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原子层沉积

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标题	发布/更新时间	阅读量
一种原子层沉积设备及其制备电池催化剂的方法	2021-02-25	663
用于微纳米颗粒充分分散包覆的超声流化原子层沉积装置	2021-02-26	1006
一种采用原子层沉积法制备氧化物/金属磁性异质结的方法	2021-03-03	643
一种原子层沉积修饰的限域催化剂的制备方法及其应用	2021-03-03	215
一种锂离子电池三元正极材料的原子层沉积包覆改性方法	2021-02-25	601
一种使用多步原子层沉积技术生长均匀混合金属氧化物的方法	2021-03-01	434
一种常压下曲面基底的原子层沉积薄膜制备设备	2021-02-22	189
使用原子层沉积的Ti膜来调整TiOx化学计量的方法	2021-02-24	127
用于无缝特征填充的抑制剂等离子体介导的原子层沉积	2021-02-27	336
利用原子层沉积制备GaON薄膜包覆微结构材料的方法	2021-02-23	466
一种基于原子层沉积的量子点光电探测器及其制备方法	2021-02-24	77
一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置	2021-02-26	412
利用等离子体原子层沉积法的氮化硅薄膜的制备方法	2021-02-28	678
金属原子层沉积太阳能高选择性吸热采暖膜及制备方法	2021-03-01	435
一种基于原子层沉积的纳米晶表面定向钝化方法及产品	2021-02-22	693
一种原子层沉积制备高均匀性Nb掺杂TiO2透明导电薄膜的方法	2021-03-02	368
改善原子层沉积膜厚均匀度的方法和用于承载晶圆的晶舟	2021-03-02	503
基于原子层沉积的结构色的制备方法及具有结构色的产品	2021-02-23	498
一种适用于超大规模原子层沉积的气体匀流系统	2021-02-27	725
一种原子层沉积间歇式双面镀膜的卷绕装置及其工作方法	2021-02-28	429

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标题	发布/更新时间	阅读量
原子层沉积装置-专利编号CN109023306A	2020-05-11	732
原子层沉积设备-专利编号CN106591802A	2020-05-12	944
原子层沉积系统-专利编号CN104032280B	2020-05-12	412
原子层沉积-专利编号CN104379807A	2020-05-11	436
原子层沉积设备-专利编号CN105463407B	2020-05-11	606
原子层沉积设备-专利编号CN107208267A	2020-05-11	63
原子层沉积装置-专利编号CN104488067A	2020-05-13	383
原子层沉积设备-专利编号CN102803558B	2020-05-12	615
原子层沉积方法-专利编号CN100485084C	2020-05-13	972
原子层沉积方法-专利编号CN100483636C	2020-05-13	1018

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