光补偿光谱。
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述步骤1包括：利用第一横向步进电机和第一纵向步进电机通过遍历的方式搜寻光源接收装置的位置，随后通过第二横向步进电机和第二纵向步进电机，以微调角度的方式实现入射光强度最大化。
7.一种确定沉积样品生长窗口的方法，其特征在于，所述方法基于权利要求1‑3任一项所述的系统实现，所述方法包括：
步骤S1，光路校准，利用光谱移动与光路校准装置对吸收光谱检测装置中的光源发射装置和光源接收装置进行光路对准；
步骤S2，控制光源发射装置和光源接收装置沿移动轨道移动，实时获取沉积过程中各位置处沉积样品对应的吸收光谱；
步骤S3，根据沉积过程中各位置处沉积样品对应的吸收光谱确定所述沉积样品的生长窗口。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述步骤S3包括：
根据沉积过程中各位置处沉积样品对应的吸收光谱分析不同位置处的物质生长情况；
以物质生长情况最好的位置作为所述沉积样品的生长窗口。