基本信息:
- 专利标题： 光学元件三自由度检测装置
- 申请号：CN201810814639.1 申请日：2018-07-23
- 公开(公告)号：CN108709722B 公开(公告)日：2025-02-18
- 发明人： 叶朗 , 独伟锋 , 徐旭 , 魏春蓉 , 李珂 , 贺群 , 林春刚
- 申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 申请人地址： 四川省绵阳市游仙区绵山路64号
- 专利权人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人地址： 四川省绵阳市游仙区绵山路64号
- 代理机构： 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 龙玉洪
- 主分类号： G01M11/04
- IPC分类号： G01M11/04
摘要：
本发明公开了一种光学元件三自由度检测装置，包括光学平台，其上正对设置有仪器平台和元件框架，仪器平台通过旋转调整模块可转动地支撑在光学平台上，通过旋转调整模块可以调整仪器平台相对于元件框架的角度，元件框架通过偏摆基座活动支撑在光学平台上，且元件框架与偏摆基座之间设有俯仰调整模块和偏摆调整模块，通过俯仰调整模块和偏摆调整模块能够对元件框架俯仰及偏摆角度进行调整。通过分离式的调整模块，充分利用光学仪器和光学元件的支撑结构，整体结构简单易行，加工速度快捷，其安全可靠性高，可满足激光装置光学元件的大批量、大口径、多样化、高精度、高效率以及高洁净度的快速检测要求。
公开/授权文献:
- CN108709722A 光学元件三自由度检测装置 公开/授权日：2018-10-26