基本信息:
- 专利标题： 双轴浮动定子线性平台
- 专利标题（英）：Linear platform of double-shaft floating stator
- 申请号：CN201110421784.1 申请日：2011-12-15
- 公开(公告)号：CN102522356B 公开(公告)日：2015-03-25
- 发明人： 王红 , 禹新路 , 李泽湘 , 高宜铭 , 潘明
- 申请人： 东莞华中科技大学制造工程研究院
- 申请人地址： 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路1号
- 专利权人： 东莞华中科技大学制造工程研究院
- 当前专利权人： 东莞华中科技大学制造工程研究院
- 当前专利权人地址： 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路1号
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/68
摘要：
本发明提出一种双轴浮动定子线性平台，其包括基座，基座上固定有第一方向驱动装置、第二方向驱动装置，以及与所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置连接的工作台；所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置中的驱动电机驱动所述工作台运动时，所述驱动电机的定子沿所述工作台运动方向的反方向运动。本发明的驱动电机动子推动所述工作台运动时，驱动电机的定子受到的反作用力不直接作用在平台的基座上，而是使定子朝向与所述工作台运动方向相反的方向滑动，从而避免了对基座的冲击，提高了线性平台定位精度和测量精度，能实现微米级的定位精度。
公开/授权文献:
- CN102522356A 双轴浮动定子线性平台 公开/授权日：2012-06-27
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/67 | .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置 |