基本信息:
- 专利标题： 一种载片传输装置及其传输方法
- 申请号：CN201511025508.8 申请日：2015-12-30
- 公开(公告)号：CN106935538B 公开(公告)日：2020-08-04
- 发明人： 余斌
- 申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区张东路1525号
- 专利权人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区张东路1525号
- 代理机构： 上海思微知识产权代理事务所
- 代理人： 屈蘅; 李时云
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677
摘要：
本发明公开了一种载片传输装置及其传输方法，该载片传输装置包括运动导轨，与运动导轨连接的输送机构和设于运动导轨上且与输送机构连接的载片台，载片置于所述载片台上，还包括与载片台连接的旋转机构和冷却机构，载片台上设有相对于旋转机构对称设置的第一载片区和第二载片区，旋转机构转动用于交换第一载片区和第二载片区的位置。本发明通过在载片台上设置第一载片区和第二载片区，以及与载片台连接的冷却机构，便于在一个载片进行键合的过程中对键合完毕的载片进行冷却和拆卸工作，以及放置下一个待键合的载片，减少了时间浪费，大大提高了工作效率；此外设置旋转装置，可以带动载片台旋转，以交换两个载片区的位置，进一步提高了键合的效率。
公开/授权文献:
- CN106935538A 一种载片传输装置及其传输方法 公开/授权日：2017-07-07